Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/К 78 Автор(ы) : Красников Г. Я., Орлов О. М. Заглавие : Отличительные особенности и проблемы КМОП-технологии при уменьшении проектной нормы до уровня 0,18 мкм и меньше Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2008. - Т. 3, № 7-8. - С. 124-128: рис., табл. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223 Примечания : Библиогр. : с. 128 (27 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): фотолитография--метод ret Доп.точки доступа: Орлов, О. М.