Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Т 21 Автор(ы) : Тарнавский Г. А., Анищик Г. А. Заглавие : Программные комплексы компьютерного проектирования микроэлектромеханических систем Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 11. - С. 23-29: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 29 (20 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): кремниевая электроника--полупроводниковые материалы Доп.точки доступа: Анищик, Г. А.