Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/У 79 Автор(ы) : Миркурбанов Х., Тимофеев В., Одиноков В., Павлов Г., Веревкин Д., Кравченко А. Заглавие : Установка эпитаксиального наращивания слоев для индивидуальной обработки подложек большого диаметра Место публикации : Наноиндустрия. - 2008. - № 6. - С. 4-6: рис. - ISSN 1993-8578. - ISSN 1993-8578 Примечания : Библиогр. : с. 6 (6 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Доп.точки доступа: Миркурбанов, Х.; Тимофеев, В.; Одиноков, В.; Павлов, Г.; Веревкин, Д.; Кравченко, А.