Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Н 74 Автор(ы) : Погорельский Ю., Алексеев А., Чалый В., Филаретов А. Заглавие : Новое поколение установок молекулярно-пучковой эпитаксии Место публикации : Наноиндустрия. - 2008. - № 6. - С. 8-11: рис. - ISSN 1993-8578. - ISSN 1993-8578 УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Доп.точки доступа: Погорельский, Ю.; Алексеев, А.; Чалый, В.; Филаретов, А.