Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 623.7/Н 74 Автор(ы) : Александров С., Алексеев А., Курносова О., Филаретов А. Заглавие : Новое поколение Российснких установок электронно-лучевого напыления Место публикации : Наноиндустрия. - 2009. - № 2. - С. 10-12: ил. Примечания : ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): напыление--электронный луч--испарители Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Александров, С.; Алексеев, А.; Курносова, О.; Филаретов, А.