Вид документа : Многотомное издание Шифр издания : 666.1/M 39 Заглавие : Materials Issues in Novel Si-Based Technology : symposium held November 26-28, 2001, Boston, Massachusetts, USA Выходные данные : Boston: [s. n.], [2002] Колич.характеристики :XI, 280 с.: ил. Серия: Materials Research Society. Symposium Proceedings; vol. 686 Примечания : Библиогр. в конце ст. - Указ.: с. 275-280 ISBN, Цена 1-55899-622-2: 3105.00 р. ББК : 666.174.2я431(0) + 539.292я431(0) Предметные рубрики: ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ-- ТЕХНОЛОГИЯ ОРГАНИЧЕСКИХ ВЕЩЕСТВ ФИЗИКА-- ФИЗИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ И ДИЭЛЕКТРИКОВ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): наноструктуры (исследования)--силиконы (исследования)--соединения кремнийорганические (исследования)--химическая технология кремнийорганических соединений--полупроводники кремнийорганические Экземпляры :кх(1) Свободны : кх(1) Доп.точки доступа: En, William G \ред.\; Jones, Erin C \ред.\; Sturm, James C. \ред.\