Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 623.7/П 54 Автор(ы) : Поляков В. В. Заглавие : Метод компенсации паразитной емкости в сканирующей емкостной микроскопии Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 9. - С. 6-10: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 10 (10 назв.) ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН