Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 623.7/И 88 Автор(ы) : Александров П. А., Демаков К. Д., Шемардов С. Г., Кузнецов Ю. Ю. Заглавие : Использование имплантации ионов водорода и последующего высокотемпературного отжига для уменьшения дефектности эпитаксиального кремния на сапфире Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 9. - С. 30-32: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 32 (11 назв.) ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Александров, П. А.; Демаков, К. Д.; Шемардов, С. Г.; Кузнецов, Ю. Ю.