Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 623.7/Б 43 Автор(ы) : Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е. Заглавие : Тонкопленочные тензорезисторные микроэлектромеханические системы с идентичными тензоэлементами и мембранами, имеющими жесткий центр Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 11. - С. 38-42: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 42 (5 назв.) ББК : 623.7 Предметные рубрики: ФИЗИКА-- МЕХАНИКА Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Белозубова, Н. Е.