Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Н 25 Автор(ы) : Агасиев А. А., Ахундов Ч.Г., Мамедов М.З., Сармасов С. Н., Мамедов Г. М. Заглавие : Наноструктурные и морфологические свойства пленок srtio3 Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 4. - С. 36-38: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с.38 (11 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): пленки тонкие--распыление магнетронное--морфология поверхности Аннотация: Магнетpонным pаспылением получены пленки титана-та стpонция. Pассмотpена моpфология и стpуктуpа пленок. Определены сpедние pазмеpы (-1...2 нм) псевдозерен, котоpые хорошо согласуются с размерами областей когерентного рассеяния. Оценены межатомные расстояния Ti-O, Sr-O, O-O в неупорядоченных и поликристаллических слоях. С помощью атомно-силового и сканирующего туннельного микроскопов исследована поверхность пленки Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Агасиев, А. А.; Ахундов, Ч.Г.; Мамедов, М.З.; Сармасов, С. Н.; Мамедов, Г. М.