Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/П 50 Автор(ы) : Богинская И. В., Гусев А. В., Маилян К. А., Мешков А. С., Пебалк А. В., Рыжиков И. А., Чвалун С. Н. Заглавие : Полимерные пленки на основе поли-п-ксилилена для применения в микро-и оптоэлектронике Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 5. - С. 17-22: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с.22 (8 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): пленки полимерные--поли-п-ксилен--покрытия защитные--термодатчик Аннотация: Разработана технология получения полимерных покрытий на основе поли-п-ксилилена и полихлоp-п-ксилилена на подложках со сложным рельефом поверхности. Покрытия толщиной в диапазоне от 50 нм до 50 мкм формируются на подложках из газовой фазы в условиях вакуума. Показано, что эти покрытия являются влагостойкими, оптически прозрачными материалами, химически инертными к большинству органических растворителей, растворам кислот и щелочей, имеют высокую механическую прочность и высокие диэлектрические характеристики. Полученные температурные зависимости электрического сопротивления в тонких пленках поли-п-ксилилена имеют сильно выраженный нелинейный характер, что делает их перспективным материалом для создания термодатчиков. Пленки полихлоp-п-ксилилена могут применять в качестве эффективных защитных влагостойких покрытий для элементов электронных и оптических систем Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Богинская, И. В.; Гусев, А. В.; Маилян, К. А.; Мешков, А. С.; Пебалк, А. В.; Рыжиков, И. А.; Чвалун, С. Н.