Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/С 72 Автор(ы) : Спирин В. Г. Заглавие : Математическая модель сопротивления тонкопленочного резистора Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 5. - С. 38-40: табл., рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 40 (7 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): резистор тонкопленочный--модель математическая--сопротивление--микросборки Аннотация: Разработана математическая модель сопротивления тонкопленочного резистора и его погрешности. Применение этой модели позволит проектировать тонкопленочные резисторы с топологическими размерами 10...50 мкм Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН