Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Т 21 Автор(ы) : Тарнавский Г. А. Заглавие : Легирование наноколонн рельефа поверхности пластины кремния Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 6 . - С. 20-24. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 24 (17 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): моделирование компьютерное--легирование кремния--имплантация Аннотация: На основе компьютерного моделирования проведено исследование технологического процесса имплантации легирующих примесей акцепторного и донорного типов (бора, фосфора и мышьяка) в кремниевую пластину со сложным поверхностным нанорельефом Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН