Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Д 39 Автор(ы) : Бабаевский П. Г., Жуков А. А., Корпухин А. С., Резниченко Г. М. Заглавие : Деформационно-прочностные свойства модифицированных полиимид-кремниевых упруго-шарнирных микроструктур Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 7. - С. 15-18: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с.18 (9 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): полиимид--кремний--микроструктура упруго-шарнирная Аннотация: Исследованы деформационно-прочностные свойства растяжении полиимидно-кремниевых трапециевидных упруго-шарнирных микроструктур, модифицированных армированием в нижней части полиимидного слоя функционализированными одностенными углеродными трубками и нанесением на поверхность кремния тонких слоев кремнийорганического соединения, алюминия и системы ванадий-никель. Показано, что армирование полиимида введением нанотрубок во всех случаях повышает деформационно-прочностные характеристики микроструктур Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Бабаевский, П. Г.; Жуков , А. А.; Корпухин, А. С.; Резниченко, Г. М.