Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Д 72 Автор(ы) : Драгунов В. П., Остертак Д. И. Заглавие : Электростатические взаимодействия в мэмс с плоскопараллельными электродами. часть i. расчет емкостей Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 7 . - С. 37-41: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 41 (12 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): мэмс--емкость электрическая--конденсатор плоский Аннотация: Сравниваются различные подходы к расчету зависимостей емкости плоского конденсатора, содержащего два одинаковых прямоугольных или круглых параллельных электрода, от межэлектродного зазора и взаимного смещения электродов. Рассчитываются погрешности в оценках емкости при использовании различных подходов. Приводится аналитическое выражение для расчета емкостей при изменении площади перекрытия электродов Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Остертак, Д. И.