Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/С 40 Автор(ы) : Михайлов В. П., Базиненков А. М., Кузнецов А. С., Зобов И. К., Шаков К. Г. Заглавие : Системы реологического типа для микро- и нанопозиционирования и виброизоляции Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 7 . - С. 45-50: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 50 (7 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): системы позиционирующие и виброизолирующие--вязкость--жидкости магнито -и электрореологические Аннотация: Современное прецизионное оборудование для электронных и машиностроительных технологий использует многокоординатные системы для сверхточного позиционирования. Представлены анализ, конструкции и параметры новых магнитореологических (МР), электрореологических (ЭР) и магнитореологических эластомерных (МЭ) позиционирующих устройств. Комбинация МР или ЭР замкнутого управления, упругих направляющих и тонкостенных герметизирующих элементов обеспечивает малую погрешность линейного (?100 нм) и углового (? 0,2") позиционирования, малую постоянную времени (? 200 мс), диапазон линейных перемещений по трем координатам X, Y, Z (1...10) мм и передаваемое усилие (1...1000) Н Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Михайлов, В. П.; Базиненков, А. М.; Кузнецов, А. С.; Зобов, И. К.; Шаков, К. Г.