Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/К 89 Автор(ы) : Кузьмин А. А., Коваленко А. Г., Ковтонюк С. А. Заглавие : Технология изготовления интегральных сверхпроводниковых болометров терагерцового диапазона частот Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 10 . - С. 16-21: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 21 (7 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): болометры сверхпроводниковые--диапазон длин волн (частот)--литография электронно-лучевая Аннотация: Предложена технология изготовления сверхпроводниковых тонкопленочных болометров, включенных в планарную двухщелевую антенну на частоты от 0,2 до 0,3 ТГц. Такие интегральные болометры полностью были изготовлены с помощью электронно-лучевой литографии с применением органических масок из ПММА и его соnолимеров. В качестве термометра и абсорбера излучения были использованы микроструктуры из тонкопленочного сверхпроводника - титановые мостики, полученные методом магнетронного напыления и "lift-off методики. Такая микроструктура имела критическую температуру перехода Тк около 0,35 К и являлась сенсором на краю перехода (СКП). Антенна и подводящие линии были выполнены из ниобия Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Коваленко, А. Г.; Ковтонюк, С. А.