Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/П 32 Автор(ы) : Пивоненков Б. И. Заглавие : Критерий качества сенсоров механических величин Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 10 . - С. 42-48. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 48 (3 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): сенсор механических величин--мэмс--критерий качества сенсоров Аннотация: Предлагается критерий качества сенсоров механических величин (отношение квадрата информативности в трех вариантах, в зависимости от области применения сенсора - к энергии деформации сенсора). Критерий объясняет направления и результаты развития сенсоров за период с 1970 г. по настоящее время и позволяет сравнивать качество сенсоров, оптимизировать конструктивно-технологические решения, оценивать перспективы и тенденции развития сенсоров механических величин с технической и экономической ("рыночной") точки зрения Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН