Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/С 25 Автор(ы) : Колпаков А. Я., Поплавский А. И., Галкина М. Е., Суджанская И. В., Гончаров И. Ю., Дручинина О. А., Стригунов Н. В., Харченко В. А., Мерчанский О. Ю. Заглавие : Свойства наноразмерных углеродных покрытий, легированных азотом, вольфрамом и алюминием, полученных импульсным вакуумно-дуговым методом Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2010. - Т. 5, № 3-4. - С. 11-14: рис., табл. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223 Примечания : Библиогр. : с. 14 (11 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): покрытия наноразмерные углеродные--метод вакуумно-дуговой--система "подложка-покрытие" Аннотация: Приведены результаты исследований свойств наноразмерных углеродных покрытий, легированных азотом, вольфрамом и алюминием, полученных импульсным вакуумно-дуговым методом на кремнии. Исследовано влияние легирования на величину внутренних напряжений, микротвердость и морфологию поверхности. Установлено, что легирование наноразмерных углеродных покрытий азотом, вольфрамом и алюминием позволяет влиять на величину внутренних напряжений в них, морфологию поверхности, а также прочностные свойства системы «подложка-покрытие» Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Колпаков, А. Я.; Поплавский, А. И.; Галкина, М. Е.; Суджанская, И. В.; Гончаров, И. Ю.; Дручинина, О. А.; Стригунов, Н. В.; Харченко, В. А.; Мерчанский, О. Ю.