А Ш 37 Шевченко, Евгений Федорович. Плазменные источники химической активности ионов на основе разряда с полым катодом для обработки функциональных слоев микроплат : специальность 01.04.13 "Электрофизика,электрофизические установки" : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Шевченко Евгений Федорович ; руководитель работы В. Я. Мартенс ; оппонент: С. П. Никулин, Н. Г. Ремпе ; Северо-Кавказский федеральный университет, Российская академия наук, Уральское отделение, Институт электрофизики. - Екатеринбург, 2012. - 22 с. - Библиогр.: с. 23-24 Тит. л. отсутствует
Рубрики: ФИЗИКА--ЭЛЕКТРИЧЕСТВО--АВТОРЕФЕРАТЫ |