546(Д) Ш 18 Шалаева, Елизавета Викторовна. Влияние физико-химических параметров ионно-плазменного осаждения на структуру пленок нитридов ниобия и титана : специальность 02.00.04 "Физическая химия" : диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Шалаева Елизавета Викторовна ; научный руководитель Б. В. Митрофанов ; Российская академия наук, Уральское отделение, Институт химии твердого тела. - Екатеринбург, 1992. - 194 л. - Библиогр.: с. 172-194 (238 назв.). -
Рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ--ФИЗИЧЕСКАЯ ХИМИЯ--ДИССЕРТАЦИИ Кл.слова (ненормированные): ПАРАМЕТРЫ ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ -- ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ -- ОСАЖДЕНИЕ ИОННО-ПЛАЗМЕННОЕ -- ИОННО-ПЛАЗМЕННОЕ ОСАЖДЕНИЕ -- ПЛЕНКИ -- НИТРИД НИОБИЯ -- НИОБИЙ -- Nb -- НИТРИД ТИТАНА -- Ti -- ТИТАН -- ФАЗЫ ГАЗОВЫЕ -- ГАЗОВЫЕ ФАЗЫ -- РАСПЫЛЕНИЕ -- КОНДЕНСАЦИЯ -- ГАЗЫ -- ДАВЛЕНИЕ ПАРЦИАЛЬНОЕ -- ПАРЦИАЛЬНОЕ ДАВЛЕНИЕ -- ЖЕЛЕЗО -- Fe -- ОТЖИГ |