C 94 Cubic solid solution TixSiyNz(O) films: Synthesis, structure and electronic properties [] / M. V. Kuznetsov, E. V. Shalaeva, S. V. Borisov, B. V. Mitrofanov, A. L. Ivanovsky, G. P. Shveikin // Mendeleev Communications. - 1995. - N 3. - С. 94-96 . - ISSN 0959-9436 Рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПЛЕНКИ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ -- ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- СВОЙСТВА ЭЛЕКТРОННЫЕ -- ЭЛЕКТРОННЫЕ СВОЙСТВА -- РАСТВОРЫ ТВЕРДЫЕ -- ТВЕРДЫЕ РАСТВОРЫ -- TiSiN(O) -- Ti -- ТИТАН -- Si -- КРЕМНИЙ -- ДУГОВОЙ МЕТОД -- МЕТОД ДУГОВОЙ Аннотация: Поликристаллические монофазные пленки твердых растворов TixSiyNz(O) со структурой В1 получены дуговым методом (состав мишени Ti0.7Si0.3, температура подложки 470 К, давление N 2 от 6 * 10(-2) до 1 * 10(-1) Па). Параметры решетки полученных кубических фаз изменяются в зависимости от состава от 4,21 до 4,30 А |