И 88 Исследование пленок TiAlN методом рентгеноэлектронной спектроскопии [] / М. В. Кузнецов, С. В. Борисов, Ю. Ф. Журавлев, Р. С. Барышев, О. Ф. Денисов, Б. В. Митрофанов, В. А. Губанов // Поверхность: физика, химия, механика. - 1989. - N 12. - С. 141-146 . - ISSN 0207-3528 Рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ХИМИЯ -- ПЛЕНКИ -- МЕТОД РЕНТГЕНОЭЛЕКТРОННОЙ СПЕКТРОСКОПИИ -- Ti -- Al -- N -- ТИТАН -- TiAlN -- АЗОТ |
И 88 Исследование пленок TiAlN методом рентгеноэлектронной спектроскопии [] / М. В. Кузнецов, С. В. Борисов, Р. С. Барышев, О. Ф. Денисов, Б. В. Митрофанов // Поверхность и новые материалы: 2-я Урал. конф. (Ижевск, 15-17 нояб. 1988 г.): Тез. докл. - 1988. - С. 86 Рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ХИМИЯ -- TiAlN -- ПЛЕНКИ -- МЕТОД РЕНТГЕНОЭЛЕКТРОННОЙ СПЕКТРОСКОПИИ |