Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>A=Асташенкова, О. Н.$<.>)
Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Н 61
Автор(ы) : Ефременко А. М., Корляков А. В., Асташенкова О. Н., Кривошеева А. Н.
Заглавие : Низкотемпературный синтез текстурированных пленок нитрида алюминия на инородных подложках для устройств микросистемной техники
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 12. - С. 25-30: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 30 (5 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): текстура--пленки тонкие--нитрид алюминия--распыление магнетронное--пленки пьезоэлектрические--напряжения механические
Аннотация: Представлены результаты исследования процессов получения пленок нитрида алюминия методом высокочастотного магнетронного распыления. Показано влияние основных технологических параметров на свойства получаемых пленок, в том числе влияние электрического поля, образованного некомпенсированным зарядом на поверхности растущей пленки AlN. Предложен механизм возникновения остаточных механических напряжений в пленках AlN при ионно-плазменном осаждении
Найти похожие

2.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/А 91
Автор(ы) : Асташенкова О. Н., Корляков А. В.
Заглавие : Контроль физико-механических параметров тонких пленок
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 2. - С. 24-29: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 29 (7 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): мембраны--пленки тонкие--модуль юнга--напряжения механические--свойства тонких пленок--способы измерения механических напряжений
Аннотация: Представлена методика измерения и расчета сжимающих и растягивающих внутренних механических напряжений и модуля Юнга в однослойных и композиционных мембранных структурах на основе тонких пленок различных материалов. Приведены результаты измерения механических напряжений и модуля Юнга пленок различных материалов
Найти похожие

 

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика