Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска
Каталог книг и продолжающихся изданий
Сводный каталог иностранных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН
Сводный каталог отечественных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН
Каталог диссертаций и авторефератов диссертаций УрО РАН
Каталог препринтов УрО РАН (1975 г. - )
Имидж-каталог отечественных книг (до 2010 г.)
Имидж-каталог иностранных книг (до 2010 г.)
Алфавитно-предметный указатель (АПУ) ЦНБ УрО РАН
Публикации об УрО РАН
Изобретения уральских ученых
Интеллектуальная собственность (статьи из периодики)
Нанотехнологии
Демидовские премии
Гибель династии Романовых
История Урала
Личная библиотека С. В. Вонсовского
Книжная коллекция Шубиных
Труды Института высокотемпературной электрохимии УрО РАН
Труды Института истории и археологии УрО РАН
Труды сотрудников Института горного дела УрО РАН
Труды сотрудников Института органического синтеза УрО РАН
Труды сотрудников Института теплофизики УрО РАН
Труды сотрудников Института химии твердого тела УрО РАН
Расплавы
Труды сотрудников ЦНБ УрО РАН
Публикации Черешнева В.А.
Публикации Чарушина В.Н.
Каталог библиотеки ИГД УрО РАН
Каталог библиотеки ИЭРиЖ УрО РАН
Электронная энциклопедия «Дискурсология»
Библиометрия
Область поиска
 Найдено в других БД:Каталог книг и продолжающихся изданий (3)Каталог диссертаций и авторефератов диссертаций УрО РАН (3)Алфавитно-предметный указатель (АПУ) ЦНБ УрО РАН (3)Интеллектуальная собственность (статьи из периодики) (1)Труды сотрудников Института химии твердого тела УрО РАН (3)Расплавы (1)Каталог библиотеки ИЭРиЖ УрО РАН (4)
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=ИМПЛАНТАЦИЯ<.>)
Общее количество найденных документов : 8
Показаны документы с 1 по 8
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/П 76
Автор(ы) : Александров П. А., Демаков К. Д., Шемардов С. Г., Кузнецов Ю. Ю.
Заглавие : Применение имплантации ионов кислорода и процесса твердофазной рекристаллизации для улучшения кристаллической структуры кремния на сапфире
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 3. - С. 54-56: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 56 (17 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): твердофазная рекристаллизация--имплантация ионов--кислород--кремний--сапфир
Найти похожие
2.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 623.7/И 88
Автор(ы) : Александров П. А., Демаков К. Д., Шемардов С. Г., Кузнецов Ю. Ю.
Заглавие : Использование имплантации ионов водорода и последующего высокотемпературного отжига для уменьшения дефектности эпитаксиального кремния на сапфире
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 9. - С. 30-32: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 32 (11 назв.)
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Найти похожие
3.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Т 21
Автор(ы) : Тарнавский Г. А.
Заглавие : Легирование наноколонн рельефа поверхности пластины кремния
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 6 . - С. 20-24. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 24 (17 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): моделирование компьютерное--легирование кремния--имплантация
Аннотация: На основе компьютерного моделирования проведено исследование технологического процесса имплантации легирующих примесей акцепторного и донорного типов (бора, фосфора и мышьяка) в кремниевую пластину со сложным поверхностным нанорельефом
Найти похожие
4.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 623.7/Т 21
Автор(ы) : Тарнавский Г. А.
Заглавие : Имплантация легирующих примесей в подложку кремния с непланарной поверхностью
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 1. - С. 21-24. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 24 (7 назв.)
ББК : 623.7
Предметные рубрики: МАТЕМАТИКА-- ТЕОРИЯ ВЕРОЯТНОСТЕЙ И МАТЕМАТИЧЕСКАЯ СТАТИСТИКА
Найти похожие
5.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/О-75
Автор(ы) : Степанов А. Л., Валеев В. Ф., Нуждин В. И., Попок В. Н.
Заглавие : Особенности синтеза наночастиц серебра в кварцевом стекле при низкоэнергетической ионной имплантации
Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2011. - Т. 6, № 7-8. - С. 108-111: рис. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223
Примечания : Библиогр. : с. 111 (19 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Аннотация: В работе представлены результаты исследования композиционных материалов на основе кварцевого стекла с наночастицами (НЧ) серебра. Синтез НЧ осуществлен методом высокодозовой низкоэнергетической (30 кэВ) имплантации ионов Ag+. После проведения имплантации образцы были подвергнуты термическому отжигу в атмосфере аргона при температуре 300 °С в течение одного часа. Синтезирование НЧ серебра демонстрируют характерную полосу оптического поглощения, связанную с эффектом поверхностного плазменного резонанса (ППР). С ростом ионной дозы наблюдается длинноволновое смещение максимума ППР полосы, которое коррелирует с увеличением размеров полусферических выступов, обнаруженных на поверхности образцов методом атомно-силовой микроскопии. Полученные результаты указывают на увеличение среднего размера НЧ. Показано, что постимплантационный термический отжиг позволяет изменять размеры НЧ, что представляет технологические возможности синтеза НЧ и контроля их размеров в тонком приповерхностном слое диэлектрика
Найти похожие
6.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Т 21
Автор(ы) : Тарнавский Г. А., Чесноков С. С.
Заглавие : Проектирование дислокаций примесей в выступающем элементе нанорельефа поверхности кремниевой пластины
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 1. - С. 7-11: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 11 (11 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): моделирование компьютерное--легирование кремния--имплантация--примеси донорные и акцепторные--наноколонны рельефа
Аннотация: На основе компьютерного моделирования проведено исследование технологического процесса имплантации легирующих примесей акцепторного и донорного типов (бора, фосфора и мышьяка) в кремниевую пластину с выступающим нанорельефом поверхности
Найти похожие
7.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/М 91
Автор(ы) : Мустафаев А. Г., Савинова А. М., Мирзаева П. М.
Заглавие : Управление технологическим процессом формирования структур интегральных элементов
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 3. - С. 20-23: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 23 (4 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Аннотация: Современные технологические процессы формирования структур интегральных элементов обеспечиваются использованием низкотемпературных неравновесных импульсных и радиационно-стимулированных технологических операций. Решение задачи управления технологическими процессами основывается на понимании взаимосвязи между свойствами изделий, особенностями технологии их изготовления и характеристиками оборудования, с помощью которого реализуется эта технология. Разработанные подходы управления технологическими процессами позволяют исключить субъективный фактор и повысить эффективность систем управления. Показано, что основными технологическими операциями, существенно влияющими на выходные характеристики интегральных элементов при их производстве, являются ионная имплантация, отжиг, травление. Исследование и моделирование процессов на этих операциях позволяют выработать рекомендации по управлению и разработать алгоритмы эффективного управления технологическими процессами формирования структур интегральных элементов
Найти похожие
8.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/П 53
Автор(ы) : Шкляр Т. Ф., Дьячкова Е. П., Динисламова О. А., Сафронов А. П., Лейман Д. В., Бляхман Ф. А.
Заглавие : Получение и свойства ультратонких слоев для изготовления элементов КНИ МДП-нанотранзистора
Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2013. - Т. 8, № 3-4. - С. 89-94: рис. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223
Примечания : Библиогр.: с. 94 (10 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нанотранзистор--слои ультратонкие--элементы кни мдп-нанотранзистора--метод высокочастотного магнетронного распыления--диэлектрик--структура кристаллическая пленок hfo2 --кни-структура--сопротивление поверхностное--имплантация
Аннотация: Рассмотрены методы получения и свойства таких элементов КНИ МДП-нанотранзистора, как затвор/подзатворный диэлектрик, области истока/стока и омические контакты. Затворные структуры HfO2(50 нм)/Si (100) и W/HfO2(4 нм)/Si (100) создавались методом высокочастотного магнетронного распыления. Показано, что кристаллическая структура пленок HfO2 и их электрические характеристики (напряжение пробоя) являются взаимосвязанными. Для создания ультрамелких областей стока/истока использовалась высокодозовая плазменно-иммерсионная ионная имплантация бора. В процессе быстрого термического отжига имплантированных слоев обнаружено существенное снижение количества бора у поверхности в КНИ-структуре. Образование омических контактов CoSi2 осуществлялось с использованием структур Ti(8 нм)/Co(10 нм)/Ti(5 нм), сформированных на Si-подложке ориентации (100). Установлено, что образовавшаясяся в результате двухстадийного отжига пленка CoSi2 обладает поверхностным сопротивлением 20 Ом/□
Найти похожие
 
Описание базы данных
Стандартный
По словарю
Расширенный
ГРНТИ-навигатор
Статистика обращений

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика