Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
 Найдено в других БД:Труды сотрудников Института органического синтеза УрО РАН (2)Труды сотрудников Института химии твердого тела УрО РАН (1)
Формат представления найденных документов:
полныйинформационный краткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=КАПСУЛИРОВАНИЕ<.>)
Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2
1.

Вакуумплотное матричное корпусирование сенсорных микроэлектромеханических систем (анадитический обзор) Часть 1. Процессы соединения и разрезания пластин, локальная герметизация (вакуумное капсулирование) чувствительных элементов сенсорных микроэлектромеханических систем/П. Г. Бабаевский, С. А. Жукова, Д. Ю. Обижаев, Е. А. Гринькин, В. Е. Турков, Г. М. Резниченко, Д. Д. Рискин, Ю. А. Бычкова // Нано- и микросистемная техника, 2014. т.№ 3.-С.3-12
2.

Вакуумплотное матричное корпусирование сенсорных микроэлектромеханических систем (аналитический обзор). Часть 2*. формирование вакуумплотных электрических выводов, способы сохранения и контроля вакуума в рабочих полостях и общие тенденции развития технологии корпусирования с МЭМС/П. Г. Бабаевский , С. А. Жукова, Д. Ю. Обижаев, Е. А. Гринькин, В. Е. Турков, Г. М. Резниченко, Д. Д. Рискин, Ю. А. Бычкова // Нано- и микросистемная техника, 2014. т.№ 4.-С.3-11
 

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика