Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
 Найдено в других БД:Каталог книг и продолжающихся изданий (2)Алфавитно-предметный указатель (АПУ) ЦНБ УрО РАН (2)Интеллектуальная собственность (статьи из периодики) (43)Труды сотрудников Института химии твердого тела УрО РАН (4)Каталог библиотеки ИЭРиЖ УрО РАН (3)
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=КОМПЕНСАЦИЯ<.>)
Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2
1.
Инвентарный номер: нет.
   
   Г 83


    Гридчин, В. А.
    Влияние термических деформаций на температурную стабильность характеристик кремниевых резонансных сенсоров давления / В. А. Гридчин, М. А. Чебанов, В. Ю. Васильев // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 3. - С. 41-44 : рис. - Библиогр.: с. 44 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
УДК
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
СЕНСОРЫ ДАВЛЕНИЯ РЕЗОНАНСНЫЕ -- ДЕФОРМАЦИЯ ТЕРМИЧЕСКАЯ -- ДИОКСИД КРЕМНИЯ -- МЕТОД КОМПЕНСАЦИИ ТЕРМИЧЕСКИХ ДЕФОРМАЦИЙ -- ТЕМПЕРАТУРА
Аннотация: Результаты моделирования тепловых деформаций влияние на частоту, которую были представлены характеристики резонансных давления датчика (РТС). Было показано, сильная зависимость температуры чувствительность частоты резонанса РТС на толщины пленок диоксида кремния, используемых в процессе производства датчиков. Было предложено термо компенсация метод резонансной элемента с фильм диоксида кремния обратной стороне мембраны

Найти похожие

2.
Инвентарный номер: нет.
   
   Г 21


    Гаршин, А. Я.
    Дифференциальный датчик давления с импульсной компенсацией / А. Я. Гаршин, А. В. Тучин, Е. Н. Бормонтов // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 4. - С. 25-26 : рис., табл. - Библиогр.: с. 26 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
УДК
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ -- КОМПЕНСАЦИЯ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКАЯ -- МЭМС -- АКСЕЛЕРОМЕТР -- ДАТЧИК ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНОГО ДАВЛЕНИЯ
Аннотация: Рассмотрены МЭМС-датчики с емкостным съемом информации, использующие принцип обратного электростатического преобразования. Представлены конструкции и рабочие характеристики экспериментальных образцов: акселерометра и датчика дифференциального давления. Рассмотрены перспективные направления разработок компенсационных МЭМС-датчиков

Найти похожие

 

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика