Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=МЕТОД КОМПЕНСАЦИИ ТЕРМИЧЕСКИХ ДЕФОРМАЦИЙ<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Г 83
Автор(ы) : Гридчин В. А., Чебанов М. А., Васильев В. Ю.
Заглавие : Влияние термических деформаций на температурную стабильность характеристик кремниевых резонансных сенсоров давления
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 3. - С. 41-44: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 44 (10 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): сенсоры давления резонансные--деформация термическая--диоксид кремния--метод компенсации термических деформаций--температура
Аннотация: Результаты моделирования тепловых деформаций влияние на частоту, которую были представлены характеристики резонансных давления датчика (РТС). Было показано, сильная зависимость температуры чувствительность частоты резонанса РТС на толщины пленок диоксида кремния, используемых в процессе производства датчиков. Было предложено термо компенсация метод резонансной элемента с фильм диоксида кремния обратной стороне мембраны
Найти похожие

 

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика