Поисковый запрос: (<.>K=МЭМС<.>) |
Общее количество найденных документов : 76
Показаны документы с 1 по 30 |
|
1. ![](/WEBIRBIS/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Инвентарный номер: нет. Е 92
Ефремов, Г. И. Параметры трехэлектродных электростатических микроактюаторов [Текст] / Г. И. Ефремов, Н. И. Мухуров> // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 9. - С. 40-44 : рис. - Библиогр.: с. 44 (10 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЭМС -- ТРЕХЭЛЕКТРОДНАЯ СИСТЕМА -- МИКРОАКТЮАТОР
Найти похожие
|
2. ![](/WEBIRBIS/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Инвентарный номер: нет. Б 43
Белозубов, Е. М. Тонкопленочные емкостные МЭМС-структуры с минимизацией влияния температур для датчиков давления [Текст] / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова> // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 10. - С. 42-47 : рис. - Библиогр.: с. 47 (3 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ЕМКОСТНЫЕ МЭМС-СТРУКТУРЫ С ВОЗМОЖНОСТЬЮ ИЗМЕРЕНИЯ ТЕМПЕРАТУР ЭЛЕКТРОДОВ
Найти похожие
|
3. ![](/WEBIRBIS/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Инвентарный номер: нет. С 56
Современные разработки МЭМС [] / К. Д. Яшин [и др.]> // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 5. - С. 57-64 : рис.
. - ББК 623.7 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): РАЗРАБОТКИ МЭМС -- ANALOG DEVICES -- ANSYS -- ГРУППА EVG -- INTELLIGENT MICRO PATTERING -- MEM RESEARCH -- MEMS ENGINEERING AND MATERIAL -- PLANAR -- VAISALA
Найти похожие
|
4. ![](/WEBIRBIS/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Инвентарный номер: нет. Б 43
Белозубов, Е. М. Тонкопленочные емкостные МЭМС-структуры с возможностью измерения температур электродов [Текст] / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова, Ю. А. Козлова > // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 9. - С. 33-36 : рис. - Библиогр.: с. 36 (2 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ЕМКОСТНЫЕ МЭМС-СТРУКТУРЫ -- ТЕМПЕРАТУРА -- ВИБРОУСКОРЕНИЯ -- ВЫВОДНОЙ ПРОВОДНИК -- КОНТАКТНАЯ ПЛОЩАДКА -- ЭЛЕКТРОД -- ИЗМЕРЕНИЕ ТЕМПЕРАТУР ЭЛЕКТРОДОВ
Найти похожие
|
5. ![](/WEBIRBIS/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Инвентарный номер: нет. Б 61
Биморфный пьезоэлектрический двигатель для МЭМС на основе GaAs [Текст] / Е. А. Вопилкин [и др.]> // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 10. - С. 47-51 : рис. - Библиогр.: с. 51 (10 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): БИМОРФ -- ПЬЕЗОДВИГАТЕЛЬ -- МИКРОКОНСОЛЬ
Найти похожие
|
6. ![](/WEBIRBIS/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Инвентарный номер: нет. М 92
Мухуров, Н. И. Упругие элементы в микроэлектромеханических системах [Текст] / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый> // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 12. - С. 12-22 : рис. - Библиогр. : с. 21 (16 назв.)
ББК 623.7 Рубрики: ФИЗИКА Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ (МЭМС) -- ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНАЯ КОНСТРУКТИВНАЯ СХЕМА -- РОТОРЫ ПОСТОЯННОГО И СТУПЕНЧАТОГО СЕЧЕНИЯ -- ОПОРЫ -- АКТИВНЫЕ СИЛЫ -- РЕАКТИВНЫЕ СИЛЫ -- УПРУГИЕ ЭЛЕМЕНТЫ -- ФОРМУЛЫ УПРГУГИХ ЛИНИЙ Аннотация: Рассмотрены МЭМС плоскопараллельной конструкции. Предложена методика расчета и анализа деформированного состояния роторов, содержащих упругие держатели и якоря, в МЭМС широкого функционального назначения. Рассчитаны и сопоставлены варианты роторов постоянного и ступенчатого исполнения с шарнирными и жесткими опорами. Представлены данные, позволяющие оперативно определить геометрические факторы, необходимые для разработки МЭМС с заданными параметрами.
Найти похожие
|
7. ![](/WEBIRBIS/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Инвентарный номер: нет. Э 45
Электромеханические преобразователи сенсорных микро- и наносистем: физические основы и масштабные эффекты. Часть 2. Детекторы, источники и характеристики шумов [Текст] / П. Г. Бабаевский [и др.]> // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 12. - С. 27-37 : рис. - Библиогр. : с. 37 (25 назв.)
ББК 623.7 Рубрики: ФИЗИКА Кл.слова (ненормированные): СЕНСОРНЫЕ МЭМС -- НЭМС -- ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ -- ДЕТЕКТОРЫ -- ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ -- МАСШТАБНЫЕ ЭФФЕКТЫ -- ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ -- РАЗРЕШАЮЩАЯ СПОСОБНОСТЬ -- ШУМЫ -- СПЕКТРАЛЬНАЯ ПЛОТНОСТЬ ФЛУКТУАЦИЙ Аннотация: Во второй части обзора, посвященной аналитическому описанию емкостных, пьезорезистивных, оптоэлектронных и туннельных детекторов электромеханических преобразователей сенсорных микро- и наносистем, показано, что наиболее перспективными при переходе от микро- к наносистемам являются туннельные детекторы. Однако, в них резко проявляются побочные физико-химические, в первую очередь адгезионные и капиллярные, эффекты и силы. При переходе к наномасштабу в основных элементах электрохимических преобразователей существенную роль начинают играть различные флуктуационные процессы, в частности, термомеханичекие, температурные и адсорбционно-десорбционные в чувствительных механических элементах и электрические - в туннельных детекторах. Эти процессы в решающей степени определяют характер и величину помех (шумов) , соответственно, чувствительность и разрешающую способность сенсорных наносистем.
Найти похожие
|
8. ![](/WEBIRBIS/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Инвентарный номер: нет. И 88
Исследование теплопроводности плотных газов в микросистемах [Текст] / Д. В. Локтев [и др.]> // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 11. - С. 29-31 : рис., табл. - Библиогр. : с. 31 (4 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОНАГРЕВАТЕЛЬ -- ТЕРМОРЕЗИСТОР -- МЭМС
Найти похожие
|
9. ![](/WEBIRBIS/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Инвентарный номер: нет. Э 45
Электромеханические преобразователи сенсорных микро-и наносистем : физические основы и масштабные эффекты. Часть 1. Чувствительные механические элементы и актюаторы [Текст] / П. Г. Бабаевский [и др.]> // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 11. - С. 32-44 : рис., табл. - Библиогр. : с. 42-44 (78 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НЭМС -- СЕНСОРНЫЕ МЭМС -- АКТЮАТОРЫ
Найти похожие
|
10. ![](/WEBIRBIS/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Инвентарный номер: нет. Б 43
Белозубов, Е. М. Повышение устойчивости мэмс-структур тонкопленочных датчиков к воздействию виброускорений и температур [Текст] / Е. М. Белозубов> // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 2. - С. 63-66 : рис. - Библиогр.: с.
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Найти похожие
|
11. ![](/WEBIRBIS/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Инвентарный номер: нет. Б 43
Белозубов, Е. М. Методы и средства минимизации влияния нестационарных температур в МЭМС-структурах тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления [Текст] / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова> // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 3. - С. 28-34 : рис. - Библиогр.: с. 34 (10 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЭМС-СТРУКТУРА -- ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ -- ТЕНЗОРЕЗИСТОРЫ
Найти похожие
|
12. ![](/WEBIRBIS/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Инвентарный номер: нет. Я 96
Яшин , К. Д. Разработка МЭМС [Текст] / К. Д. Яшин , В. С. Осипович, Т. Г. Божко> // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 1. - С. 28-34 : фото
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОЗЕРКАЛА -- МИКРОВЫКЛЮЧАТЕЛИ -- МИКРОДАТЧИКИ
Найти похожие
|
13. ![](/WEBIRBIS/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Инвентарный номер: нет. М 74
Мокров , Е. А. Модель неинформативного преобразования термоэдс МЭМС-структур тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления при воздействии нестационарных температур [Текст] / Е. А. Мокров , Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова> // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 1. - С. 61-65 : рис. - Библиогр.: с. 65 (5 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕНЗОРИЗИСТОРНЫЕ ДАТЧИКИ -- ТЕНЗОЭЛЕМЕНТ -- МЭМС-СТРУКТУРА
Найти похожие
|
14. ![](/WEBIRBIS/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Инвентарный номер: нет. Г 63
Гольцова, М. М. МЭМС: большие рынки малых устрйств [Текст] / М. М. Гольцова, В. А. Юдинцев> // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 4. - С. 9-13 : рис.
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ -- МЭМС -- МЭМС-УСТРОЙСТВА
Найти похожие
|
15. ![](/WEBIRBIS/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Инвентарный номер: нет. В 12
Вавилов, В. Д. Исследование стохастической погрешности микросистемного акселерометра [Текст] / В. Д. Вавилов, О. Н. Глазков> // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 8. - С. 27-29. - Библиогр.: с. 29 (5 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): БЕЛЫЙ ШУМ -- МЭМС -- НУЛЕВОЙ УРОВЕНЬ Аннотация: Целью данной работы является исследование влияния стохастического процесса, например "белого шума", на нулевой уровень и крутизну статической характеристики микросистемного акселерометра. Эти данные могут быть получены на начальном этапе проектирования до изготовления опытных образцов для экспериментальных исследований
Найти похожие
|
16. ![](/WEBIRBIS/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Инвентарный номер: нет. Б 43
Белозубов, Е. М. Повышение термостойкости тонкопленочных емкостных МЭМС-структур [Текст] / Е. М. Белозубов, Н. ЕБелозубова> // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 7. - С. 41-44 : рис. - Библиогр.: с. 44 (3 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕРМОСТОЙКОСТЬ -- МЭМС-СТРУКТУРЫ -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ДАТЧИКИ
Найти похожие
|
17. ![](/WEBIRBIS/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Инвентарный номер: нет. С 56
Современные тенденции развития микросистемной техники [Текст] / В. Д. Вернер [и др.]> // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 8. - С. 2-6 : рис., табл. - Библиогр.: с. 6 (15 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА -- МЭМС -- РЫНОК МСТ -- КРЕМНИЕВАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- ТЕМП РАЗВИТИЯ Аннотация: Рассмотрены основные изменения и тенденции развития микросистемной техники к началу 2008 г. Отмечено существенное повышение роли электронной составляющей конструкции МЭМС вследствие введения систем самотестирования и развития интерфейсных устройств беспроводной связи. Тенденция постоянного снижения цены вызывает поиск новых областей применения МЭМС (бытовая техника), новых материалов (полимеров) и новых технологических решений. Производство МЭМС по-прежнему на 80% основано на микрообработке кремния, в связи с этим освоены технологии корпусирования на пластине и 3D-сборка, крупные фирмы переводят свое производство на пластины 200мм. Рассмотрены положительные и негативные аспекты рассмотренных тенденций
Найти похожие
|
18. ![](/WEBIRBIS/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Инвентарный номер: нет. С 92
Схемотехническое конструирование БИС преобразователя емкость - напряжение для микроэлектромеханических датчиков [Текст] / А. И. Белоус [и др.]> // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 8. - С. 19-19 : рис., табл. - Библиогр.: с. 19 (6 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНЫЙ КОНДЕНСАТОР -- МЭМС-ТЕХНОЛОГИЯ -- ТЕХНОЛОГИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СИЛ Аннотация: Рассматриваются вопросы схемотехнического конструирования БИС преобразователя емкость - напряжение для электронной схемы микромеханического сенсора общего назначения. Предлагаемая структурная схема БИС может быть использована для построения МЭМС с емкостным выходом от чувствительного элемента
Найти похожие
|
19. ![](/WEBIRBIS/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Инвентарный номер: нет. И 37
Измерительно-информационный комплекс для моделирования и демпфирования колебаний элементов летательных аппаратов / В. А. Акопьян [и др.]> // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 11. - С. 7-13 : рис. - Библиогр. : с. 13 (18 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЭМС -- МОДЕЛИРОВАНИЕ -- КОЛЕБАНИЯ -- ДЕМПФИРОВАНИЕ -- АКТЮАТОРЫ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ -- СЕНСОРЫ
Найти похожие
|
20. ![](/WEBIRBIS/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Инвентарный номер: нет. Б 43
Белозубов, Е. М. Тонкопленочные тензорезисторные микроэлектромеханические системы с идентичными тензоэлементами и мембранами, имеющими жесткий центр / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова> // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 11. - С. 38-42 : рис. - Библиогр. : с. 42 (5 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7 Рубрики: ФИЗИКА--МЕХАНИКА Кл.слова (ненормированные): ТТМЭМС -- МЭМС ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЕ -- ТЕНЗОЭЛЕМЕНТЫ ИДЕНТИЧНЫЕ -- ТЕМПЕРАТУРА НЕСТАЦИОНАРНАЯ
Найти похожие
|
21. ![](/WEBIRBIS/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Инвентарный номер: нет. Р 24
Расчет параметров тестовой структуры МЭМС-акселерометра, изготовленного с использованием КНИ-пластин / И. В. Годовицын [и др.]> // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 12. - С. 39-45 : рис., табл. - Библиогр. : с. 45 (10 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЭМС -- КНИ -- АКСЕЛЕРОМЕТР
Найти похожие
|
22. ![](/WEBIRBIS/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Инвентарный номер: нет. М 59
Микровибрации конструкций капитальных строений как источник возобновляемой энергии для МЭМС-генераторов [Текст] / В. С. Соболев [и др.]> // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 1. - С. 42-47 : рис. - Библиогр.: с. 47 (10 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ЭНЕРГОЕМКОСТЬ -- ВИБРОПЕРЕМЕЩЕНИЕ
Найти похожие
|
23. ![](/WEBIRBIS/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Инвентарный номер: нет. Б 43
Белозубов, Е. М. Тонкопленочные микроэлектромеханические системы и датчики на их основе [Текст] / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова, В. А. Васильев > // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 2. - С. 33-39 : рис. - Библиогр. : с. 38 (12 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 53 Рубрики: ФИЗИКА Кл.слова (ненормированные): ТОНКОПЛЕНОЧЕНЫЕ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ (ТМЭМС) -- ТОНКОПЛЕНОЧЕНЫЕ ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЕ МЭМС (ТТМЭМС) -- ТОНКОПЛЕНОЧЕНЫЕ ЕМКОСТНЫЕ МЭМС (ТЕМЭМС) -- ОБОБЩЕННАЯ СИСТЕМНАЯ МОДЕЛЬ
Найти похожие
|
24. ![](/WEBIRBIS/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Инвентарный номер: нет. Б 43
Белозубов, Е. М. Тонкопленочные тензорезисторные микроэлектромеханические системы с идентичными тензоэлементами / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова, В. А. Васильев> // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 10. - С. 34-39 : рис. - Библиогр. : с. 39 (10 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7 Рубрики: МЕХАНИКА Кл.слова (ненормированные): МЭМС (ТТМЭМС) -- ТЕНЗОЭЛЕМЕНТЫ ИДЕНТИЧНЫЕ -- ТЕМПЕРАТУРА НЕСТАЦИОНАРНАЯ
Найти похожие
|
25. ![](/WEBIRBIS/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Инвентарный номер: нет. Д 72
Драгунов, В. П. Электростатические взаимодействия в мэмс с плоскопараллельными электродами. часть ii. расчет электростатических сил / В. П. Драгунов, Д. И. Остертак> // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 8. - С. 40-47 : рис., табл. - Библиогр. : с. 47 (3 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЭМС -- ЕМКОСТЬ ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ -- КОНДЕНСАТОР ПЛОСКИЙ -- ЭФФЕКТЫ КРАЕВЫЕ Аннотация: Проводится сравнение различных подходов к оценке компонент электростатических сил, действующих между электродами плоского конденсатора, содержащего два одинаковых прямоугольных или круглых электрода. Приводятся аналитические выражения для расчета компонент электростатических сил. Рассчитываются погрешности в оценках компонент электростатических сил, действующих на электроды конденсаторов при изменении межэлектродного зазора и площади перекрытия электродов
Найти похожие
|
26. ![](/WEBIRBIS/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Инвентарный номер: нет. К 72
Косцов, Э. Г. Микроэлектромеханические инжекторы топлива для дизельных двигателей / Э. Г. Косцов, А. А. Соколов > // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 8. - С. 30-34 : рис. - Библиогр. : с. 34 (11 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДВИГАТЕЛЬ ДИЗЕЛЬНЫЙ -- ИНЖЕКТОР ТОПЛИВА -- МЭМС Аннотация: Проведено исследование возможностей построения эффективных электростатических актюаторов - приводов, создаваемых по технологии микроэлектроники, для форсунок топлива дизельного двигателя. Принцип работы актюаторов с высокой удельной энергоемкостью (до 0,3...3 Дж/м2) основан на электромеханическом преобразовании энергии в нанометровых зазорах протяженностью 5...200 нм, разделяющих поверхности подвижного электрода и слоя сегнетоэлектрика. Форсунки способны подавать топливо под большим давлением - свыше 100 МПа и за короткое время - сотни микросекунд и менее. Они по сравнению с современными пьезоэлектрическими форсунками обладают значительно меньшими размерами и массой, а также возможностью сокращения времени впрыска
Найти похожие
|
27. ![](/WEBIRBIS/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Инвентарный номер: нет. П 32
Пивоненков, Б. И. Критерий качества сенсоров механических величин / Б. И. Пивоненков> // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 10 . - С. 42-48. - Библиогр. : с. 48 (3 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СЕНСОР МЕХАНИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН -- МЭМС -- КРИТЕРИЙ КАЧЕСТВА СЕНСОРОВ Аннотация: Предлагается критерий качества сенсоров механических величин (отношение квадрата информативности в трех вариантах, в зависимости от области применения сенсора - к энергии деформации сенсора). Критерий объясняет направления и результаты развития сенсоров за период с 1970 г. по настоящее время и позволяет сравнивать качество сенсоров, оптимизировать конструктивно-технологические решения, оценивать перспективы и тенденции развития сенсоров механических величин с технической и экономической ("рыночной") точки зрения
Найти похожие
|
28. ![](/WEBIRBIS/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Инвентарный номер: нет. П 27
Переменный МЭМС-конденсатор с электростатическим управлением / Е. А. Вопилкин [и др.]> // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 12 . - С. 30-34 : рис. - Библиогр. : с. 34 (7 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЭМС -- ВАРАКТОР -- ДВИГАТЕЛЬ КУЛОНОВСКИЙ -- АКСЕЛЕРОМЕТР Аннотация: Изготовлена микроэлектромеханическая система (МЭМС) на подложке арсенида галлия, представляющая собой подвижную золотую мембpану толщиной 1,5 мкм размером 100X100 мкм с электростатическим управлением. Исследованы статические электрофизические и резонансные колебательные свойства данной системы. Проведена оценка возможности использования его в качестве емкостного акселерометра, кулоновского двигателя и варактора
Найти похожие
|
29. ![](/WEBIRBIS/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Инвентарный номер: нет. П 32
Пивоненков, Б. И. Трехкомпонентный пьезорезистивный мэм-акселерометр / Б. И. Пивоненков, В. М. Школьников> // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 11. - С. 43-47 : рис., табл., граф. - Библиогр. : с. 47 (4 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): АКСЕЛЕРОМЕТР ПЬЕЗОРЕЗИСТИВНЫЙ -- АКСЕЛЕРОМЕТР ТРЕХКОМПОНЕНТНЫЙ -- МЭМС Аннотация: Описан трехкомпонентный пьезорезистивный МЭМ-акселерометр с одним упругим элементом, с воздушным демпфированием и ограничителями перемещения груза. Обоснованы и рассчитаны оптимальные параметры акселерометра: внутренний размер чувствительного элемента для разных толщин пластины, длина и ширина перемычек, уточнены требования к тензорезисторам. Приведены оптимальные параметры акселерометра на диапазон 10 g двух толщинах подложки: 450 и 600 мкм. Даны предложения по параметрам акселерометра для серийного освоения и по модификациям, в которых его целесообразно выпускат
Найти похожие
|
30. ![](/WEBIRBIS/irbis64r_11/images/printer.jpg)
| Инвентарный номер: нет. Т 38
Технологический вариант реализации конструкции бис преобразователя емкость-напряжение для микроэлектромеханических датчиков / А. И. Белоус, И. В. Гасенкова [и др.]> // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 8. - С. 2-6 : рис., табл. - Библиогр. : с. 6 (6 наим.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИКИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- КОНСТРУКЦИЯ И ТЕХНОЛОГИЯ ПОСТРОЕНИЯ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ЕМКОСТЬ-НАПРЯЖЕНИЕ Аннотация: Рассмотрен один из вариантов конструктивно-технологического построения и создания БИС преобразователя емкость-напряжение для электронной схемы миниатюрных микроэлектромеханических датчиков с емкостным выходом. Предлагаемая БИС может быть использована для построения широкой номенклатуры МЭМС с емкостным выходом от чувствительного элемента на основе анодного оксида алюминия
Найти похожие
|
|
|