Центральная Научная Библиотека УрО РАН

Главная

Новые поступления

Описание

Базы данных

Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска

Каталог книг и продолжающихся изданий

Сводный каталог иностранных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН

Сводный каталог отечественных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН

Каталог диссертаций и авторефератов диссертаций УрО РАН

Каталог препринтов УрО РАН (1975 г. - )

Имидж-каталог отечественных книг (до 2010 г.)

Имидж-каталог иностранных книг (до 2010 г.)

Алфавитно-предметный указатель (АПУ) ЦНБ УрО РАН

Публикации об УрО РАН

Изобретения уральских ученых

Интеллектуальная собственность (статьи из периодики)

Нанотехнологии

Демидовские премии

Гибель династии Романовых

История Урала

Личная библиотека С. В. Вонсовского

Книжная коллекция Шубиных

Труды Института высокотемпературной электрохимии УрО РАН

Труды Института истории и археологии УрО РАН

Труды сотрудников Института горного дела УрО РАН

Труды сотрудников Института органического синтеза УрО РАН

Труды сотрудников Института теплофизики УрО РАН

Труды сотрудников Института химии твердого тела УрО РАН

Расплавы

Труды сотрудников ЦНБ УрО РАН

Публикации Черешнева В.А.

Публикации Чарушина В.Н.

Каталог библиотеки ИГД УрО РАН

Каталог библиотеки ИЭРиЖ УрО РАН

Электронная энциклопедия «Дискурсология»

Библиометрия

Область поиска

в найденном

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=МЭМС<.>)

Общее количество найденных документов : 76
Показаны документы с 1 по 30

1-30 31-60 61-76

Инвентарный номер: нет.

   Б 86

    Бохов, О. С.
    Миниатюрные навигационно-ориентационные интегрированные модули на основе микроэлектромеханических систем / О. С. Бохов, А. М. Спивак, Ю. А. Орехов // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 12. - С. 55-60 : табл., рис. . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МЭМС -- НАВИГАЦИЯ -- ГИРОСКОП -- АКСЕЛЕРОМЕТР
Аннотация: Рассмотрено применение микроэлектромеханических систем для создания миниатюрных навигационно-ориентационных интегрированных модулей в целях улучшения массогабаритных параметров и энергопотребления, при этом рассмотренный интегральный подход дает возможность обеспечить характеристики устройств, в ряде задач сопоставимые с системами на лазерных гироскопах, и дополнительные преимущества, такие как время холодного старта, устойчивость к перегрузкам, повышенная живучесть

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   К 17

    Каленов, В. Е.
    Частотно-резонансный метод измерения механического воздействия с помощью нелинейного микромеханического преобразователя / В. Е. Каленов, А. В. Корляков // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 2. - С. 15-19 : рис. - Библиогр.: с. 19 (2 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
АКСЕЛЕРОМЕТР МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ -- МЭМС -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ НЕЛИНЕЙНЫЙ -- МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ЧАСТОТНО-РЕЗОНАНСНЫЙ
Аннотация: Изложены основные принципы измерения механического воздействия частотно-резонансным методом с помощью нелинейного микромеханического преобразователя. Представлены условия, повышающие чувствительность нелинейного микромеханического преобразователя по перемещению и силе. Рассмотрен пример акселерометра на основе нелинейного преобразователя и проведена оптимизация его параметров

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   Ш 65

    Шишковский, И. В.
    Дизайн системы доставки лекарств из пористого нитинола методом СЛС / И. В. Шишковский // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 9. - С. 39-43 : рис. - Библиогр.: с. 43 (18 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ЭФФЕКТ ПАМЯТИ ФОРМЫ (ЭПФ) -- СИСТЕМЫ ДОСТАВКИ ЛЕКАРСТВ (СДЛ) -- МАТРИКС ТКАНЕВО-КЛЕТОЧНЫЙ (ТКМ) -- НИКЕЛИД ТИТАНА (НИТИНОЛ) -- СПЕКАНИЕ ЛАЗЕРНОЕ СЕЛЕКТИВНОЕ (СЛС) -- МЭМС
Аннотация: Предложена оригинальная схема работы микрофлюидного устройства для доставки лекарств - пористого трехмерного тканево-клеточного матрикса из биосовместимого нитинола, послойно синтезируемого методом послойного лазерного спекания

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   В 35

    Вернер, В. Д.
    МЭМС и третья индустриальная / В. Д. Вернер, П. П. Мальцев, А. Н. Сауров // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 11. - С. 2-5 : табл., граф. - Библиогр.: с. 5 (8 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
СЕНСОРЫ БЕСПРОВОДНЫЕ -- ПРОЕКТЫ ГЛОБАЛЬНЫЕ -- МОНИТОРИНГ -- СИСТЕМЫ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- РЕВОЛЮЦИЯ ИНДУСТРИАЛЬНАЯ
Аннотация: На основании анализа содержания ряда международных конференций, проведенных в начале 2012 г., показана определяющая роль МЭМС в развитии третьей индустриальной революции

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   А 90

    Аскерко, А. Н.
    Испытания и тестирование микроэлектромеханических компонентов и систем на их основе / А. Н. Аскерко, О. С. Бохов, В. В. Лучинин // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 2. - С. 49-54 : рис., табл. - Библиогр.: с. 54 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ИСПЫТАНИЯ МЭМС -- ТЕХНИКА МИКРОСИСТЕМНАЯ -- СИСТЕМЫ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- МСТ-КОМПОНЕНТЫ
Аннотация: Рассмотрены современное состояние рынка микросистемной техники, особенности комплектования аппаратуры МСТ-компонентов, метрологическое обеспечение и стандартизация. Обобщены вопросы испытаний, определения характеристик надежности электронной компьютерной базы микросистемной техники

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   С 58


    Создание интегральных компонентов усиления магнитного сигнала в беспроводной МЭМС на основе магниторезистивных элементов / В. В. Амеличев, В. В. Аравин, А. Н. Белов, А. Ю. Красюков, А. А. Резнев, А. Н. Сауров // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 3. - С. 29-33 : рис. - Библиогр.: с. 33 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МЭМС БЕСПРОВОДНАЯ -- ПОЛЕ МАГНИТНОЕ -- ОСАЖДЕНИЕ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ -- ПЛЕНКА ТОНКАЯ -- ЭЛЕМЕНТЫ МАГНИТОРЕЗИСТИВНЫЕ -- ПРИНЦИП ПОСТРОЕНИЯ -- ПЕРМАЛЛОЙ
Аннотация: Представлены результаты создания интегральных компонентов усиления магнитного сигнала на основе пленок пермаллоя. Рассмотрены способы повышения чувствительности магниторезистивных преобразователей и построения на их основе беспроводных МЭМС с магнитной связью для передачи информации на малые расстояния. Приведены результаты моделирования распределения магнитного поля в полосках пермаллоя. Представлены результаты формирования концентраторов магнитного поля толщиной 10...11 мкм с помощью электрохимического осаждения

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   Г 21

    Гаршин, А. Я.
    Дифференциальный датчик давления с импульсной компенсацией / А. Я. Гаршин, А. В. Тучин, Е. Н. Бормонтов // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 4. - С. 25-26 : рис., табл. - Библиогр.: с. 26 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ -- КОМПЕНСАЦИЯ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКАЯ -- МЭМС -- АКСЕЛЕРОМЕТР -- ДАТЧИК ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНОГО ДАВЛЕНИЯ
Аннотация: Рассмотрены МЭМС-датчики с емкостным съемом информации, использующие принцип обратного электростатического преобразования. Представлены конструкции и рабочие характеристики экспериментальных образцов: акселерометра и датчика дифференциального давления. Рассмотрены перспективные направления разработок компенсационных МЭМС-датчиков

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   Р 25

    Раткин , Л. С.
    Современные технологии проектирования, конструирования и производства нано-и микроэлектромеханических систем / Л. С. Раткин // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 3. - С. 2-5. - Библиогр.: с. 5 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
СПЕКТР ШИРОКИЙ АСПЕКТНЫХ ОТНОШЕНИЙ -- СВЧ СИСТЕМЫ НА КРИСТАЛЛЕ С ЭЛЕМЕНТАМИ МЭМС НА НАНОГЕТЕРОСТРУКТУРАХ -- СИСТЕМЫ ВИБРОАКУСТИЧЕСКИЕ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- КАНАЛ ВОЛОКОННО-ОПТИЧЕСКИЙ ИНФОРМАЦИОННЫЙ -- ИНФОРМАТИКА КВАНТОВАЯ -- НАНОГЕТЕРОСТРУКТУРЫ -- НЭМС -- РАН
Аннотация: На состоявшейся 29 февраля 2012 г. научной сессии Отделения нанотехнологий и информационных технологий (ОНИТ) Российской академии наук (РАН) рассматривалась проблематика проектирования, конструирования и производства наноэлектромеханических и микроэлектромеханических систем (НЭМС и МЭМС). Особое внимание уделялось технологиям глубокого плазменного травления структур МЭМС с широким спектром аспектных отношений, созданию виброакустических микромеханических систем с волоконно-оптическим информационным каналом, квантовой информатике НЭМС, сверхвысокочастотным (СВЧ) системам на кристалле с элементами МЭМС на наногетероструктурах в арсениде галлия и технологическим основам создания микропреобразователей параметров движения на принципах переноса массы и заряда в электрохимических микросистемах

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   Р 24


    Расчетно-экспериментальное исследование перемешивания жидкостей в т-образном микроканале / А. В. Минаков, А. А. Ягодницына, А. С. Лобасов, В. Я. Рудяк, А. В. Бильский // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 3. - С. 18-21 : рис. - Библиогр.: с. 21 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ГИДРОДИНАМИКА ВЫЧИСЛИТЕЛЬНАЯ -- МИКРОКАНАЛЫ -- МЭМС-ТЕХНОЛОГИИ -- MICRO-LIF -- MICRO-LIF -- ЖИДКОСТЬ -- МИКРОМИКСЕР
Аннотация: С помощью численного моделирования и экспериментальных методов micro-PIV и micro-LIF исследованы режимы течения и смешения жидкостей в микромиксере Т-типа в широком диапазоне значений числа Рейнольдса. Исследована структура течения и ее влияние на смешение. Получены зависимости коэффициента трения и эффективности смешения от числа Рейнольдса. Показано резкое увеличение эффективности смешения при переходе течения с симметричного на несимметричный режим при стационарном течении

Найти похожие

10.

Инвентарный номер: нет.

   В 64


    Возможности формирования МЭМС-варакторов с электростатическим управлением в GaAs-технологии / П. П. Мальцев, А. П. Лисицкий, А. Ю. Павлов, Н. В. Щаврук, Н. В. Побойкина, В. Д. Хачатрян // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 9. - С. 28-33 : рис., табл. - Библиогр.: с. 33 (21 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ВАРАКТОР -- ВАРАКТОР С ПЕРЕМЕННОЙ ПЛОЩАДЬЮ -- РАДИОЧАСТОТА -- ВАРАКТОР С ПЕРЕМЕННЫМ ДИЭЛЕКТРИКОМ -- СИСТЕМА НА КРИСТАЛЛЕ -- ВАРАКТОР С ПЕРЕМЕННЫМ ЗАЗОРОМ -- МИС -- МЭМС
Аннотация: Приведен обзор возможных технических решений варакторов, выполненных в виде конденсаторов переменной емкости по технологии микроэлектромеханических систем (МЭМС). Дана оценка пригодности этих решений и возможности их изготовления на подложках арсенида галлия в целях обеспечения интеграции МЭМС-варакторов с СВЧ приборами на одном кристалле с использованием одних технологических приемов. Данная интеграция позволит создавать систему на кристалле (СнК), что обеспечит экономическую выгоду и уменьшит размеры системы в целом

Найти похожие

11.

Инвентарный номер: нет.

   О-62


    Оптимизация условий формирования тонких пленок ZnO для использования в интегральных МЭМС-устройствах / Д. Г. Громов [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 27-30 : рис. - Библиогр. : с. 30 (17 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ZNO -- СОПРОТИВЛЕНИЕ УДЕЛЬНОЕ -- ПЛЕНКА ТОНКАЯ -- ПЬЕЗОЭФФЕКТ -- РАСПЫЛЕНИЕ МАГНЕТРОННОЕ -- МЭМС-УСТРОЙСТВА
Аннотация: Представлены результаты исследований тонких пленок ZnO для использования в составе интегральных МЭМС-устройствах. Пленки ZnO:Ga получены в процессе магнетронного распыления соответствующей мишени в среде аргона без нагрева подложки. Показано, что удельное сопротивление и стабильность во времени пленок ZnO:Ga существенно зависит от их толщины, воздействия солнечного излучения, внешней окружающей среды. Комплекс доведенных исследований указывает на то, что ужиной нестабильности тонких пленок ZnO являются процессы генерации и залечивания кислородных вакансий, создающие донорные уровни в запрещенной зоне ZnO. Для формирования пленок ZnO с пьезоэлектрическими свойствами требуется осаждение в среде кислорода или последующий отжиг в аналогичной среде, а повышения стабильности пленок во времени можно достигнуть с помощью покрытия, защищающего от воздействия внешней газовой среды

Найти похожие

12.

Инвентарный номер: нет.

   Т 33


    Тензорезистивный кремниевый МЭМС-преобразователь давления мембранного типа / В. С. Суханов [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 36-37 : рис., табл. - Библиогр. : с. 37 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ -- ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ -- ТИП МЕМБРАННЫЙ
Аннотация: Описана конструкция кремниевого интегрального преобразователя давления мембранного типа с тремя жесткими центрами, изготовленного по групповой интегральной технологии размером 6,2 x 6,2 мм. Проведено моделирование чувствительного элемента (ЧЭ) давления с помощью ПО ANSYS методом конечных элементов. Представлена трехмерная модель чувствительного элемента давления с иллюстрацией механических напряжений и деформации мембраны чувствительного элемента. ЧЭ реализован в макетном образце первичного преобразователя давления, представлены характеристики макетного образца

Найти похожие

13.

Инвентарный номер: нет.

   М 97


    МЭМС-детекторы инфракрасного диапазона / А. В. Войцеховский [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 7. - С. 42-49 : рис., табл. - Библиогр. : с. 49 (39 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ДЕТЕКТОРЫ ИНФРАКРАСНЫЕ -- МЭМС -- СИСТЕМЫ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ
Аннотация: Рассмотрены особенности технологии создания микpоэлектpомеханических систем на основе неохлаждаемых тепловых детекторов инфракрасного диапазона, а также параметры дискретных и матричных детекторов данного типа. Особое внимание уделяется новому типу тепловых детекторов - микрокантилеверам с электрическим и оптическим считыванием

Найти похожие

14.

Инвентарный номер: нет.

   Т 38

    Соколов , Л. В.
    Технологические особенности формирования трехмерных МЭМС / Л. В. Соколов , Н. М. Парфенов // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 11. - С. 19-26 : рис., табл. - Библиогр. : с. 18 (13 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МЭМС-УСТРОЙСТВА -- ФОРМИРОВАНИЯ ТРЕХМЕРНЫХ МЭМС -- ТЕХНОЛОГИИ СОВРЕМЕННЫЕ
Аннотация: Обобщены и проанализированы современные достижения в области исследований и разработки различных физико-химических процессов травления монокристаллического кремния для формирования объемных микромеханических структур, показаны основные тенденции развития сенсорови МЭМС-устройст

Найти похожие

15.

Инвентарный номер: нет.

   М 33

    Матвеенко , О. С.
    Нано- и микросистемы для мониторинга параметров движения транспортных средств / О. С. Матвеенко , Д. Л. Гнатюк, Р. Р. Галиев // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 48-50 : рис. - Библиогр. : с. 50 (9 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ДАТЧИК МАГНИТНЫЙ -- МАГНИТОРЕЗИСТОР -- АМР
Аннотация: Рассматривается возможность применения МЭМС- и НЭМС-структур для мониторинга параметров движения транспортных средств. Описаны конструкции магнитнорезистивных датчиков, а также магнитные датчики, сопряженные с aкселерометрaми

Найти похожие

16.

Инвентарный номер: нет.

   М 59


    Микроакселерометры на различные диапазоны измерения линейных ускорений для систем инерциальной навигации / С. П. Тимошенков, В. В. Калугин, Е. С. Кочурина, С. А. Анчутин, В. А. Калинин, К. А. Строганов // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 8. - С. 32-35 : рис. - Библиогр.: с. 35 (9 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
АКСЕЛЕРОМЕТР ЕМКОСТНОЙ -- МЭМС -- МИКРОАКСЕЛЕРОМЕТРЫ
Аннотация: Рассмотрены микромеханические акселерометры, имеющие потенциально широкую область применения. Разработаны микроакселерометры с емкостной системой измерения перемещений чувствительного элемента, достоинством которой является высокая чувствительность, простота конструкции и технологии изготовления

Найти похожие

17.

Инвентарный номер: нет.

   И 73


    Интегральные МЭМС-датчики с повышенной стабильностью выходных параметров / В. В. Пинаев, В. С. Суханов, В. В. Панков, Ю. А. Михайлов, Н. Л. Данилова, С. Ю. Былинкин, А. А. Гаврилов, А. Н. Шипунов // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 8. - С. 36-41 : рис. - Библиогр.: с. 41 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ -- АКСЕЛЕРОМЕТР -- ЭЛЕМЕНТ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ -- СТАБИЛЬНОСТЬ ПАРАМЕТРОВ ВРЕМЕННАЯ -- ИСПЫТАНИЯ НА БЕЗОТКАЗНОСТЬ
Аннотация: На примере изготовления чувствительных элементов датчиков давления и акселерометров рассмотрены технологические методики, обеспечивающие повышение временной стабильности их параметров. Приведены результаты ускоренных испытаний на безотказность макетных образцов. Расчетно-экспериментальным путем определены показатели надежности датчиков

Найти похожие

18.

Инвентарный номер: нет.

   П 76


    Применение пористого кремния при создании газопоглощающих структур в составе МЭМС / С. П. Тимошенков [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 2. - С. 35-38 : рис. - Библиогр. : с. 38 (17 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
КРЕМНИЙ ПОРИСТЫЙ -- МЭМС -- ГЕТТЕРЫ -- НАНОСТРУКТУРИРОВАНИЕ -- СТРУКТУРЫ ГАЗОПОГЛОЩАЮЩИЕ
Аннотация: Рассматриваются способы применения пористого кремния при создании газопоглощающих структур в составе микроэлектромеханических систем. Предлагаемые способы позволяют создавать газопоглощающие структуры с высоким значением эффективной поверхности и сорбционной емкости, совместимые с технологиями микросистемной техники

Найти похожие

19.

Инвентарный номер: нет.

   Р 25

    Раткин , Л. С.
    Современные технологии производства МЭМС / Л. С. Раткин // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 3. - С. 23-24 . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МЭМС -- ИССЛЕДОВАНИЯ КОСМИЧЕСКИЕ -- СЕНСОРЫ БЕЗБАТАРЕЙНЫЕ -- ТЕХНИКА КОММУТАЦИОННАЯ -- МОБИЛЬНОСТЬ АКАДЕМИЧЕСКАЯ
Аннотация: В 2011 году в Москве Русской ассоциацией разработчиков, производителей и потребителей микроэлектромеханических систем (МЭМС) был организован Международный форум, посвященный современным технологиям производства и перспективам развития МЭМС-устройств, на котором были представлены результаты научных исследований ведущих организаций по приоритетным направлениям развития отрасли

Найти похожие

20.

Инвентарный номер: нет.

   В 14


    Вакуумплотное матричное корпусирование сенсорных микроэлектромеханических систем (аналитический обзор). Часть 2*. формирование вакуумплотных электрических выводов, способы сохранения и контроля вакуума в рабочих полостях и общие тенденции развития технологии корпусирования с МЭМС / П. Г. Бабаевский , С. А. Жукова, Д. Ю. Обижаев, Е. А. Гринькин, В. Е. Турков, Г. М. Резниченко, Д. Д. Рискин, Ю. А. Бычкова // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 4. - С. 3-11. - Библиогр.: с. 11 (21 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

531.76

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
СЕНСОРНЫЕ МЭМС -- ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ -- КОРПУСИРОВАНИЕ НА УРОВНЕ ПЛАСТИН -- ТОНКОСЛОЙНОЕ КАПСУЛИРОВАНИЕ -- ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ВЫВОДЫ -- КОНТАКТЫ -- МЕЖСОЕДИНЕНИЯ -- СОЕДИНИТЕЛЬНЫЕ СЛОИ -- ГАЗОПОГЛОТИТЕЛИ -- МЕМБРАННЫЕ СЕНСОРЫ -- СЕНСОРЫ ПИРАНИ -- БАЛОЧНЫЕ РЕЗОНАТОРЫ
Аннотация: Часть 2 обзора посвящена методам и проблемам формирования вакуумплотных электрических выводов к контактным площадкам, сохранения и контроля вакуума в рабочих полостях МЭМС, а также общим тенденциям развития технологии корпусирования сенсорных МЭМС, направленным на уменьшение размеров корпусов за счет использования новых материалов и процессов для соединения пластин, а также на компьютеризацию моделирования, проектирования, производства, испытания и оценки надежности и жизнеспособности С МЭМС в единой системе обеспечения их жизненного цикла

Найти похожие

21.

Инвентарный номер: нет.

   И 73


    Интегральный конденсаторный преобразователь акустического давления для миниатюрного мэмс-микрофона / И. В. Годовицын, С. С. Генералов, С. А. Поломошников, П. А. Сывороткин, В. В. Амеличе // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 4. - С. 43-50. - Библиогр.: с. 50 (18 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

621.586.4

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МЭМС-МИКРОФОН -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ АКУСТИЧЕСКОГО ДАВЛЕНИЯ -- МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
Аннотация: Статья посвящена разработке конструкции конденсаторного преобразователя акустического сигнала для МЭМС-микрофона. Структура преобразователя включает подвижную, чувствительную к акустическому давлению мембрану и неподвижную сигнальную пластину, сформированные из слоев осажденного поликремния. Особенное внимание уделено снижению механических напряжений в мембране и сигнальной пластине. Полость в кремниевой подложке, выполняющая функцию источника опорного давления, сформирована с использованием жидкостного анизотропного травления. Изготовлены экспериментальные образцы преобразователя и проведена оценка чувствительности, которая составила 4,5...5,0 мВ/Па, что соответствует значению -46 дБ, рассчитанному относительно чувствительности 1 В/Па. Проведена запись звука с помощью стандартной программы звукозаписи, входящей в комплект Windows. Субъективная оценка записи позволяет сказать, что преобразователь обладает высоким качеством передачи звука

Найти похожие

22.

Инвентарный номер: нет.

   В 14


    Вакуумплотное матричное корпусирование сенсорных микроэлектромеханических систем (анадитический обзор) Часть 1. Процессы соединения и разрезания пластин, локальная герметизация (вакуумное капсулирование) чувствительных элементов сенсорных микроэлектромеханических систем / П. Г. Бабаевский, С. А. Жукова, Д. Ю. Обижаев, Е. А. Гринькин, В. Е. Турков, Г. М. Резниченко, Д. Д. Рискин, Ю. А. Бычкова // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 3. - С. 3-12. - Библиогр.: с. 12 (18 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

531.76

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
СЕНСОРНЫЕ МЭМС -- ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ -- КОРПУСИРОВАНИЕ НА УРОВНЕ ПЛАСТИН -- СОЕДИНЕНИЕ ПЛАСТИН -- РАЗРЕЗАНИЕ -- ВАКУУМНОЕ КАПСУЛИРОВАНИЕ
Аннотация: Данный обзор посвящен обобщенному анализу способов и проблем вакуумплотного корпусирования сенсорных МЭМС, в первую очередь, соединения элементов корпусов и подложек, их разделения, формирования электрических выводов, контактов и соединений, обеспечения, сохранения и контроля вакуума в рабочих полостях. Первая часть обзора посвящена обобщенному анализу особенностей и возможностей наиболее эффективных процессов соединения кремниевых пластин между собой и с пластинами из других материалов, разрезания пластин и вакуумного капсулирования МЭМ ЧЭ в рабочих полостях. Анализ показывает, что наибольшие возможности при производстве вакуумплотных сенсорных МЭМС обеспечивает использование металлических соединительных слоев, в первую очередь, из эвтектических сплавов золота и низкотемпературных припоев

Найти похожие

23.

Инвентарный номер: нет.

   К 65


    Конструкция и технология изготовления матрицы силовых микроэлектромеханических ключей / В. В. Амеличев, С. С. Генералов, А. В. Якухина, С. В. Шаманаев, В. В. Платонов // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 3. - С. 28-32. - Библиогр.: с. 32 (8 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

621.382.049.77

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
КРЕМНИЕВАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ЭЛЕМЕНТ -- МАТРИЦА -- МЭМС-КЛЮЧ -- МЕТАЛЛИЧЕСКАЯ ПЛАТА -- НИЗКООМНЫЕ ЭЛЕКТРОДЫ -- СИЛОВАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
Аннотация: Представлены конструкция и технология изготовления матрицы силовых микроэлектромеханических ключей. Рассмотрены основные конструктивные и технологические особенности создания кристалла МЭМС-ключа с электростатическим способом управления замыканием контактной группы. Определены перспективы применения матрицы силовых микроэлектромеханических ключей для коммутации постоянного и низкочастотного переменного тока в приборах средней мощности

Найти похожие

24.

Инвентарный номер: нет.

   Р 24


    Расчет и изготовление узкополосного СВЧ микроэлектромеханического переключателя для частотного диапазона 10...12 ГГц на подложках арсенида галлия / П. П. Мальцев, М. В. Майтама, А. Ю. Павлов, Н. В. Щаврук // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 6. - С. 30-33. - Библиогр.: с. 33 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

621.316.543.1

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ (МЭМС) -- СВЧ ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛЬ -- РАСЧЕТ МЭМС-ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛЯ -- АРСЕНИД ГАЛЛИЯ
Аннотация: Рассмотрены вопросы проектирования и изготовления дискретных электростатических СВЧ переключателей на основе микроэлектромеханических систем (МЭМС) на пластинах арсенида галлия и оценки возможности интегрирования их в общую схему с монолитными интегральными схемами (МИС) приемо-передающих устройств, изготовленных в едином производственном цикле

Найти похожие

25.

Инвентарный номер: нет.

   Ф 15

    Фадеев, М.
    Решения для высококачественного анализа микро- и наноструктур / М. Фадеев // Наноиндустрия. - 2014. - № 1(47). - С. 26-32 . - ISSN 1993-8578

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ПРОБОПОДГОТОВКА -- ПРОСВЕЧИВАЮЩИЙ -- ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП -- СКАНИРУЮЩИЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП
Аннотация: Необходимым условием для качественного анализа микро- и наноструктур является правильная подготовка образцов. Проблема актуальна во многих высокотехнологичных областях: в полупроводниковом производстве, при изготовлении МЭМС и в научных исследованиях.

Найти похожие

26.

Инвентарный номер: нет.

   Л 13

    Лавров, П. П.
    Роль молекулярных добавок в снижении внутренних напряжений в наноструктурных пленках ЦТС, получаемых золь-гель методом / П. П. Лавров, А. В. Корнюхин // Наноматериалы и наноструктуры. - 2014. - Т. 5, № 1. - С. 24-28 : граф., табл. - Библиогр.: с. 28 (24 назв.)

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ЦТС -- ЗОЛЬ-ГЕЛЬ МЕТОД -- МЭМС -- КРИСТАЛЛОГРАФИЧЕСКАЯ ОРИЕНТАЦИЯ -- ПОЛИМЕРЫ -- ПОЛИВИНИЛПИРРОЛИДОН
Аннотация: Представлен анализ влияния молекулярных добавок на толщину и микроструктуру наноструктурированных пленок цирконата-титоната свинца, сформированных золь-гель методом

Найти похожие

27.

Инвентарный номер: нет.

   М 73


    Многоканальные тензорезистивные преобразователи давления / Д. В. Гусев, Н. Л. Данилова, Н. С. Землянников, В. С. Суханов // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 6. - С. 52-54 : табл., граф. - Библиогр.: с. 54 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

681.586.35

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ТЕНЗОРЕЗИСТИВНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ -- МНОГОКАНАЛЬНЫЙ СКАНЕР ДАВЛЕНИЯ
Аннотация: В основе многих современных средств измерений использованы устройства на основе МЭМС, изготовленные по различным технологиям. В данной работе рассмотрена конструкция многоканального сканера давления для измерения давления на поверхности моделей летательных аппаратов при проведении испытаний в аэродинамической трубе. Предложенное устройство основано на кремниевых тензорезистивных преобразователях давления

Найти похожие

28.

Инвентарный номер: нет.

   О-62


    Оптимизация конструкции чувствительного элемента давления с распределенным жестким центром с помощью компьютерного трехмерного моделирования / А. И. Артемова, Ю. А. Михайлов, В. В. Панков, В. С. Суханов // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 7. - С. 34-37 : граф. - Библиогр.: с. 37 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

004.942:681.586.35

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МЭМС ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ -- ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ (ЧЭ) -- ТЕНЗОРЕЗИСТОРЫ -- ЖЕСТКИЙ ЦЕНТР -- КОНЕЧНО-ЭЛЕМЕНТНЫЙ АНАЛИЗ
Аннотация: Представлен метод оптимизации конструкции кремниевого чувствительного элемента (ЧЭ) давления с распределенным жестким центром. С помощью компьютерного трехмерного моделирования были созданы несколько конструкций ЧЭ с различными вариантами исполнения жесткого центра. С помощью программного комплекса ANSYS было проведено моделирование конструкций ЧЭ при разных приложенных давлениях методом конечных элементов. Полученные выходные значения чувствительности и нелинейности характеристики позволяют сравнить конструкции ЧЭ и выбрать наиболее оптимальный вариант исполнения изделия

Найти похожие

29.

Инвентарный номер: нет.

   У 82


    Устройство управления микромеханическим реле на основе массива силовых МЭМС-ключей / В. В. Амеличев, С. С. Генералов, П. А. Сывороткин, С. В. Шаманаев, В. В. Платонов // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 2. - С. 43-45. - Библиогр.: с. 45 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

621.382.049.77

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЙ МЭМС-КЛЮЧ -- ЦИФРОВАЯ СИСТЕМА КОНТРОЛЯ
Аннотация: Разработано цифровое устройство, обеспечивающее бездуговую коммутацию электрической цепи, а также осуществляющее динамическую защиту матрицы силовых МЭМС (СМЭМС)-ключей по току и защиту по температуре. Разработана компьютерная управляющая программа для контроля работы матрицы СМЭМС-ключей

Найти похожие

30.

Инвентарный номер: нет.

   А 61

    Амеличев, В. А.
    Технологические особенности создания беспроводной магниторезистивной МЭМС контроля параметров движения / В. А. Амеличев, Е. В. Благов, Р. О. Гаврилов // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 7. - С. 13-15 : рис. - Библиогр.: с. 15 (15 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
БАЛКА -- МЭМС МАГНИТОРЕЗИСТИВНАЯ -- СПОСОБ БЕСПРОВОДНОЙ -- ТЕХНОЛОГИЯ ИНТЕГРАЛЬНАЯ -- РАДИОКАНАЛ -- МИКРОМАГНИТ -- УСКОРЕНИЕ -- ПЛЕНКА ТОНКАЯ
Аннотация: Представлены результаты экспериментальных работ по созданию совмещенной технологии изготовления магниторезистивной МЭМС контроля параметров движения. Приведены результаты исследования совместимости технологических процессов объемной обработки кремния и формирования тонкопленочных магниторезистивных структур на одном кристалле. Рассмотрены возможности передачи по радиоканалу информационного сигнала магниторезистивной МЭМС контроля параметров движения

Найти похожие

1-30 31-60 61-76

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН

  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)