Центральная Научная Библиотека УрО РАН

Главная

Новые поступления

Описание

Базы данных

Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска

Каталог книг и продолжающихся изданий

Сводный каталог иностранных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН

Сводный каталог отечественных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН

Каталог диссертаций и авторефератов диссертаций УрО РАН

Каталог препринтов УрО РАН (1975 г. - )

Имидж-каталог отечественных книг (до 2010 г.)

Имидж-каталог иностранных книг (до 2010 г.)

Алфавитно-предметный указатель (АПУ) ЦНБ УрО РАН

Публикации об УрО РАН

Изобретения уральских ученых

Интеллектуальная собственность (статьи из периодики)

Нанотехнологии

Демидовские премии

Гибель династии Романовых

История Урала

Личная библиотека С. В. Вонсовского

Книжная коллекция Шубиных

Труды Института высокотемпературной электрохимии УрО РАН

Труды Института истории и археологии УрО РАН

Труды сотрудников Института горного дела УрО РАН

Труды сотрудников Института органического синтеза УрО РАН

Труды сотрудников Института теплофизики УрО РАН

Труды сотрудников Института химии твердого тела УрО РАН

Расплавы

Труды сотрудников ЦНБ УрО РАН

Публикации Черешнева В.А.

Публикации Чарушина В.Н.

Каталог библиотеки ИЭРиЖ УрО РАН

Электронная энциклопедия «Дискурсология»

Библиометрия

Область поиска

в найденном

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=МЭМС<.>)

Общее количество найденных документов : 76
Показаны документы с 1 по 30

1-30 31-60 61-76

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/А 61
Автор(ы) : Амеличев В. А., Благов Е. В., Гаврилов Р. О.
Заглавие : Технологические особенности создания беспроводной магниторезистивной МЭМС контроля параметров движения
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 7. - С. 13-15: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 15 (15 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): балка--мэмс магниторезистивная--способ беспроводной--технология интегральная--радиоканал--микромагнит--ускорение--пленка тонкая
Аннотация: Представлены результаты экспериментальных работ по созданию совмещенной технологии изготовления магниторезистивной МЭМС контроля параметров движения. Приведены результаты исследования совместимости технологических процессов объемной обработки кремния и формирования тонкопленочных магниторезистивных структур на одном кристалле. Рассмотрены возможности передачи по радиоканалу информационного сигнала магниторезистивной МЭМС контроля параметров движения
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/А 64
Автор(ы) : Лукьянов Д. П., Шевченко С. Ю., Кукаев А. С., Сафронов Д. В.
Заглавие : Анализ концепций построения твердотельных микрогироскопов на поверхностных акустических волнах
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 7. - С. 24-28: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 28 (26 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Аннотация: Рассматриваются концепции построения твердотельных микромеханических гироскопов (ТМГ) на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Приводится сопоставительный анализ схемно-технических решений, результатов экспериментальных исследований и достигнутых точностных характеристик. Даются оценки времени готовности ТМГ и анализируются направления дальнейшего развития виброустойчивых и ударопрочных твердотельных сенсоров на ПАВ
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/А 90
Автор(ы) : Аскерко А. Н., Бохов О. С., Лучинин В. В.
Заглавие : Испытания и тестирование микроэлектромеханических компонентов и систем на их основе
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 2. - С. 49-54: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 54 (7 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): испытания мэмс--техника микросистемная--системы микроэлектромеханические--мст-компоненты
Аннотация: Рассмотрены современное состояние рынка микросистемной техники, особенности комплектования аппаратуры МСТ-компонентов, метрологическое обеспечение и стандартизация. Обобщены вопросы испытаний, определения характеристик надежности электронной компьютерной базы микросистемной техники
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Б 43
Автор(ы) : Белкин А. М., Косцов Э. Г.
Заглавие : Ступенчатые отражательные дифракционные МЭМС-решетки
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 9. - С. 44-49: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 49 (17 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): решетка дифракционная--мэмс--свойства оптические--мэмс ступенчатые отражательные
Аннотация: Рассмотрены оптические свойства новых ступенчатых отражательных МЭМС дифракционных решеток с "блеском". Показана возможность концентрации в таких решетках максимальной интенсивности света в одном выделенном порядке дифракции. Предложены способы практической реализации таких решеток
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Б 43
Автор(ы) : Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е.
Заглавие : Методы и средства минимизации влияния нестационарных температур в МЭМС-структурах тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 3. - С. 28-34: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 34 (10 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): мэмс-структура--датчики давления--тензорезисторы
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Б 43
Автор(ы) : Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е.
Заглавие : Повышение термостойкости тонкопленочных емкостных МЭМС-структур
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 7. - С. 41-44: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 44 (3 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): термостойкость--мэмс-структуры--тонкопленочные датчики
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Б 43
Автор(ы) : Белозубов Е. М.
Заглавие : Повышение устойчивости мэмс-структур тонкопленочных датчиков к воздействию виброускорений и температур
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 2. - С. 63-66: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с.
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Б 43
Автор(ы) : Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е.
Заглавие : Тонкопленочные емкостные МЭМС-структуры с минимизацией влияния температур для датчиков давления
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 10. - С. 42-47: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 47 (3 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): тонкопленочные емкостные мэмс-структуры с возможностью измерения температур электродов
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 53/Б 43
Автор(ы) : Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е., Васильев В. А.
Заглавие : Тонкопленочные микроэлектромеханические системы и датчики на их основе
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 2. - С. 33-39: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 38 (12 назв.)
ББК : 53
Предметные рубрики: ФИЗИКА
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): тонкопленоченые микроэлектромеханические системы (тмэмс)--тонкопленоченые тензорезисторные мэмс (ттмэмс)--тонкопленоченые емкостные мэмс (темэмс)--обобщенная системная модель
Найти похожие

10.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 623.7/Б 43
Автор(ы) : Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е.
Заглавие : Тонкопленочные тензорезисторные микроэлектромеханические системы с идентичными тензоэлементами и мембранами, имеющими жесткий центр
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 11. - С. 38-42: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 42 (5 назв.)
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ФИЗИКА-- МЕХАНИКА
Найти похожие

11.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 623.7/Б 43
Автор(ы) : Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е., Васильев В. А.
Заглавие : Тонкопленочные тензорезисторные микроэлектромеханические системы с идентичными тензоэлементами
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 10. - С. 34-39: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 39 (10 назв.)
ББК : 623.7
Предметные рубрики: МЕХАНИКА
Найти похожие

12.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Б 43
Автор(ы) : Белозубов Е.М., Белозубова Н.Е., Козлова Ю.А.
Заглавие : Тонкопленочные емкостные МЭМС-структуры с возможностью измерения температур электродов
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 9. - С. 33-36: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 36 (2 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): тонкопленочные емкостные мэмс-структуры--температура--виброускорения--выводной проводник--контактная площадка--электрод--измерение температур электродов
Найти похожие

13.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Б 61
Автор(ы) : Вопилкин Е. А., Шашкин В. И., Дроздов Ю. Н., Данильцев В. М., Гусев С. А. , Шулешова И. Ю.
Заглавие : Биморфный пьезоэлектрический двигатель для МЭМС на основе GaAs
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 10. - С. 47-51: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 51 (10 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): биморф--пьезодвигатель--микроконсоль
Найти похожие

14.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Б 86
Автор(ы) : Бокарев В. П., Горнев Е. С.
Заглавие : Применение контактной литографии в процессах переноса субмикрометрового изображения при изготовлении мэмс и пав-устройств
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 7 . - С. 23-27: табл., рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 27 (9 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): литография контактная--мэмс--пав-устройства
Аннотация: Рассмотрены вопросы применимости контактной, проекционной и импринт литографии при изготовлении МЭМС и ПАВ-устройств с субмикрометровыми проектными нормами
Найти похожие

15.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Б 86
Автор(ы) : Бохов О. С., Спивак А. М., Орехов Ю. А.
Заглавие : Миниатюрные навигационно-ориентационные интегрированные модули на основе микроэлектромеханических систем
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 12. - С. 55-60: табл., рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): мэмс--навигация--гироскоп--акселерометр
Аннотация: Рассмотрено применение микроэлектромеханических систем для создания миниатюрных навигационно-ориентационных интегрированных модулей в целях улучшения массогабаритных параметров и энергопотребления, при этом рассмотренный интегральный подход дает возможность обеспечить характеристики устройств, в ряде задач сопоставимые с системами на лазерных гироскопах, и дополнительные преимущества, такие как время холодного старта, устойчивость к перегрузкам, повышенная живучесть
Найти похожие

16.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/В 12
Автор(ы) : Вавилов В. Д., Глазков О. Н.
Заглавие : Исследование стохастической погрешности микросистемного акселерометра
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 8. - С. 27-29. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 29 (5 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): белый шум--мэмс--нулевой уровень
Аннотация: Целью данной работы является исследование влияния стохастического процесса, например "белого шума", на нулевой уровень и крутизну статической характеристики микросистемного акселерометра. Эти данные могут быть получены на начальном этапе проектирования до изготовления опытных образцов для экспериментальных исследований
Найти похожие

17.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 531.76/В 14
Автор(ы) : Бабаевский П. Г., Жукова С. А., Обижаев Д. Ю., Гринькин Е. А., Турков В. Е., Резниченко Г. М., Рискин Д. Д., Бычкова Ю. А.
Заглавие : Вакуумплотное матричное корпусирование сенсорных микроэлектромеханических систем (анадитический обзор) Часть 1. Процессы соединения и разрезания пластин, локальная герметизация (вакуумное капсулирование) чувствительных элементов сенсорных микроэлектромеханических систем
Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 3. - С. 3-12. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 12 (18 назв.)
УДК : 531.76
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): сенсорные мэмс--чувствительные элементы--корпусирование на уровне пластин--соединение пластин--разрезание--вакуумное капсулирование
Аннотация: Данный обзор посвящен обобщенному анализу способов и проблем вакуумплотного корпусирования сенсорных МЭМС, в первую очередь, соединения элементов корпусов и подложек, их разделения, формирования электрических выводов, контактов и соединений, обеспечения, сохранения и контроля вакуума в рабочих полостях. Первая часть обзора посвящена обобщенному анализу особенностей и возможностей наиболее эффективных процессов соединения кремниевых пластин между собой и с пластинами из других материалов, разрезания пластин и вакуумного капсулирования МЭМ ЧЭ в рабочих полостях. Анализ показывает, что наибольшие возможности при производстве вакуумплотных сенсорных МЭМС обеспечивает использование металлических соединительных слоев, в первую очередь, из эвтектических сплавов золота и низкотемпературных припоев
Найти похожие

18.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 531.76/В 14
Автор(ы) : Бабаевский П. Г., Жукова С. А., Обижаев Д. Ю., Гринькин Е. А., Турков В. Е., Резниченко Г. М., Рискин Д. Д., Бычкова Ю. А.
Заглавие : Вакуумплотное матричное корпусирование сенсорных микроэлектромеханических систем (аналитический обзор). Часть 2*. формирование вакуумплотных электрических выводов, способы сохранения и контроля вакуума в рабочих полостях и общие тенденции развития технологии корпусирования с МЭМС
Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 4. - С. 3-11. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 11 (21 назв.)
УДК : 531.76
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): сенсорные мэмс--чувствительные элементы--корпусирование на уровне пластин--тонкослойное капсулирование--электрические выводы--контакты--межсоединения--соединительные слои--газопоглотители--мембранные сенсоры--сенсоры пирани--балочные резонаторы
Аннотация: Часть 2 обзора посвящена методам и проблемам формирования вакуумплотных электрических выводов к контактным площадкам, сохранения и контроля вакуума в рабочих полостях МЭМС, а также общим тенденциям развития технологии корпусирования сенсорных МЭМС, направленным на уменьшение размеров корпусов за счет использования новых материалов и процессов для соединения пластин, а также на компьютеризацию моделирования, проектирования, производства, испытания и оценки надежности и жизнеспособности С МЭМС в единой системе обеспечения их жизненного цикла
Найти похожие

19.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/В 35
Автор(ы) : Вернер В. Д., Мальцев П. П., Сауров А. Н.
Заглавие : МЭМС и третья индустриальная
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 11. - С. 2-5: табл., граф. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 5 (8 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): сенсоры беспроводные--проекты глобальные--мониторинг--системы микроэлектромеханические--революция индустриальная
Аннотация: На основании анализа содержания ряда международных конференций, проведенных в начале 2012 г., показана определяющая роль МЭМС в развитии третьей индустриальной революции
Найти похожие

20.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/В 64
Автор(ы) : Мальцев П. П., Лисицкий А. П., Павлов А. Ю., Щаврук Н. В., Побойкина Н. В., Хачатрян В. Д.
Заглавие : Возможности формирования МЭМС-варакторов с электростатическим управлением в GaAs-технологии
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 9. - С. 28-33: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 33 (21 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): варактор --варактор с переменной площадью--радиочастота--варактор с переменным диэлектриком-- система на кристалле --варактор с переменным зазором--мис--мэмс
Аннотация: Приведен обзор возможных технических решений варакторов, выполненных в виде конденсаторов переменной емкости по технологии микроэлектромеханических систем (МЭМС). Дана оценка пригодности этих решений и возможности их изготовления на подложках арсенида галлия в целях обеспечения интеграции МЭМС-варакторов с СВЧ приборами на одном кристалле с использованием одних технологических приемов. Данная интеграция позволит создавать систему на кристалле (СнК), что обеспечит экономическую выгоду и уменьшит размеры системы в целом
Найти похожие

21.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Г 21
Автор(ы) : Гаршин А. Я., Тучин А. В., Бормонтов Е. Н.
Заглавие : Дифференциальный датчик давления с импульсной компенсацией
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 4. - С. 25-26: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 26 (4 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): датчик давления --компенсация электростатическая--мэмс--акселерометр--датчик дифференциального давления
Аннотация: Рассмотрены МЭМС-датчики с емкостным съемом информации, использующие принцип обратного электростатического преобразования. Представлены конструкции и рабочие характеристики экспериментальных образцов: акселерометра и датчика дифференциального давления. Рассмотрены перспективные направления разработок компенсационных МЭМС-датчиков
Найти похожие

22.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Г 63
Автор(ы) : Гольцова М. М., Юдинцев В. А.
Заглавие : МЭМС: большие рынки малых устрйств
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 4. - С. 9-13: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектромеханические системы--мэмс--мэмс-устройства
Найти похожие

23.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания :
Автор(ы) : Драгунов В. П., Доржиев В. Ю.
Заглавие : Трехэлектродная двухконденсаторная МЭМС со встроенным зарядом
Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 2. - С. 33-38. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 38 (14 назв.)
УДК : 621.3.049.77.002.5
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): электростатический преобразователь энергии--встроенный заряд--извлечение энергии из окружающей среды--микромощный генератор
Аннотация: Представлен анализ особенностей функционирования трехэлектродной двухконденсаторной МЭМС со встроенным зарядом, преобразующей энергию механических колебаний в электрическую. Анализ проводился с учетом взаимного влияния электрических и механических сил. Получены аналитические выражения, позволяющие оценить предельные параметры и рассчитать основные характеристики системы при гармоническом и ступенчатом характере вынуждающей силы. Показано, что такие МЭМС при возбуждении низкочастотными колебаниями могут развивать удельную мощность порядка 10 мкВт/см 2
Найти похожие

24.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Д 72
Автор(ы) : Драгунов В. П., Остертак Д. И.
Заглавие : Электростатические взаимодействия в мэмс с плоскопараллельными электродами. часть i. расчет емкостей
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 7 . - С. 37-41: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 41 (12 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): мэмс--емкость электрическая--конденсатор плоский
Аннотация: Сравниваются различные подходы к расчету зависимостей емкости плоского конденсатора, содержащего два одинаковых прямоугольных или круглых параллельных электрода, от межэлектродного зазора и взаимного смещения электродов. Рассчитываются погрешности в оценках емкости при использовании различных подходов. Приводится аналитическое выражение для расчета емкостей при изменении площади перекрытия электродов
Найти похожие

25.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Д 72
Автор(ы) : Драгунов В. П., Остертак Д. И.
Заглавие : Электростатические взаимодействия в мэмс с плоскопараллельными электродами. часть ii. расчет электростатических сил
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 8. - С. 40-47: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 47 (3 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): мэмс--емкость электрическая--конденсатор плоский--эффекты краевые
Аннотация: Проводится сравнение различных подходов к оценке компонент электростатических сил, действующих между электродами плоского конденсатора, содержащего два одинаковых прямоугольных или круглых электрода. Приводятся аналитические выражения для расчета компонент электростатических сил. Рассчитываются погрешности в оценках компонент электростатических сил, действующих на электроды конденсаторов при изменении межэлектродного зазора и площади перекрытия электродов
Найти похожие

26.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Е 92
Автор(ы) : Ефремов Г.И., Мухуров Н.И.
Заглавие : Параметры трехэлектродных электростатических микроактюаторов
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 9. - С. 40-44: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 44 (10 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): мэмс--трехэлектродная система--микроактюатор
Найти похожие

27.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 623.7/И 37
Автор(ы) : Акопьян В. А., Панич А. А., Рожков Е. В., Шевцов С. Н.
Заглавие : Измерительно-информационный комплекс для моделирования и демпфирования колебаний элементов летательных аппаратов
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 11. - С. 7-13: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 13 (18 назв.)
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Найти похожие

28.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/И 73
Автор(ы) : Пинаев В. В., Суханов В. С., Панков В. В., Михайлов Ю. А., Данилова Н. Л., Былинкин С. Ю., Гаврилов А. А., Шипунов А. Н.
Заглавие : Интегральные МЭМС-датчики с повышенной стабильностью выходных параметров
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 8. - С. 36-41: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 41 (6 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): датчик давления--акселерометр--элемент чувствительный --стабильность параметров временная --испытания на безотказность
Аннотация: На примере изготовления чувствительных элементов датчиков давления и акселерометров рассмотрены технологические методики, обеспечивающие повышение временной стабильности их параметров. Приведены результаты ускоренных испытаний на безотказность макетных образцов. Расчетно-экспериментальным путем определены показатели надежности датчиков
Найти похожие

29.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.586.4/И 73
Автор(ы) : Годовицын И. В., Генералов С. С., Поломошников С. А., Сывороткин П. А., Амеличе В. В.
Заглавие : Интегральный конденсаторный преобразователь акустического давления для миниатюрного мэмс-микрофона
Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 4. - С. 43-50. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 50 (18 назв.)
УДК : 621.586.4
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): мэмс-микрофон--преобразователь акустического давления--микросистемная технология
Аннотация: Статья посвящена разработке конструкции конденсаторного преобразователя акустического сигнала для МЭМС-микрофона. Структура преобразователя включает подвижную, чувствительную к акустическому давлению мембрану и неподвижную сигнальную пластину, сформированные из слоев осажденного поликремния. Особенное внимание уделено снижению механических напряжений в мембране и сигнальной пластине. Полость в кремниевой подложке, выполняющая функцию источника опорного давления, сформирована с использованием жидкостного анизотропного травления. Изготовлены экспериментальные образцы преобразователя и проведена оценка чувствительности, которая составила 4,5...5,0 мВ/Па, что соответствует значению -46 дБ, рассчитанному относительно чувствительности 1 В/Па. Проведена запись звука с помощью стандартной программы звукозаписи, входящей в комплект Windows. Субъективная оценка записи позволяет сказать, что преобразователь обладает высоким качеством передачи звука
Найти похожие

30.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/И 88
Автор(ы) : Тимошенков С. П., Гаев Д. С., Бойко А. Н., Горшкова Н. М.
Заглавие : Исследование и разработка газопоглощающих покрытий для МЭМС
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 2. - С. 24-27: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 27 (7 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Аннотация: Методом магнетронного распыления получены наноструктуированные пленки состава Ti1-хVх, представляющие интерес в качестве геттерных покрытий в микроэлектромеханических системах. Показано, что получаемые покрытия имеют выраженный гранулированный характер с размером зерен в диапазоне 20...120 нм. Рассчитанные значения фрактальной размерности свидетельствуют о высокой развитости поверхности пленок
Найти похожие

1-30 31-60 61-76

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН

  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)