Поисковый запрос: (<.>K=МЭМС<.>) |
Общее количество найденных документов : 76
Показаны документы с 1 по 30 |
|
1. 
|
Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Я 96
Автор(ы) : Яшин К. Д., Осипович В. С., Божко Т. Г.
Заглавие : Разработка МЭМС
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 1. - С. 28-34: фото. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микрозеркала--микровыключатели--микродатчики
Найти похожие
|
2.
|
Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/М 74
Автор(ы) : Мокров Е. А., Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е.
Заглавие : Модель неинформативного преобразования термоэдс МЭМС-структур тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления при воздействии нестационарных температур
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 1. - С. 61-65 : рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 65 (5 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): тензоризисторные датчики--тензоэлемент--мэмс-структура
Найти похожие
|
3.
|
Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Б 43
Автор(ы) : Белозубов Е. М.
Заглавие : Повышение устойчивости мэмс-структур тонкопленочных датчиков к воздействию виброускорений и температур
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 2. - С. 63-66: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с.
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Найти похожие
|
4.
|
Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Б 43
Автор(ы) : Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е.
Заглавие : Методы и средства минимизации влияния нестационарных температур в МЭМС-структурах тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 3. - С. 28-34: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 34 (10 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): мэмс-структура--датчики давления--тензорезисторы
Найти похожие
|
5.
|
Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Г 63
Автор(ы) : Гольцова М. М., Юдинцев В. А.
Заглавие : МЭМС: большие рынки малых устрйств
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 4. - С. 9-13: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектромеханические системы--мэмс--мэмс-устройства
Найти похожие
|
6.
|
Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/С 56
Автор(ы) : Вернер В. Д., Мальцев П. П., Резнев А. А., Сауров А. Н., Чаплыгин Ю. А.
Заглавие : Современные тенденции развития микросистемной техники
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 8. - С. 2-6: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 6 (15 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микросистемная техника--мэмс--рынок мст--кремниевая технология--темп развития
Аннотация: Рассмотрены основные изменения и тенденции развития микросистемной техники к началу 2008 г. Отмечено существенное повышение роли электронной составляющей конструкции МЭМС вследствие введения систем самотестирования и развития интерфейсных устройств беспроводной связи. Тенденция постоянного снижения цены вызывает поиск новых областей применения МЭМС (бытовая техника), новых материалов (полимеров) и новых технологических решений. Производство МЭМС по-прежнему на 80% основано на микрообработке кремния, в связи с этим освоены технологии корпусирования на пластине и 3D-сборка, крупные фирмы переводят свое производство на пластины 200мм. Рассмотрены положительные и негативные аспекты рассмотренных тенденций
Найти похожие
|
7.
|
Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/С 92
Автор(ы) : Белоус А. И., Емельянов В. А., Дрозд С. Е., Коннов Е. В., Мухуров Н. И., Плебанович В. А.
Заглавие : Схемотехническое конструирование БИС преобразователя емкость - напряжение для микроэлектромеханических датчиков
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 8. - С. 19-19: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 19 (6 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): дифференциальный конденсатор--мэмс-технология--технология интегральных сил
Аннотация: Рассматриваются вопросы схемотехнического конструирования БИС преобразователя емкость - напряжение для электронной схемы микромеханического сенсора общего назначения. Предлагаемая структурная схема БИС может быть использована для построения МЭМС с емкостным выходом от чувствительного элемента
Найти похожие
|
8.
|
Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/В 12
Автор(ы) : Вавилов В. Д., Глазков О. Н.
Заглавие : Исследование стохастической погрешности микросистемного акселерометра
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 8. - С. 27-29. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 29 (5 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): белый шум--мэмс--нулевой уровень
Аннотация: Целью данной работы является исследование влияния стохастического процесса, например "белого шума", на нулевой уровень и крутизну статической характеристики микросистемного акселерометра. Эти данные могут быть получены на начальном этапе проектирования до изготовления опытных образцов для экспериментальных исследований
Найти похожие
|
9.
|
Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Б 43
Автор(ы) : Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е.
Заглавие : Повышение термостойкости тонкопленочных емкостных МЭМС-структур
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 7. - С. 41-44: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 44 (3 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): термостойкость--мэмс-структуры--тонкопленочные датчики
Найти похожие
|
10.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 620.3/С 56
Автор(ы) : Яшин К. Д. , Осипович В. С. , Божко Т. Г., Логин В. М.
Заглавие : Современные разработки МЭМС
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 5. - С. 57-64: рис.
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): разработки мэмс--analog devices--ansys--группа evg--intelligent micro pattering--mem research--mems engineering and material--planar--vaisala
Найти похожие
|
11.
|
Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Б 43
Автор(ы) : Белозубов Е.М., Белозубова Н.Е., Козлова Ю.А.
Заглавие : Тонкопленочные емкостные МЭМС-структуры с возможностью измерения температур электродов
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 9. - С. 33-36: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 36 (2 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): тонкопленочные емкостные мэмс-структуры--температура--виброускорения--выводной проводник--контактная площадка--электрод--измерение температур электродов
Найти похожие
|
12.
|
Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Е 92
Автор(ы) : Ефремов Г.И., Мухуров Н.И.
Заглавие : Параметры трехэлектродных электростатических микроактюаторов
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 9. - С. 40-44: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 44 (10 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): мэмс--трехэлектродная система--микроактюатор
Найти похожие
|
13.
|
Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Б 43
Автор(ы) : Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е.
Заглавие : Тонкопленочные емкостные МЭМС-структуры с минимизацией влияния температур для датчиков давления
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 10. - С. 42-47: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 47 (3 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): тонкопленочные емкостные мэмс-структуры с возможностью измерения температур электродов
Найти похожие
|
14.
|
Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Б 61
Автор(ы) : Вопилкин Е. А., Шашкин В. И., Дроздов Ю. Н., Данильцев В. М., Гусев С. А. , Шулешова И. Ю.
Заглавие : Биморфный пьезоэлектрический двигатель для МЭМС на основе GaAs
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 10. - С. 47-51: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 51 (10 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): биморф--пьезодвигатель--микроконсоль
Найти похожие
|
15.
|
Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/И 88
Автор(ы) : Локтев Д. В., Андреев В. М., Зиновьев Д. В., Тузовский К. А., Шишкова И. Н.
Заглавие : Исследование теплопроводности плотных газов в микросистемах
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 11. - С. 29-31: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 31 (4 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микронагреватель--терморезистор--мэмс
Найти похожие
|
16.
|
Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Э 45
Автор(ы) : Бабаевский П. Г., Резниченко Г. М., Жуков А. А., Жукова С. А., Гринькин Е. А.
Заглавие : Электромеханические преобразователи сенсорных микро-и наносистем : физические основы и масштабные эффекты. Часть 1. Чувствительные механические элементы и актюаторы
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 11. - С. 32-44: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 42-44 (78 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нэмс--сенсорные мэмс--актюаторы
Найти похожие
|
17.
|
Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/М 92
Автор(ы) : Мухуров Н. И., Ефремов Г. И., Жвавый С. П.
Заглавие : Упругие элементы в микроэлектромеханических системах
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 12. - С. 12-22: рис.
Примечания : Библиогр. : с. 21 (16 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ФИЗИКА
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектромеханические системы (мэмс)--плоскопараллельная конструктивная схема--роторы постоянного и ступенчатого сечения--опоры--активные силы--реактивные силы--упругие элементы--формулы упргугих линий
Аннотация: Рассмотрены МЭМС плоскопараллельной конструкции. Предложена методика расчета и анализа деформированного состояния роторов, содержащих упругие держатели и якоря, в МЭМС широкого функционального назначения. Рассчитаны и сопоставлены варианты роторов постоянного и ступенчатого исполнения с шарнирными и жесткими опорами. Представлены данные, позволяющие оперативно определить геометрические факторы, необходимые для разработки МЭМС с заданными параметрами.
Найти похожие
|
18.
|
Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Э 45
Автор(ы) : Бабаевский П. Г., Резниченко Г. М., Жуков А. А., Жукова С. А., Гринькин Е. А.
Заглавие : Электромеханические преобразователи сенсорных микро- и наносистем: физические основы и масштабные эффекты. Часть 2. Детекторы, источники и характеристики шумов
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 12. - С. 27-37: рис.
Примечания : Библиогр. : с. 37 (25 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ФИЗИКА
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): сенсорные мэмс--нэмс--электромеханические преобразователи--детекторы--физические основы--масштабные эффекты--чувствительность--разрешающая способность--шумы--спектральная плотность флуктуаций
Аннотация: Во второй части обзора, посвященной аналитическому описанию емкостных, пьезорезистивных, оптоэлектронных и туннельных детекторов электромеханических преобразователей сенсорных микро- и наносистем, показано, что наиболее перспективными при переходе от микро- к наносистемам являются туннельные детекторы. Однако, в них резко проявляются побочные физико-химические, в первую очередь адгезионные и капиллярные, эффекты и силы. При переходе к наномасштабу в основных элементах электрохимических преобразователей существенную роль начинают играть различные флуктуационные процессы, в частности, термомеханичекие, температурные и адсорбционно-десорбционные в чувствительных механических элементах и электрические - в туннельных детекторах. Эти процессы в решающей степени определяют характер и величину помех (шумов) , соответственно, чувствительность и разрешающую способность сенсорных наносистем.
Найти похожие
|
19.
|
Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 623.7/М 59
Автор(ы) : Соболев В. С., Косцов Э. Г., Щербаченко А. М., Уткин Е. Н., Харин А. М.
Заглавие : Микровибрации конструкций капитальных строений как источник возобновляемой энергии для МЭМС-генераторов
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 1. - С. 42-47: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 47 (10 назв.)
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): энергоемкость--виброперемещение
Найти похожие
|
20.
|
Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 53/Б 43
Автор(ы) : Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е., Васильев В. А.
Заглавие : Тонкопленочные микроэлектромеханические системы и датчики на их основе
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 2. - С. 33-39: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 38 (12 назв.)
ББК : 53
Предметные рубрики: ФИЗИКА
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): тонкопленоченые микроэлектромеханические системы (тмэмс)--тонкопленоченые тензорезисторные мэмс (ттмэмс)--тонкопленоченые емкостные мэмс (темэмс)--обобщенная системная модель
Найти похожие
|
21.
|
Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 623.7/Б 43
Автор(ы) : Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е., Васильев В. А.
Заглавие : Тонкопленочные тензорезисторные микроэлектромеханические системы с идентичными тензоэлементами
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 10. - С. 34-39: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 39 (10 назв.)
ББК : 623.7
Предметные рубрики: МЕХАНИКА
Найти похожие
|
22.
|
Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 623.7/И 37
Автор(ы) : Акопьян В. А., Панич А. А., Рожков Е. В., Шевцов С. Н.
Заглавие : Измерительно-информационный комплекс для моделирования и демпфирования колебаний элементов летательных аппаратов
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 11. - С. 7-13: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 13 (18 назв.)
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Найти похожие
|
23.
|
Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 623.7/Б 43
Автор(ы) : Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е.
Заглавие : Тонкопленочные тензорезисторные микроэлектромеханические системы с идентичными тензоэлементами и мембранами, имеющими жесткий центр
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 11. - С. 38-42: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 42 (5 назв.)
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ФИЗИКА-- МЕХАНИКА
Найти похожие
|
24.
|
Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 623.7/Р 24
Автор(ы) : Годовицын И. В., Сайкин Д. А., Федоров Р. А., Амеличев В. В., Мальцев П. П.
Заглавие : Расчет параметров тестовой структуры МЭМС-акселерометра, изготовленного с использованием КНИ-пластин
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 12. - С. 39-45: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 45 (10 назв.)
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Найти похожие
|
25.
|
Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 623.7/М 92
Автор(ы) : Мухуров Н. И., Ефремов Г. И., Жвавый С. П.
Заглавие : Конструктивные варианты электростатических торсионных микросканеров с оптимизированными функциональными параметрами
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 1. - С. 7-15: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 15 (12 назв.)
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Найти похожие
|
26.
|
Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 623.7/П 32
Автор(ы) : Пивоненков Б. И., Школьников В. М.
Заглавие : Одно- и трехкомпонентные пьезорезистивные акселерометры с воздушным демпфированием
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 1. - С. 42-45: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 45 (9 назв.)
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ФИЗИКА-- ОБЩАЯ МЕХАНИКА. МЕХАНИКА ТВЕРДЫХ ТЕЛ
Найти похожие
|
27.
|
Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/М 59
Автор(ы) : Бохов О. С., Бройко А. П., Корляков А. В., Лучинин В. В.
Заглавие : Микросенсор для контроля остаточного давления на основе периодического теплового режима
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 2. - С. 14-17: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 17 (6 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ , 20-21 вв.
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микросенсор--давление--мэмс
Аннотация: Существующие чувствительные элементы для измеpения давления ниже атмосфеpного обладают узким диапазоном измеpения, высокой погpешностью и огpаниченным сpоком службы, что связано как с констpуктивными, так и с методическими особенностями датчиков. предложена методика, основанная на исследовании пеpиодического теплового pежима в pаботе теpмоpезистоpного сенсора, позволяющая повысить чувствительность и снизить погpешность, а также уменьшить инеpционность чувствительных элементов за счет измеpения вpеменных, а не амплитудных паpаметpов сигнала
Найти похожие
|
28.
|
Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Б 86
Автор(ы) : Бокарев В. П., Горнев Е. С.
Заглавие : Применение контактной литографии в процессах переноса субмикрометрового изображения при изготовлении мэмс и пав-устройств
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 7 . - С. 23-27: табл., рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 27 (9 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): литография контактная--мэмс--пав-устройства
Аннотация: Рассмотрены вопросы применимости контактной, проекционной и импринт литографии при изготовлении МЭМС и ПАВ-устройств с субмикрометровыми проектными нормами
Найти похожие
|
29.
|
Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Д 72
Автор(ы) : Драгунов В. П., Остертак Д. И.
Заглавие : Электростатические взаимодействия в мэмс с плоскопараллельными электродами. часть i. расчет емкостей
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 7 . - С. 37-41: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 41 (12 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): мэмс--емкость электрическая--конденсатор плоский
Аннотация: Сравниваются различные подходы к расчету зависимостей емкости плоского конденсатора, содержащего два одинаковых прямоугольных или круглых параллельных электрода, от межэлектродного зазора и взаимного смещения электродов. Рассчитываются погрешности в оценках емкости при использовании различных подходов. Приводится аналитическое выражение для расчета емкостей при изменении площади перекрытия электродов
Найти похожие
|
30.
|
Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Т 38
Автор(ы) : Белоус А. И., Гасенкова И. В., Дрозд С. Е., Коннов Е. В., Мухуров Н. И., Белоус В. А.
Заглавие : Технологический вариант реализации конструкции бис преобразователя емкость-напряжение для микроэлектромеханических датчиков
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 8. - С. 2-6: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 6 (6 наим.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): датчики микроэлектромеханические--конструкция и технология построения--преобразователь емкость-напряжение
Аннотация: Рассмотрен один из вариантов конструктивно-технологического построения и создания БИС преобразователя емкость-напряжение для электронной схемы миниатюрных микроэлектромеханических датчиков с емкостным выходом. Предлагаемая БИС может быть использована для построения широкой номенклатуры МЭМС с емкостным выходом от чувствительного элемента на основе анодного оксида алюминия
Найти похожие
|
|
|
|
Главная
Новые поступления
Шлюз Z39.50
Каталог книг и продолжающихся изданий
Описание базы данных