Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска
Каталог книг и продолжающихся изданий
Сводный каталог иностранных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН
Сводный каталог отечественных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН
Каталог диссертаций и авторефератов диссертаций УрО РАН
Каталог препринтов УрО РАН (1975 г. - )
Имидж-каталог отечественных книг (до 2010 г.)
Имидж-каталог иностранных книг (до 2010 г.)
Алфавитно-предметный указатель (АПУ) ЦНБ УрО РАН
Публикации об УрО РАН
Изобретения уральских ученых
Интеллектуальная собственность (статьи из периодики)
Нанотехнологии
Демидовские премии
Гибель династии Романовых
История Урала
Личная библиотека С. В. Вонсовского
Книжная коллекция Шубиных
Труды Института высокотемпературной электрохимии УрО РАН
Труды Института истории и археологии УрО РАН
Труды сотрудников Института горного дела УрО РАН
Труды сотрудников Института органического синтеза УрО РАН
Труды сотрудников Института теплофизики УрО РАН
Труды сотрудников Института химии твердого тела УрО РАН
Расплавы
Труды сотрудников ЦНБ УрО РАН
Публикации Черешнева В.А.
Публикации Чарушина В.Н.
Каталог библиотеки ИГД УрО РАН
Каталог библиотеки ИЭРиЖ УрО РАН
Электронная энциклопедия «Дискурсология»
Библиометрия
Область поиска
в найденном
 Найдено в других БД:Каталог книг и продолжающихся изданий (240)Каталог диссертаций и авторефератов диссертаций УрО РАН (2)Алфавитно-предметный указатель (АПУ) ЦНБ УрО РАН (21)Публикации об УрО РАН (2)Интеллектуальная собственность (статьи из периодики) (1)Труды Института высокотемпературной электрохимии УрО РАН (5)Труды сотрудников Института химии твердого тела УрО РАН (20)Расплавы (2)Публикации Черешнева В.А. (2)Каталог библиотеки ИЭРиЖ УрО РАН (3)
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=ПЛАЗМА<.>)
Общее количество найденных документов : 22
Показаны документы с 1 по 10
 1-10    11-20   21-22 
1.
Инвентарный номер: нет.
   
   Т 56

    Томош, К. Н.
    Характеристики и использование вч и свч разрядов при создании твердотельных полупроводниковых приборов / К. Н. Томош // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 5. - С. 47-52 : рис. - Библиогр.: с. 52 (8 назв.) . - ISSN 1813-8586
УДК
621.382.002
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ПЛАЗМА -- СВЧ РАЗРЯД -- ВЧ РАЗРЯД -- РЕАКТОР -- МАГНИТНОЕ ПОЛЕ -- ТРАВЛЕНИЕ
Аннотация: Представлена информация обзорного характера о применении плазмы ВЧ и СВЧ разряда в технологических процессах производства изделий электронной техники. Указаны области технического применения СВЧ разрядов и основные характеристики структур, формируемых под их воздействием

Найти похожие
2.
Инвентарный номер: нет.
   
   Г 16

    Галперин, В. А.
    Исследование процесса контролируемого плазменного сокращения размеров затвора / В. А. Галперин, Н. А. Разживин // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 6. - С. 12-15 : табл., граф. - Библиогр.: с. 15 (8 назв.) . - ISSN 1813-8586
УДК
621.9.047.7
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
РЕАКТИВНО-ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ПЛАЗМА -- ПРОФИЛЬ ТРАВЛЕНИЯ -- ТРИММИНГ РЕЗИСТА
Аннотация: Приведены результаты исследования процесса тримминга маски, протекающих механизмов реакций и совместимости с процессом травления поликремния. Получены зависимости и оптимальные значения основных технологических параметров стадий, определяющих качество процесса. Проведена оценка влияния параметров и реагентов стадии тримминга на получаемый линейный размер формируемых элементов поликремния, равномерность и минимизацию эффекта микрозагрузки. Сформирован комплекс мер по оптимизации и стабилизации процесса и получению профиля травления с требуемым размером формируемых элементов в условиях опытного производства

Найти похожие
3.
Инвентарный номер: нет.
   
   Т 48

    Ткачева, А. А.
    Плазменное травление GaN и его твердых растворов: достижения и перспективы / А. А. Ткачева // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 6. - С. 21-25 : табл. - Библиогр.: с. 25 (12 назв.) . -
УДК
620.3
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ТРАВЛЕНИЕ СУХОЕ -- НИТРИД ГАЛЛИЯ -- GAN -- ПЛАЗМА ИНДУКТИВНО-СВЯЗАННАЯ
Аннотация: Представлен обзор материалов по плазменному травлению GaN и твердых растворов на его основе, включающий описание различных источников, режимов и газов, применяемых плазменном травлении материалов нитридной группы, вопросы качества травления, а также применение плазменного травления в технологии производства современных НЕМТ-транзисторов

Найти похожие
4.
Инвентарный номер: нет.
   
   Р 18

    Райныш, В. А,
    Пылевая плазма в решении проблем нанотехнологий порошковой металлургии / В. А, Райныш, А. В. Шурупов, М. А. Шурупов // Нанотехника. - 2012. - № 1. - С. 65-78 : рис., табл. - Библиогр.: с. 78 (29 назв.) . - ISSN 1816-4498
УДК
620.3
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
НАНОПОРОШКИ И УЛЬТРАДИСПЕРСНЫЕ -- ГРАНИЦЫ МЕЖЧАСТИЧНЫЕ -- ПЛАЗМА НЕРАВНОВЕСТНАЯ -- ПОВЕРХНОСТИ ЧАСТИЦ -- ДЕФЕКТЫ ОБЪЕМНЫЕ
Аннотация: В статье рассмотрены проблемы, возникающие при работе с ультрадисперсными и нанопорошками (УДП И НП) в порошковой металлургии. Показано, что без учета фактора адсорбционного загрязнения поверхностей частиц и качества смеси не может быть конкурентноспособных технологий и скачка качества изделий. Показано, что применение результатов исследований фундаментальной физики «пылевой плазмы» позволяет осуществить подход к ресурсосберегающим и конкурентоспособным технологиям. Показано, что будущее за вакуумными технологическими линиями, где первые операции должны производиться в плазменных реакторах с использованием неравновесной плазмы

Найти похожие
5.
Инвентарный номер: нет.
   
   П 16

    Панкова, Е. А.
    Исследование механизмов нанесения и фиксации наночастиц серебра в структуре коллагени кератинсодержащих ВММ / Е. А. Панкова, В. А. Усенко, Л. А. Зенитова // Нанотехника. - 2012. - № 1. - С. 85-88 : рис. - Библиогр.: с. . - ISSN 1816-4498
УДК
620.3
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
НАНОЧАСТИЦЫ СЕРЕБРА -- ПЛАЗМА -- МОДИФИКАЦИЯ -- СТРУКТУРА
Аннотация: Установлено, что в результате обработки коллаген- и кератинсодержащих ВММ коллоидным раствором в условиях ВЧИ плазмы активированные частицы металла проникают в структуру материала и прочно в ней фиксируются за счет реакций комплексообразования с белком

Найти похожие
6.
Инвентарный номер: нет.
   
   П 37

   
    Плазменное наноразмерное травление GaAs в хлоре и хлороводороде / С. А. Пивоваренок [и др.] // Нанотехника. - 2011. - № 1. - С. 69-71 : рис. - Библиогр. : с. 71 (6 назв.) . - ISSN 1816-4498
УДК
620.3
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ТРАВЛЕНИЕ НАНОРАЗМЕРНОЕ GAAS -- ПЛАЗМА -- ХЛОР -- ХЛОРОВОДОРОД
Аннотация: Неравновесная низкотемпературная плазма хлора и хлороводорода применяется в технологии микро- и наноэлектроники для очистки и «сухого» травления поверхности полупроводниковых пластин и функциональных слоев ИМС. Одним из важных процессов здесь является формирование топологического рельефа на поверхности GaAs, который является одним из самых перспективных материалов электроники будущего. Причины этого заключаются в сочетании большой ширины запрещенной зоны и высокой подвижности носителей заряда, что позволяет создавать на основе GaAs широкий спектр высокочастотных быстродействующих приборов. Кроме этого, GaAs является основным материалом квантовой наноэлектроники на основе гетеропереходов в системе AlGaAs [1]

Найти похожие
7.
Инвентарный номер: 211303 - кх.
   539.2
   В 75

    Воронов, Владимир Кириллович.
    Физика на переломе тысячелетий. Физические основы нанотехнологий [] : учебник для вузов / В. К. Воронов, А. В. Подоплелов, Р. З. Сагдеев. - М. : [ЛИБРОКОМ], [2011]. - 429 с. - Библиогр. в конце разд. - ISBN 978-5-397-01660-5 : 498.40 р.
ГРНТИ
47.03
ББК 539.2я73 + 537.5я73
Рубрики: ФИЗИКА--ФИЗИКА ТВЕРОГО ТЕЛА--КРИСТАЛЛОГРАФЯ--ЭЛЕКТРИЧЕСТВО--УЧЕБНИКИ ДЛЯ ВУЗОВ

Найти похожие
8.
Инвентарный номер: 212414 - бр.ф.; 212415 - кх.
   537
   Э 45

   
    Электрофизика на Урале. Четверть века исследований [] : научное издание / РАН, УрО, Ин-т электрофизики ; [отв. ред. В. Г. Шпак ; вступ. ст. Г. А. Месяца]. - Екатеринбург : [б. и.], 2011. - 453 с. - Библиогр. в конце ст. - ISBN 978-5-7691-2229-3 : 50.00 р.
Вступ. ст. Г. А. Месяца "Ин-ту электрофизики - 25 лет"
ГРНТИ
12.01.21
ББК 537(235.55)л2
Рубрики: ФИЗИКА--ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
   УРАЛ

Найти похожие
9.
Инвентарный номер: нет.
   
   С 32

    Сергеева, Е. А.
    Физико-математическое моделирование плазменной модификации поверхностного нанослоя синтетических тканей / Е. А. Сергеева, В. С. Желтухин, С. В. Илюшина // Нанотехника. - 2011. - № 2. - С. 75-77 : рис. - Библиогр. : с. 78 (6 назв.) . - ISSN 1816-4498
УДК
620.3
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МОДЕЛИРОВАНИЕ -- НАНОСЛОЙ -- ПЛАЗМА -- ТКАНЬ -- ВОЛОКНО
Аннотация: Разработана физико-математическая модель комплексных изменений структуры и глубины модификации поверхностного нанослоя синтетических волокон и тканей в результате бомбардировки низкоэнергетическими ионами плазмы высокочастотного (ВЧ) разряда пониженного давления, позволяющей получать волокна и ткани с заданными поверхностными свойствами

Найти похожие
10.
Инвентарный номер: 209511 - кх.
   В38
   А 91

    Астапенко, Валерий Александрович.
    Взаимодействие излучения с атомами и наночастицами [] : учебник / В. А. Астапенко. - Долгопрудный : ИД "Интеллект", 2010. - 492 с. - (Физтеховский учебник). - Библиогр. в конце глав. - ISBN 978-5-91559-083-9 : 1294.70 р.
ГРНТИ
47.31
ББК В38я73
Рубрики: ФИЗИКА--ФИЗИКА АТОМНОГО ЯДРА--ФИЗИКА ЭЛЕМЕНТАРНЫХ ЧАСТИЦ--УЧЕБНИКИ ДЛЯ ВУЗОВ

Найти похожие
 1-10    11-20   21-22 
 
Описание базы данных
Стандартный
По словарю
Расширенный
ГРНТИ-навигатор
Статистика обращений

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика