Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска
Каталог книг и продолжающихся изданий
Сводный каталог иностранных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН
Сводный каталог отечественных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН
Каталог диссертаций и авторефератов диссертаций УрО РАН
Каталог препринтов УрО РАН (1975 г. - )
Имидж-каталог отечественных книг (до 2010 г.)
Имидж-каталог иностранных книг (до 2010 г.)
Алфавитно-предметный указатель (АПУ) ЦНБ УрО РАН
Публикации об УрО РАН
Изобретения уральских ученых
Интеллектуальная собственность (статьи из периодики)
Нанотехнологии
Демидовские премии
Гибель династии Романовых
История Урала
Личная библиотека С. В. Вонсовского
Книжная коллекция Шубиных
Труды Института высокотемпературной электрохимии УрО РАН
Труды Института истории и археологии УрО РАН
Труды сотрудников Института горного дела УрО РАН
Труды сотрудников Института органического синтеза УрО РАН
Труды сотрудников Института теплофизики УрО РАН
Труды сотрудников Института химии твердого тела УрО РАН
Расплавы
Труды сотрудников ЦНБ УрО РАН
Публикации Черешнева В.А.
Публикации Чарушина В.Н.
Каталог библиотеки ИГД УрО РАН
Каталог библиотеки ИЭРиЖ УрО РАН
Электронная энциклопедия «Дискурсология»
Библиометрия
Область поиска
в найденном
 Найдено в других БД:Каталог книг и продолжающихся изданий (240)Каталог диссертаций и авторефератов диссертаций УрО РАН (2)Алфавитно-предметный указатель (АПУ) ЦНБ УрО РАН (21)Публикации об УрО РАН (2)Интеллектуальная собственность (статьи из периодики) (1)Труды Института высокотемпературной электрохимии УрО РАН (5)Труды сотрудников Института химии твердого тела УрО РАН (20)Расплавы (2)Публикации Черешнева В.А. (2)Каталог библиотеки ИЭРиЖ УрО РАН (3)
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=ПЛАЗМА<.>)
Общее количество найденных документов : 22
Показаны документы с 1 по 10
 1-10    11-20   21-22 
1.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 537/Я 89
Автор(ы) : Яфаров, Равиль Кашишафович
Заглавие : Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий
Выходные данные : М.: Физматлит, 2009
Колич.характеристики :216 с
Примечания : Библиогр.: с. 205-216
ISBN, Цена 978-5-9221-1150-8: 212.40 р.
ГРНТИ : 37.21.23
ББК : 537.527.2
Предметные рубрики: ФИЗИКА-- ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
Экземпляры :кх(1)
Свободны : кх(1)
Найти похожие
2.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 537/Э 45
Заглавие : Электрофизика на Урале. Четверть века исследований
Выходные данные : Екатеринбург, 2011
Колич.характеристики :453 с
Коллективы : Ин-т электрофизики УрО РАН
Примечания : Библиогр. в конце ст. - Вступ. ст. Г. А. Месяца "Ин-ту электрофизики - 25 лет"
ISBN, Цена 978-5-7691-2229-3: 50.00 р.
ГРНТИ : 12.01.21
ББК : 537(235.55)л2
Предметные рубрики: ФИЗИКА-- ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
Географич. рубрики: УРАЛ
Экземпляры : всего : бр.ф.(1), кх(1)
Свободны : бр.ф.(1), кх(1)
Найти похожие
3.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 537/Ф 50
Заглавие : Физика экстремальных состояний вещества-2002 : Сб.: Часть ст. XVII Междунар. конф. "Уравнения состояния вещества", (Эльбрус, 1-6 марта 2002)
Выходные данные : Эльбрус, 2002
Колич.характеристики :191 с.
Примечания : Библиогр. в конце ст.
ISBN, Цена 5-901675-06-1: 30.00 р.
ББК : 537.5я431(0) + 541.123я431(0)
Предметные рубрики: ФИЗИКА-- ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ-- ХИМИЧЕСКАЯ КИНЕТИКА
Экземпляры : всего : кх(2), бр.ф.(1)
Свободны : кх(2), бр.ф.(1)
Найти похожие
4.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.382.002/Т 56
Автор(ы) : Томош К. Н.
Заглавие : Характеристики и использование вч и свч разрядов при создании твердотельных полупроводниковых приборов
Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 5. - С. 47-52: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 52 (8 назв.)
УДК : 621.382.002
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): плазма--свч разряд--вч разряд--реактор--магнитное поле--травление
Аннотация: Представлена информация обзорного характера о применении плазмы ВЧ и СВЧ разряда в технологических процессах производства изделий электронной техники. Указаны области технического применения СВЧ разрядов и основные характеристики структур, формируемых под их воздействием
Найти похожие
5.

Вид документа :
Шифр издания : 620.3/Т 48
Автор(ы) : Ткачева А. А.
Заглавие : Плазменное травление GaN и его твердых растворов: достижения и перспективы
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 6. - С. 21-25: табл.
Примечания : Библиогр.: с. 25 (12 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): травление сухое--нитрид галлия--gan--плазма индуктивно-связанная
Аннотация: Представлен обзор материалов по плазменному травлению GaN и твердых растворов на его основе, включающий описание различных источников, режимов и газов, применяемых плазменном травлении материалов нитридной группы, вопросы качества травления, а также применение плазменного травления в технологии производства современных НЕМТ-транзисторов
Найти похожие
6.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Т 38
Автор(ы) : Ефремов А. М., Светцов В. И., Пивоваренок С. А., Дунаев А. В.
Заглавие : Технология плазменного наноразмерного травления металлов и полупроводников в бинарных хлорсодержащих газовых смесях
Место публикации : Нанотехника. - 2010. - № 2 . - С. 77-81: рис. - ISSN 1816-4498. - ISSN 1816-4498
Примечания : Библиогр. : с. 81 (3 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): травления металлов и полупроводников--смеси газовые хлорсодержащие--производство имс
Аннотация: Неравновесная низкотемпературная газоразрядная плазма (ННГП) в среде хлорсодержащих газов применяется при проведении процессов «сухого» травления и очистки поверхности полупроводниковых пластин и функциональных слоев ИМС в тех случаях, когда использование жидкостных методов ограничивается высокими требованиями к чистоте, разрешению и воспроизводимости процесса [1, 2]. В качестве плазмообразующих сред традиционно использовались СС14, BCl3 и SiCl4, существенным недостатком которых является полимеризация и/или высаживание ненасыщенных продуктов плазмохимических реакций на внутренней поверхности реактора и обрабатываемого материала. Молекулярный хлор свободен от этих недостатков, однако его применение также осложнено рядом причин. Во-первых, это высокая коррозионная активность по отношению к конструкционным материалам технологического оборудования, неудобства хранения и транспортировки [1, 3]. Во-вторых, при характерных режимах работы промышленных плазмохимических реакторов ННГП в хлоре характеризуется высокими степенями диссоциации молекул CI2, что не позволяет достигать высокой анизотропии процесса. В то же время, последний параметр является актуальным при переходе к субмикронным технологиям в производстве ИМС
Найти похожие
7.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/С 32
Автор(ы) : Сергеева Е. А., Желтухин В. С., Илюшина С. В.
Заглавие : Физико-математическое моделирование плазменной модификации поверхностного нанослоя синтетических тканей
Место публикации : Нанотехника. - 2011. - № 2. - С. 75-77: рис. - ISSN 1816-4498. - ISSN 1816-4498
Примечания : Библиогр. : с. 78 (6 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Аннотация: Разработана физико-математическая модель комплексных изменений структуры и глубины модификации поверхностного нанослоя синтетических волокон и тканей в результате бомбардировки низкоэнергетическими ионами плазмы высокочастотного (ВЧ) разряда пониженного давления, позволяющей получать волокна и ткани с заданными поверхностными свойствами
Найти похожие
8.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/С 24
Автор(ы) : Свавильный Н. Е., Панарин В. Е., Хоминич А. И.
Заглавие : О вероятном сценарии возникновения и роста одностенных углеродных нанотрубок в плазме дугового разряда
Место публикации : Нанотехника. - 2010. - № 1. - С. 45-54: рис. - ISSN 1816-4498. - ISSN 1816-4498
Примечания : Библиогр. : с. 54 (58 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нанотрубки углеродные одностенные--плазма дугового разряда--комплексы гетерогенные ме-с
Аннотация: В работе предлагается механизм зарождения и роста одностенных углеродных нанотрубок (ОУНТ) в плазме дугового разряда. Ключевая роль принадлежит углеродным наночастицам, либо эмиттированным с электродов, либо родившимся в результате конденсации углеродного пара. На эти наночастицы осаждаются заряженные и нейтральные компоненты плазмы разряда. При этом образуются гетерогенные комплексы Ме-С (металл-углерод), которые при охлаждении эволюционируют с учетом фазовой диаграммы состояний Ме-С. При охлаждении «лишний» углерод из сплавов Ме-С выделяется в виде упорядоченных наноструктур. Центрами роста структур являются переохлажденные области на поверхности комплекса Ме-С
Найти похожие
9.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/С 14
Автор(ы) : Сайгаш А. С., Сивков А. А.
Заглавие : Получение нанодисперсного нитрида титана в высокоскоростной импульсной струе электроэрозионной плазмы
Место публикации : Нанотехника. - 2008. - № 2. - С. 62-66: рис., табл. - ISSN 1816-4498. - ISSN 1816-4498
Примечания : Библиогр.: с. 66 (4 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): порошок tin--электроразрядная плазма
Найти похожие
10.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Р 18
Автор(ы) : Райныш В. А,, Шурупов А. В., Шурупов М. А.
Заглавие : Пылевая плазма в решении проблем нанотехнологий порошковой металлургии
Место публикации : Нанотехника. - 2012. - № 1. - С. 65-78: рис., табл. - ISSN 1816-4498. - ISSN 1816-4498
Примечания : Библиогр.: с. 78 (29 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нанопорошки и ультрадисперсные--границы межчастичные--плазма неравновестная--поверхности частиц--дефекты объемные
Аннотация: В статье рассмотрены проблемы, возникающие при работе с ультрадисперсными и нанопорошками (УДП И НП) в порошковой металлургии. Показано, что без учета фактора адсорбционного загрязнения поверхностей частиц и качества смеси не может быть конкурентноспособных технологий и скачка качества изделий. Показано, что применение результатов исследований фундаментальной физики «пылевой плазмы» позволяет осуществить подход к ресурсосберегающим и конкурентоспособным технологиям. Показано, что будущее за вакуумными технологическими линиями, где первые операции должны производиться в плазменных реакторах с использованием неравновесной плазмы
Найти похожие
 1-10    11-20   21-22 
 
Описание базы данных
Стандартный
По словарю
Расширенный
ГРНТИ-навигатор
Статистика обращений

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика