Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
в найденном
 Найдено в других БД:Каталог книг и продолжающихся изданий (240)Каталог диссертаций и авторефератов диссертаций УрО РАН (2)Алфавитно-предметный указатель (АПУ) ЦНБ УрО РАН (21)Публикации об УрО РАН (2)Интеллектуальная собственность (статьи из периодики) (1)Труды Института высокотемпературной электрохимии УрО РАН (5)Труды сотрудников Института химии твердого тела УрО РАН (20)Расплавы (2)Публикации Черешнева В.А. (2)Каталог библиотеки ИЭРиЖ УрО РАН (3)
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=ПЛАЗМА<.>)
Общее количество найденных документов : 22
Показаны документы с 1 по 10
 1-10    11-20   21-22 
1.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 537/O-88
Автор(ы) : Ostrikov, Kostya (Ken)
Заглавие : Plasma Nanoscience: Basic Concepts and Applications of Deterministic Nanofabrication
Выходные данные : Weinheim: John Wiley & Sons, 2008
Колич.характеристики :XXV, 538 с.: ил.
Примечания : Библиогр.: с. 499-527. - Указ.: с. 529-538. - Прил.: с. 483-498
ISBN, Цена 978-3-527-40740-8: 4618.00 р.
ГРНТИ : 29.27 + 81.09
ББК : 537.5 + 623.7
Предметные рубрики: ФИЗИКА-- ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ-- СЫРЬЕ-- МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ
Экземпляры :ч/з(1)
Свободны : ч/з(1)
Найти похожие

2.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : В38/А 91
Автор(ы) : Астапенко, Валерий Александрович
Заглавие : Взаимодействие излучения с атомами и наночастицами : учебник
Выходные данные : Долгопрудный: ИД "Интеллект", 2010
Колич.характеристики :492 с
Серия: Физтеховский учебник
Примечания : Библиогр. в конце глав.
ISBN, Цена 978-5-91559-083-9: 1294.70 р.
ГРНТИ : 47.31
ББК : В38я73
Предметные рубрики: ФИЗИКА-- ФИЗИКА АТОМНОГО ЯДРА-- ФИЗИКА ЭЛЕМЕНТАРНЫХ ЧАСТИЦ
Экземпляры :кх(1)
Свободны : кх(1)
Найти похожие

3.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 623.7/А 65
Автор(ы) : Андреева А. В., Зынь В. И.
Заглавие : Возможность управлени спектром масс полимерных микро- наночастиц в плазмохимической системе с искусственной гравитацией
Место публикации : Нанотехника. - 2009. - № 1. - С. 48-57: ил.
Примечания : Библиогр. : с. 56-57 (25 назв.)
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): массоперенос--коллоидная плазма--кластеры
Найти похожие

4.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/П 16
Автор(ы) : Панкова Е. А., Усенко В. А., Зенитова Л. А.
Заглавие : Исследование механизмов нанесения и фиксации наночастиц серебра в структуре коллагени кератинсодержащих ВММ
Место публикации : Нанотехника. - 2012. - № 1. - С. 85-88: рис. - ISSN 1816-4498. - ISSN 1816-4498
Примечания : Библиогр.: с.
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): наночастицы серебра--плазма--модификация--структура
Аннотация: Установлено, что в результате обработки коллаген- и кератинсодержащих ВММ коллоидным раствором в условиях ВЧИ плазмы активированные частицы металла проникают в структуру материала и прочно в ней фиксируются за счет реакций комплексообразования с белком
Найти похожие

5.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.9.047.7/Г 16
Автор(ы) : Галперин В. А., Разживин Н. А.
Заглавие : Исследование процесса контролируемого плазменного сокращения размеров затвора
Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 6. - С. 12-15: табл., граф. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 15 (8 назв.)
УДК : 621.9.047.7
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): реактивно-ионное травление--плазма--профиль травления--тримминг резиста
Аннотация: Приведены результаты исследования процесса тримминга маски, протекающих механизмов реакций и совместимости с процессом травления поликремния. Получены зависимости и оптимальные значения основных технологических параметров стадий, определяющих качество процесса. Проведена оценка влияния параметров и реагентов стадии тримминга на получаемый линейный размер формируемых элементов поликремния, равномерность и минимизацию эффекта микрозагрузки. Сформирован комплекс мер по оптимизации и стабилизации процесса и получению профиля травления с требуемым размером формируемых элементов в условиях опытного производства
Найти похожие

6.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 623/Б 69
Автор(ы) : Блинков, Игорь Викторович, Манухин, Анатолий Васиьевич
Заглавие : Нанодисперсные и гранулированные материалы , полученные в импульсной плазме : научное издание
Выходные данные : М.: МИСиС, 2005
Колич.характеристики :367 с.: ил.
Серия: Металлургия и материаловедение XXI века
Примечания : Библиогр.: с. 343-367. - К 75-летию Моск. гос. ин-та стали и сплавов (Технол. ун-та)
ISBN, Цена 5-87623-156-8: 308.00 р.
ГРНТИ : 29.27 + 53
ББК : 623.069 + 669.314.17
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ-- СЫРЬЕ-- МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ
ТЕХНОЛОГИЯ МЕТАЛЛОВ. МАШИНОСТРОЕНИЕ. ПРИБОРОСТРОЕНИЕ-- МЕТАЛЛУРГИЯ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): плазма импульсная--материалы гранулированные--материалы нанокомпозиционные--разряды электрические (реакции)--порошки металлические (производство)--плазма низкотемпературная (разряды газовые)--моделирование математическое (промышленная технология)--материаловедение (нанотехнологии)
Экземпляры : всего : кх(1), ИМЕТ(1)
Свободны : кх(1), ИМЕТ(1)
Найти похожие

7.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 623/Н 25
Автор(ы) : Лотков А. И., Псахье С. Г., Князева А. Г., Коваль Н. Н., Коротаев А. Д.
Заглавие : Наноинженерия поверхности. Формирование неравновесных состояний в поверхностных слоях материалов методами электронно-ионно-плазменных технологий
Выходные данные : Новосибирск: Изд-во СО РАН, 2008
Колич.характеристики :275, [1] с.: граф., ил., табл.
Коллективы : Ин-т физики прочности и материаловедения СО РАН
Примечания : Библиогр. в конце глав
ISBN, Цена 978-5-7692-0982-6: 350.00 р.
ГРНТИ : 81.09
ББК : 623.0630-1с
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ-- СЫРЬЕ-- МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ
Экземпляры :кх(1)
Свободны : кх(1)
Найти похожие

8.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/С 24
Автор(ы) : Свавильный Н. Е., Панарин В. Е., Хоминич А. И.
Заглавие : О вероятном сценарии возникновения и роста одностенных углеродных нанотрубок в плазме дугового разряда
Место публикации : Нанотехника. - 2010. - № 1. - С. 45-54: рис. - ISSN 1816-4498. - ISSN 1816-4498
Примечания : Библиогр. : с. 54 (58 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нанотрубки углеродные одностенные--плазма дугового разряда--комплексы гетерогенные ме-с
Аннотация: В работе предлагается механизм зарождения и роста одностенных углеродных нанотрубок (ОУНТ) в плазме дугового разряда. Ключевая роль принадлежит углеродным наночастицам, либо эмиттированным с электродов, либо родившимся в результате конденсации углеродного пара. На эти наночастицы осаждаются заряженные и нейтральные компоненты плазмы разряда. При этом образуются гетерогенные комплексы Ме-С (металл-углерод), которые при охлаждении эволюционируют с учетом фазовой диаграммы состояний Ме-С. При охлаждении «лишний» углерод из сплавов Ме-С выделяется в виде упорядоченных наноструктур. Центрами роста структур являются переохлажденные области на поверхности комплекса Ме-С
Найти похожие

9.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/П 37
Автор(ы) : Пивоваренок С. А., Дунаев А. В., Ефремов А. М., Светцов В. И.
Заглавие : Плазменное наноразмерное травление GaAs в хлоре и хлороводороде
Место публикации : Нанотехника. - 2011. - № 1. - С. 69-71: рис. - ISSN 1816-4498. - ISSN 1816-4498
Примечания : Библиогр. : с. 71 (6 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Аннотация: Неравновесная низкотемпературная плазма хлора и хлороводорода применяется в технологии микро- и наноэлектроники для очистки и «сухого» травления поверхности полупроводниковых пластин и функциональных слоев ИМС. Одним из важных процессов здесь является формирование топологического рельефа на поверхности GaAs, который является одним из самых перспективных материалов электроники будущего. Причины этого заключаются в сочетании большой ширины запрещенной зоны и высокой подвижности носителей заряда, что позволяет создавать на основе GaAs широкий спектр высокочастотных быстродействующих приборов. Кроме этого, GaAs является основным материалом квантовой наноэлектроники на основе гетеропереходов в системе AlGaAs [1]
Найти похожие

10.

Вид документа :
Шифр издания : 620.3/Т 48
Автор(ы) : Ткачева А. А.
Заглавие : Плазменное травление GaN и его твердых растворов: достижения и перспективы
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 6. - С. 21-25: табл.
Примечания : Библиогр.: с. 25 (12 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): травление сухое--нитрид галлия--gan--плазма индуктивно-связанная
Аннотация: Представлен обзор материалов по плазменному травлению GaN и твердых растворов на его основе, включающий описание различных источников, режимов и газов, применяемых плазменном травлении материалов нитридной группы, вопросы качества травления, а также применение плазменного травления в технологии производства современных НЕМТ-транзисторов
Найти похожие

 1-10    11-20   21-22 
 

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика