Поисковый запрос: (<.>K=ПЛАЗМА<.>) |
Общее количество найденных документов : 22
Показаны документы с 1 по 22 |
1. 
| Инвентарный номер: 191863 - кх; 191864 - кх; 191865 - бр.ф.
537
Ф 50
Физика экстремальных состояний вещества-2002 [] : сб.: Часть ст. XVII Междунар. конф. "Уравнения состояния вещества", (Эльбрус, 1-6 марта 2002) / РАН. Ин-т теплофизики экстрем. состояний, Ин-т проблем хим. физики и др., КБНЦ. НИИ прикладной математики и автоматизации; Ред. В. Е. Фортов и др. - Эльбрус : [б. и.], 2002. - 191 с. - Библиогр. в конце ст. - ISBN 5-901675-06-1 : 30.00 р.ББК 537.5я431(0) + 541.123я431(0)
РУБ 537
Рубрики: ФИЗИКА--ЭЛЕКТРИЧЕСТВО--КОНФЕРЕНЦИИ
ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ--ХИМИЧЕСКАЯ КИНЕТИКА
Кл.слова (ненормированные):
ВЕЩЕСТВА (ЭКСТРЕМАЛЬНЫЕ СОСТОЯНИЯ) -- ВОЛНЫ УДАРНЫЕ (ТЕОРИИ) -- ГОРЕНИЕ (ТЕОРИИ) -- ДЕТОНАЦИИ (ХИМИЯ) -- ИЗЛУЧЕНИЯ ИОНИЗИРУЮЩИЕ (ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ С ВЕЩЕСТВАМИ) -- НАНОСТРУКТУРЫ (ТЕРМОДИНАМИКА) -- ПЛАЗМА НИЗКОТЕМПЕРАТУРНАЯ (ФИЗИКА) -- СВЕРХПРОВОДИМОСТЬ (РАЗРУШЕНИЕ) -- ФИЗИКА ПЛАЗМЫ (НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ)
Найти похожие
|
2.
| Инвентарный номер: 201953 - кх; 201954 - ИМЕТ.
623
Б 69
Блинков, Игорь Викторович.
Нанодисперсные и гранулированные материалы , полученные в импульсной плазме [] : научное издание / И. В. Блинков, А. В. Манухин. - М. : МИСиС, 2005. - 367 с. : ил. - (Металлургия и материаловедение XXI века). - Библиогр.: с. 343-367. - ISBN 5-87623-156-8 : 308.00 р.
К 75-летию Моск. гос. ин-та стали и сплавов (Технол. ун-та)ББК 623.069 + 669.314.17
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ--СЫРЬЕ--МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ
ТЕХНОЛОГИЯ МЕТАЛЛОВ. МАШИНОСТРОЕНИЕ. ПРИБОРОСТРОЕНИЕ--МЕТАЛЛУРГИЯ
Кл.слова (ненормированные):
ПЛАЗМА ИМПУЛЬСНАЯ -- МАТЕРИАЛЫ ГРАНУЛИРОВАННЫЕ -- МАТЕРИАЛЫ НАНОКОМПОЗИЦИОННЫЕ -- РАЗРЯДЫ ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ (РЕАКЦИИ) -- ПОРОШКИ МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ (ПРОИЗВОДСТВО) -- ПЛАЗМА НИЗКОТЕМПЕРАТУРНАЯ (РАЗРЯДЫ ГАЗОВЫЕ) -- МОДЕЛИРОВАНИЕ МАТЕМАТИЧЕСКОЕ (ПРОМЫШЛЕННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ) -- МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ (НАНОТЕХНОЛОГИИ)
Найти похожие
|
3.
| Инвентарный номер: нет.
П 78
Проблемы применения ультрадисперсных частиц в порошковой металлургии и пылевая плазма [Текст] / В. А,Райныш [и др.] // Нанотехника. - 2008. - № 2. - С. 13-18. - Библиогр.: с. 18 (19 назв.)
. - ISSN 1816-4498ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ПЛАЗМЕННЫЕ РЕАКТОРЫ -- ПОВЕРХНОСТНЫЕ ЗАГРЯЗНЕНИЯ
Найти похожие
|
4.
| Инвентарный номер: нет.
С 14
Сайгаш, А. С.
Получение нанодисперсного нитрида титана в высокоскоростной импульсной струе электроэрозионной плазмы [Текст] / А. С. Сайгаш, А. А. Сивков // Нанотехника. - 2008. - № 2. - С. 62-66 : рис., табл. - Библиогр.: с. 66 (4 назв.)
. - ISSN 1816-4498ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ПОРОШОК TiN -- ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНАЯ ПЛАЗМА
Найти похожие
|
5.
| Инвентарный номер: нет.
Г 70
Городничий, В. Г.
ССФ -технология : новые возможности в управлении процессами различной природы и сложности [Текст] / В. Г. Городничий, Д. В. Белов // Нанотехника. - 2008. - № 2. - С. 80-82. - Библиогр.: с. 82 (6 назв.)
. - ISSN 1816-4498ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
СВМ-СОСТОЯНИЕ -- ХОЛОДНАЯ ВОДОРОДНАЯ ПЛАЗМА
Найти похожие
|
6.
| Инвентарный номер: нет.
А 65
Андреева, А. В.
Возможность управлени спектром масс полимерных микро- наночастиц в плазмохимической системе с искусственной гравитацией / А. В. Андреева, В. И. Зынь // Нанотехника. - 2009. - № 1. - С. 48-57 : ил. - Библиогр. : с. 56-57 (25 назв.)
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МАССОПЕРЕНОС -- КОЛЛОИДНАЯ ПЛАЗМА -- КЛАСТЕРЫ
Найти похожие
|
7.
| Инвентарный номер: U-13041 - ч/з.
537
O-88
Ostrikov, Kostya (Ken).
Plasma Nanoscience: Basic Concepts and Applications of Deterministic Nanofabrication [Text] : монография / K. Ostrikov. - Weinheim : John Wiley & Sons, 2008. - XXV, 538 p. : ил. - Библиогр.: с. 499-527. - Указ.: с. 529-538. - Прил.: с. 483-498. - ISBN 978-3-527-40740-8 : 4618.00 р.ББК 537.5 + 623.7
Рубрики: ФИЗИКА--ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ--СЫРЬЕ--МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ
Найти похожие
|
8.
| Инвентарный номер: 206797 - кх.
537
Я 89
Яфаров, Равиль Кашишафович.
Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий [] : монография / Р. К. Яфаров. - М. : Физматлит, 2009. - 216 с. - Библиогр.: с. 205-216. - ISBN 978-5-9221-1150-8 : 212.40 р.ББК 537.527.2
Рубрики: ФИЗИКА--ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
Найти похожие
|
9.
| Инвентарный номер: 207876 - кх.
623
Н 25
Наноинженерия поверхности. Формирование неравновесных состояний в поверхностных слоях материалов методами электронно-ионно-плазменных технологий [] : монография / А. И. Лотков [и др.] ; отв. ред.: Н. З. Ляхов, С. Г. Псахье ; РАН, СО, Ин-т физики прочности и материаловедения. - Новосибирск : Изд-во СО РАН, 2008. - 275, [1] с. : граф., ил., табл. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 978-5-7692-0982-6 : 350.00 р.ББК 623.0630-1с
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ--СЫРЬЕ--МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ
Найти похожие
|
10.
| Инвентарный номер: нет.
С 24
Свавильный, Н. Е.
О вероятном сценарии возникновения и роста одностенных углеродных нанотрубок в плазме дугового разряда / Н. Е. Свавильный, В. Е. Панарин, А. И. Хоминич // Нанотехника. - 2010. - № 1. - С. 45-54 : рис. - Библиогр. : с. 54 (58 назв.)
. - ISSN 1816-4498ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
НАНОТРУБКИ УГЛЕРОДНЫЕ ОДНОСТЕННЫЕ -- ПЛАЗМА ДУГОВОГО РАЗРЯДА -- КОМПЛЕКСЫ ГЕТЕРОГЕННЫЕ Ме-С
Аннотация: В работе предлагается механизм зарождения и роста одностенных углеродных нанотрубок (ОУНТ) в плазме дугового разряда. Ключевая роль принадлежит углеродным наночастицам, либо эмиттированным с электродов, либо родившимся в результате конденсации углеродного пара. На эти наночастицы осаждаются заряженные и нейтральные компоненты плазмы разряда. При этом образуются гетерогенные комплексы Ме-С (металл-углерод), которые при охлаждении эволюционируют с учетом фазовой диаграммы состояний Ме-С. При охлаждении «лишний» углерод из сплавов Ме-С выделяется в виде упорядоченных наноструктур. Центрами роста структур являются переохлажденные области на поверхности комплекса Ме-С
Найти похожие
|
11.
| Инвентарный номер: нет.
Т 38
Технология плазменного наноразмерного травления металлов и полупроводников в бинарных хлорсодержащих газовых смесях / А. М. Ефремов, В. И. Светцов, С. А. Пивоваренок, А. В. Дунаев // Нанотехника. - 2010. - № 2 . - С. 77-81 : рис. - Библиогр. : с. 81 (3 назв.)
. - ISSN 1816-4498ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ТРАВЛЕНИЯ МЕТАЛЛОВ И ПОЛУПРОВОДНИКОВ -- СМЕСИ ГАЗОВЫЕ ХЛОРСОДЕРЖАЩИЕ -- ПРОИЗВОДСТВО ИМС
Аннотация: Неравновесная низкотемпературная газоразрядная плазма (ННГП) в среде хлорсодержащих газов применяется при проведении процессов «сухого» травления и очистки поверхности полупроводниковых пластин и функциональных слоев ИМС в тех случаях, когда использование жидкостных методов ограничивается высокими требованиями к чистоте, разрешению и воспроизводимости процесса [1, 2]. В качестве плазмообразующих сред традиционно использовались СС14, BCl3 и SiCl4, существенным недостатком которых является полимеризация и/или высаживание ненасыщенных продуктов плазмохимических реакций на внутренней поверхности реактора и обрабатываемого материала. Молекулярный хлор свободен от этих недостатков, однако его применение также осложнено рядом причин. Во-первых, это высокая коррозионная активность по отношению к конструкционным материалам технологического оборудования, неудобства хранения и транспортировки [1, 3]. Во-вторых, при характерных режимах работы промышленных плазмохимических реакторов ННГП в хлоре характеризуется высокими степенями диссоциации молекул CI2, что не позволяет достигать высокой анизотропии процесса. В то же время, последний параметр является актуальным при переходе к субмикронным технологиям в производстве ИМС
Найти похожие
|
12.
| Инвентарный номер: 209511 - кх.
В38
А 91
Астапенко, Валерий Александрович.
Взаимодействие излучения с атомами и наночастицами [] : учебник / В. А. Астапенко. - Долгопрудный : ИД "Интеллект", 2010. - 492 с. - (Физтеховский учебник). - Библиогр. в конце глав. - ISBN 978-5-91559-083-9 : 1294.70 р.ББК В38я73
Рубрики: ФИЗИКА--ФИЗИКА АТОМНОГО ЯДРА--ФИЗИКА ЭЛЕМЕНТАРНЫХ ЧАСТИЦ--УЧЕБНИКИ ДЛЯ ВУЗОВ
Найти похожие
|
13.
| Инвентарный номер: 210424 - кх.
648.4
Г 16
Галперин, Вячеслав Александрович.
Процессы плазменного травления в микро-и нанотехнологиях [] : учеб. пособие для вузов / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - 283 с. - (Нанотехнологии). - Библиогр.: с. 275-280. - ISBN 978-5-9963-0032-7 : 330.00 р.ББК 648.441я73
Рубрики: РАДИОЭЛЕКТРОНИКА--ОБЩАЯ РАДИОТЕХНИКА--УЧЕБНИКИ ДЛЯ ВУЗОВ
Найти похожие
|
14.
| Инвентарный номер: 211303 - кх.
539.2
В 75
Воронов, Владимир Кириллович.
Физика на переломе тысячелетий. Физические основы нанотехнологий [] : учебник для вузов / В. К. Воронов, А. В. Подоплелов, Р. З. Сагдеев. - М. : [ЛИБРОКОМ], [2011]. - 429 с. - Библиогр. в конце разд. - ISBN 978-5-397-01660-5 : 498.40 р.ББК 539.2я73 + 537.5я73
Рубрики: ФИЗИКА--ФИЗИКА ТВЕРОГО ТЕЛА--КРИСТАЛЛОГРАФЯ--ЭЛЕКТРИЧЕСТВО--УЧЕБНИКИ ДЛЯ ВУЗОВ
Найти похожие
|
15.
| Инвентарный номер: нет.
П 37
Плазменное наноразмерное травление GaAs в хлоре и хлороводороде / С. А. Пивоваренок [и др.] // Нанотехника. - 2011. - № 1. - С. 69-71 : рис. - Библиогр. : с. 71 (6 назв.)
. - ISSN 1816-4498ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ТРАВЛЕНИЕ НАНОРАЗМЕРНОЕ GAAS -- ПЛАЗМА -- ХЛОР -- ХЛОРОВОДОРОД
Аннотация: Неравновесная низкотемпературная плазма хлора и хлороводорода применяется в технологии микро- и наноэлектроники для очистки и «сухого» травления поверхности полупроводниковых пластин и функциональных слоев ИМС. Одним из важных процессов здесь является формирование топологического рельефа на поверхности GaAs, который является одним из самых перспективных материалов электроники будущего. Причины этого заключаются в сочетании большой ширины запрещенной зоны и высокой подвижности носителей заряда, что позволяет создавать на основе GaAs широкий спектр высокочастотных быстродействующих приборов. Кроме этого, GaAs является основным материалом квантовой наноэлектроники на основе гетеропереходов в системе AlGaAs [1]
Найти похожие
|
16.
| Инвентарный номер: нет.
С 32
Сергеева, Е. А.
Физико-математическое моделирование плазменной модификации поверхностного нанослоя синтетических тканей / Е. А. Сергеева, В. С. Желтухин, С. В. Илюшина // Нанотехника. - 2011. - № 2. - С. 75-77 : рис. - Библиогр. : с. 78 (6 назв.)
. - ISSN 1816-4498ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МОДЕЛИРОВАНИЕ -- НАНОСЛОЙ -- ПЛАЗМА -- ТКАНЬ -- ВОЛОКНО
Аннотация: Разработана физико-математическая модель комплексных изменений структуры и глубины модификации поверхностного нанослоя синтетических волокон и тканей в результате бомбардировки низкоэнергетическими ионами плазмы высокочастотного (ВЧ) разряда пониженного давления, позволяющей получать волокна и ткани с заданными поверхностными свойствами
Найти похожие
|
17.
| Инвентарный номер: 212414 - бр.ф.; 212415 - кх.
537
Э 45
Электрофизика на Урале. Четверть века исследований [] : научное издание / РАН, УрО, Ин-т электрофизики ; [отв. ред. В. Г. Шпак ; вступ. ст. Г. А. Месяца]. - Екатеринбург : [б. и.], 2011. - 453 с. - Библиогр. в конце ст. - ISBN 978-5-7691-2229-3 : 50.00 р.
Вступ. ст. Г. А. Месяца "Ин-ту электрофизики - 25 лет"ББК 537(235.55)л2
Рубрики: ФИЗИКА--ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
УРАЛ
Найти похожие
|
18.
| Инвентарный номер: нет.
Т 48
Ткачева, А. А.
Плазменное травление GaN и его твердых растворов: достижения и перспективы / А. А. Ткачева // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 6. - С. 21-25 : табл. - Библиогр.: с. 25 (12 назв.)
. - ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ТРАВЛЕНИЕ СУХОЕ -- НИТРИД ГАЛЛИЯ -- GAN -- ПЛАЗМА ИНДУКТИВНО-СВЯЗАННАЯ
Аннотация: Представлен обзор материалов по плазменному травлению GaN и твердых растворов на его основе, включающий описание различных источников, режимов и газов, применяемых плазменном травлении материалов нитридной группы, вопросы качества травления, а также применение плазменного травления в технологии производства современных НЕМТ-транзисторов
Найти похожие
|
19.
| Инвентарный номер: нет.
Р 18
Райныш, В. А,
Пылевая плазма в решении проблем нанотехнологий порошковой металлургии / В. А, Райныш, А. В. Шурупов, М. А. Шурупов // Нанотехника. - 2012. - № 1. - С. 65-78 : рис., табл. - Библиогр.: с. 78 (29 назв.)
. - ISSN 1816-4498ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
НАНОПОРОШКИ И УЛЬТРАДИСПЕРСНЫЕ -- ГРАНИЦЫ МЕЖЧАСТИЧНЫЕ -- ПЛАЗМА НЕРАВНОВЕСТНАЯ -- ПОВЕРХНОСТИ ЧАСТИЦ -- ДЕФЕКТЫ ОБЪЕМНЫЕ
Аннотация: В статье рассмотрены проблемы, возникающие при работе с ультрадисперсными и нанопорошками (УДП И НП) в порошковой металлургии. Показано, что без учета фактора адсорбционного загрязнения поверхностей частиц и качества смеси не может быть конкурентноспособных технологий и скачка качества изделий. Показано, что применение результатов исследований фундаментальной физики «пылевой плазмы» позволяет осуществить подход к ресурсосберегающим и конкурентоспособным технологиям. Показано, что будущее за вакуумными технологическими линиями, где первые операции должны производиться в плазменных реакторах с использованием неравновесной плазмы
Найти похожие
|
20.
| Инвентарный номер: нет.
П 16
Панкова, Е. А.
Исследование механизмов нанесения и фиксации наночастиц серебра в структуре коллагени кератинсодержащих ВММ / Е. А. Панкова, В. А. Усенко, Л. А. Зенитова // Нанотехника. - 2012. - № 1. - С. 85-88 : рис. - Библиогр.: с.
. - ISSN 1816-4498ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
НАНОЧАСТИЦЫ СЕРЕБРА -- ПЛАЗМА -- МОДИФИКАЦИЯ -- СТРУКТУРА
Аннотация: Установлено, что в результате обработки коллаген- и кератинсодержащих ВММ коллоидным раствором в условиях ВЧИ плазмы активированные частицы металла проникают в структуру материала и прочно в ней фиксируются за счет реакций комплексообразования с белком
Найти похожие
|
21.
| Инвентарный номер: нет.
Т 56
Томош, К. Н.
Характеристики и использование вч и свч разрядов при создании твердотельных полупроводниковых приборов / К. Н. Томош // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 5. - С. 47-52 : рис. - Библиогр.: с. 52 (8 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ПЛАЗМА -- СВЧ РАЗРЯД -- ВЧ РАЗРЯД -- РЕАКТОР -- МАГНИТНОЕ ПОЛЕ -- ТРАВЛЕНИЕ
Аннотация: Представлена информация обзорного характера о применении плазмы ВЧ и СВЧ разряда в технологических процессах производства изделий электронной техники. Указаны области технического применения СВЧ разрядов и основные характеристики структур, формируемых под их воздействием
Найти похожие
|
22.
| Инвентарный номер: нет.
Г 16
Галперин, В. А.
Исследование процесса контролируемого плазменного сокращения размеров затвора / В. А. Галперин, Н. А. Разживин // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 6. - С. 12-15 : табл., граф. - Библиогр.: с. 15 (8 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
РЕАКТИВНО-ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ПЛАЗМА -- ПРОФИЛЬ ТРАВЛЕНИЯ -- ТРИММИНГ РЕЗИСТА
Аннотация: Приведены результаты исследования процесса тримминга маски, протекающих механизмов реакций и совместимости с процессом травления поликремния. Получены зависимости и оптимальные значения основных технологических параметров стадий, определяющих качество процесса. Проведена оценка влияния параметров и реагентов стадии тримминга на получаемый линейный размер формируемых элементов поликремния, равномерность и минимизацию эффекта микрозагрузки. Сформирован комплекс мер по оптимизации и стабилизации процесса и получению профиля травления с требуемым размером формируемых элементов в условиях опытного производства
Найти похожие
|
|
|
Главная
Новые поступления
Шлюз Z39.50
Каталог книг и продолжающихся изданий
Описание базы данных