Центральная Научная Библиотека УрО РАН

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 537/Ф 50
Заглавие : Физика экстремальных состояний вещества-2002 : Сб.: Часть ст. XVII Междунар. конф. "Уравнения состояния вещества", (Эльбрус, 1-6 марта 2002)
Выходные данные : Эльбрус, 2002
Колич.характеристики :191 с.
Примечания : Библиогр. в конце ст.
ISBN, Цена 5-901675-06-1: 30.00 р.
ББК : 537.5я431(0) + 541.123я431(0)
Предметные рубрики: ФИЗИКА-- ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ-- ХИМИЧЕСКАЯ КИНЕТИКА
Экземпляры : всего : кх(2), бр.ф.(1)
Свободны : кх(2), бр.ф.(1)
Найти похожие

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 623/Б 69
Автор(ы) : Блинков, Игорь Викторович, Манухин, Анатолий Васиьевич
Заглавие : Нанодисперсные и гранулированные материалы , полученные в импульсной плазме : научное издание
Выходные данные : М.: МИСиС, 2005
Колич.характеристики :367 с.: ил.
Серия: Металлургия и материаловедение XXI века
Примечания : Библиогр.: с. 343-367. - К 75-летию Моск. гос. ин-та стали и сплавов (Технол. ун-та)
ISBN, Цена 5-87623-156-8: 308.00 р.
ГРНТИ : 29.27 + 53
ББК : 623.069 + 669.314.17
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ-- СЫРЬЕ-- МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ
ТЕХНОЛОГИЯ МЕТАЛЛОВ. МАШИНОСТРОЕНИЕ. ПРИБОРОСТРОЕНИЕ-- МЕТАЛЛУРГИЯ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): плазма импульсная--материалы гранулированные--материалы нанокомпозиционные--разряды электрические (реакции)--порошки металлические (производство)--плазма низкотемпературная (разряды газовые)--моделирование математическое (промышленная технология)--материаловедение (нанотехнологии)
Экземпляры : всего : кх(1), ИМЕТ(1)
Свободны : кх(1), ИМЕТ(1)
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/П 78
Автор(ы) : Райныш В. А,, Шурупов А. В., Фортов В. Е., Шурупов М. А.
Заглавие : Проблемы применения ультрадисперсных частиц в порошковой металлургии и пылевая плазма
Место публикации : Нанотехника. - 2008. - № 2. - С. 13-18. - ISSN 1816-4498. - ISSN 1816-4498
Примечания : Библиогр.: с. 18 (19 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): плазменные реакторы--поверхностные загрязнения
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/С 14
Автор(ы) : Сайгаш А. С., Сивков А. А.
Заглавие : Получение нанодисперсного нитрида титана в высокоскоростной импульсной струе электроэрозионной плазмы
Место публикации : Нанотехника. - 2008. - № 2. - С. 62-66: рис., табл. - ISSN 1816-4498. - ISSN 1816-4498
Примечания : Библиогр.: с. 66 (4 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): порошок tin--электроразрядная плазма
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Г 70
Автор(ы) : Городничий В. Г., Белов Д. В.
Заглавие : ССФ -технология : новые возможности в управлении процессами различной природы и сложности
Место публикации : Нанотехника. - 2008. - № 2. - С. 80-82. - ISSN 1816-4498. - ISSN 1816-4498
Примечания : Библиогр.: с. 82 (6 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): свм-состояние--холодная водородная плазма
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 623.7/А 65
Автор(ы) : Андреева А. В., Зынь В. И.
Заглавие : Возможность управлени спектром масс полимерных микро- наночастиц в плазмохимической системе с искусственной гравитацией
Место публикации : Нанотехника. - 2009. - № 1. - С. 48-57: ил.
Примечания : Библиогр. : с. 56-57 (25 назв.)
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): массоперенос--коллоидная плазма--кластеры
Найти похожие

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 537/O-88
Автор(ы) : Ostrikov, Kostya (Ken)
Заглавие : Plasma Nanoscience: Basic Concepts and Applications of Deterministic Nanofabrication
Выходные данные : Weinheim: John Wiley & Sons, 2008
Колич.характеристики :XXV, 538 с.: ил.
Примечания : Библиогр.: с. 499-527. - Указ.: с. 529-538. - Прил.: с. 483-498
ISBN, Цена 978-3-527-40740-8: 4618.00 р.
ГРНТИ : 29.27 + 81.09
ББК : 537.5 + 623.7
Предметные рубрики: ФИЗИКА-- ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ-- СЫРЬЕ-- МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ
Экземпляры :ч/з(1)
Свободны : ч/з(1)
Найти похожие

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 537/Я 89
Автор(ы) : Яфаров, Равиль Кашишафович
Заглавие : Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий
Выходные данные : М.: Физматлит, 2009
Колич.характеристики :216 с
Примечания : Библиогр.: с. 205-216
ISBN, Цена 978-5-9221-1150-8: 212.40 р.
ГРНТИ : 37.21.23
ББК : 537.527.2
Предметные рубрики: ФИЗИКА-- ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
Экземпляры :кх(1)
Свободны : кх(1)
Найти похожие

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 623/Н 25
Автор(ы) : Лотков А. И., Псахье С. Г., Князева А. Г., Коваль Н. Н., Коротаев А. Д.
Заглавие : Наноинженерия поверхности. Формирование неравновесных состояний в поверхностных слоях материалов методами электронно-ионно-плазменных технологий
Выходные данные : Новосибирск: Изд-во СО РАН, 2008
Колич.характеристики :275, [1] с.: граф., ил., табл.
Коллективы : Ин-т физики прочности и материаловедения СО РАН
Примечания : Библиогр. в конце глав
ISBN, Цена 978-5-7692-0982-6: 350.00 р.
ГРНТИ : 81.09
ББК : 623.0630-1с
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ-- СЫРЬЕ-- МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ
Экземпляры :кх(1)
Свободны : кх(1)
Найти похожие

10.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/С 24
Автор(ы) : Свавильный Н. Е., Панарин В. Е., Хоминич А. И.
Заглавие : О вероятном сценарии возникновения и роста одностенных углеродных нанотрубок в плазме дугового разряда
Место публикации : Нанотехника. - 2010. - № 1. - С. 45-54: рис. - ISSN 1816-4498. - ISSN 1816-4498
Примечания : Библиогр. : с. 54 (58 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нанотрубки углеродные одностенные--плазма дугового разряда--комплексы гетерогенные ме-с
Аннотация: В работе предлагается механизм зарождения и роста одностенных углеродных нанотрубок (ОУНТ) в плазме дугового разряда. Ключевая роль принадлежит углеродным наночастицам, либо эмиттированным с электродов, либо родившимся в результате конденсации углеродного пара. На эти наночастицы осаждаются заряженные и нейтральные компоненты плазмы разряда. При этом образуются гетерогенные комплексы Ме-С (металл-углерод), которые при охлаждении эволюционируют с учетом фазовой диаграммы состояний Ме-С. При охлаждении «лишний» углерод из сплавов Ме-С выделяется в виде упорядоченных наноструктур. Центрами роста структур являются переохлажденные области на поверхности комплекса Ме-С
Найти похожие

11.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Т 38
Автор(ы) : Ефремов А. М., Светцов В. И., Пивоваренок С. А., Дунаев А. В.
Заглавие : Технология плазменного наноразмерного травления металлов и полупроводников в бинарных хлорсодержащих газовых смесях
Место публикации : Нанотехника. - 2010. - № 2 . - С. 77-81: рис. - ISSN 1816-4498. - ISSN 1816-4498
Примечания : Библиогр. : с. 81 (3 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): травления металлов и полупроводников--смеси газовые хлорсодержащие--производство имс
Аннотация: Неравновесная низкотемпературная газоразрядная плазма (ННГП) в среде хлорсодержащих газов применяется при проведении процессов «сухого» травления и очистки поверхности полупроводниковых пластин и функциональных слоев ИМС в тех случаях, когда использование жидкостных методов ограничивается высокими требованиями к чистоте, разрешению и воспроизводимости процесса [1, 2]. В качестве плазмообразующих сред традиционно использовались СС14, BCl3 и SiCl4, существенным недостатком которых является полимеризация и/или высаживание ненасыщенных продуктов плазмохимических реакций на внутренней поверхности реактора и обрабатываемого материала. Молекулярный хлор свободен от этих недостатков, однако его применение также осложнено рядом причин. Во-первых, это высокая коррозионная активность по отношению к конструкционным материалам технологического оборудования, неудобства хранения и транспортировки [1, 3]. Во-вторых, при характерных режимах работы промышленных плазмохимических реакторов ННГП в хлоре характеризуется высокими степенями диссоциации молекул CI2, что не позволяет достигать высокой анизотропии процесса. В то же время, последний параметр является актуальным при переходе к субмикронным технологиям в производстве ИМС
Найти похожие

12.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : В38/А 91
Автор(ы) : Астапенко, Валерий Александрович
Заглавие : Взаимодействие излучения с атомами и наночастицами : учебник
Выходные данные : Долгопрудный: ИД "Интеллект", 2010
Колич.характеристики :492 с
Серия: Физтеховский учебник
Примечания : Библиогр. в конце глав.
ISBN, Цена 978-5-91559-083-9: 1294.70 р.
ГРНТИ : 47.31
ББК : В38я73
Предметные рубрики: ФИЗИКА-- ФИЗИКА АТОМНОГО ЯДРА-- ФИЗИКА ЭЛЕМЕНТАРНЫХ ЧАСТИЦ
Экземпляры :кх(1)
Свободны : кх(1)
Найти похожие

13.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 648.4/Г 16
Автор(ы) : Галперин, Вячеслав Александрович, Данилкин, Евгений Владимирович, Мочалов, Алексей Иванович
Заглавие : Процессы плазменного травления в микро-и нанотехнологиях : учеб. пособие для вузов
Выходные данные : М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010
Колич.характеристики :283 с
Серия: Нанотехнологии
Примечания : Библиогр.: с. 275-280
ISBN, Цена 978-5-9963-0032-7: 330.00 р.
ГРНТИ : 47
ББК : 648.441я73
Предметные рубрики: РАДИОЭЛЕКТРОНИКА-- ОБЩАЯ РАДИОТЕХНИКА
Экземпляры :кх(1)
Свободны : кх(1)
Найти похожие

14.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 539.2/В 75
Автор(ы) : Воронов, Владимир Кириллович, Подоплелов, Алексей Витальевич, Сагдеев, Ренад Зиннурович
Заглавие : Физика на переломе тысячелетий. Физические основы нанотехнологий : учебник для вузов
Выходные данные : М.: [ЛИБРОКОМ], [2011]
Колич.характеристики :429 с
Примечания : Библиогр. в конце разд.
ISBN, Цена 978-5-397-01660-5: 498.40 р.
ГРНТИ : 47.03
ББК : 539.2я73 + 537.5я73
Предметные рубрики: ФИЗИКА-- ФИЗИКА ТВЕРОГО ТЕЛА-- КРИСТАЛЛОГРАФЯ-- ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
Экземпляры :кх(1)
Свободны : кх(1)
Найти похожие

15.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/П 37
Автор(ы) : Пивоваренок С. А., Дунаев А. В., Ефремов А. М., Светцов В. И.
Заглавие : Плазменное наноразмерное травление GaAs в хлоре и хлороводороде
Место публикации : Нанотехника. - 2011. - № 1. - С. 69-71: рис. - ISSN 1816-4498. - ISSN 1816-4498
Примечания : Библиогр. : с. 71 (6 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Аннотация: Неравновесная низкотемпературная плазма хлора и хлороводорода применяется в технологии микро- и наноэлектроники для очистки и «сухого» травления поверхности полупроводниковых пластин и функциональных слоев ИМС. Одним из важных процессов здесь является формирование топологического рельефа на поверхности GaAs, который является одним из самых перспективных материалов электроники будущего. Причины этого заключаются в сочетании большой ширины запрещенной зоны и высокой подвижности носителей заряда, что позволяет создавать на основе GaAs широкий спектр высокочастотных быстродействующих приборов. Кроме этого, GaAs является основным материалом квантовой наноэлектроники на основе гетеропереходов в системе AlGaAs [1]
Найти похожие

16.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/С 32
Автор(ы) : Сергеева Е. А., Желтухин В. С., Илюшина С. В.
Заглавие : Физико-математическое моделирование плазменной модификации поверхностного нанослоя синтетических тканей
Место публикации : Нанотехника. - 2011. - № 2. - С. 75-77: рис. - ISSN 1816-4498. - ISSN 1816-4498
Примечания : Библиогр. : с. 78 (6 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Аннотация: Разработана физико-математическая модель комплексных изменений структуры и глубины модификации поверхностного нанослоя синтетических волокон и тканей в результате бомбардировки низкоэнергетическими ионами плазмы высокочастотного (ВЧ) разряда пониженного давления, позволяющей получать волокна и ткани с заданными поверхностными свойствами
Найти похожие

17.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 537/Э 45
Заглавие : Электрофизика на Урале. Четверть века исследований
Выходные данные : Екатеринбург, 2011
Колич.характеристики :453 с
Коллективы : Ин-т электрофизики УрО РАН
Примечания : Библиогр. в конце ст. - Вступ. ст. Г. А. Месяца "Ин-ту электрофизики - 25 лет"
ISBN, Цена 978-5-7691-2229-3: 50.00 р.
ГРНТИ : 12.01.21
ББК : 537(235.55)л2
Предметные рубрики: ФИЗИКА-- ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
Географич. рубрики: УРАЛ
Экземпляры : всего : бр.ф.(1), кх(1)
Свободны : бр.ф.(1), кх(1)
Найти похожие

18.

Вид документа :
Шифр издания : 620.3/Т 48
Автор(ы) : Ткачева А. А.
Заглавие : Плазменное травление GaN и его твердых растворов: достижения и перспективы
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 6. - С. 21-25: табл.
Примечания : Библиогр.: с. 25 (12 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): травление сухое--нитрид галлия--gan--плазма индуктивно-связанная
Аннотация: Представлен обзор материалов по плазменному травлению GaN и твердых растворов на его основе, включающий описание различных источников, режимов и газов, применяемых плазменном травлении материалов нитридной группы, вопросы качества травления, а также применение плазменного травления в технологии производства современных НЕМТ-транзисторов
Найти похожие

19.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Р 18
Автор(ы) : Райныш В. А,, Шурупов А. В., Шурупов М. А.
Заглавие : Пылевая плазма в решении проблем нанотехнологий порошковой металлургии
Место публикации : Нанотехника. - 2012. - № 1. - С. 65-78: рис., табл. - ISSN 1816-4498. - ISSN 1816-4498
Примечания : Библиогр.: с. 78 (29 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нанопорошки и ультрадисперсные--границы межчастичные--плазма неравновестная--поверхности частиц--дефекты объемные
Аннотация: В статье рассмотрены проблемы, возникающие при работе с ультрадисперсными и нанопорошками (УДП И НП) в порошковой металлургии. Показано, что без учета фактора адсорбционного загрязнения поверхностей частиц и качества смеси не может быть конкурентноспособных технологий и скачка качества изделий. Показано, что применение результатов исследований фундаментальной физики «пылевой плазмы» позволяет осуществить подход к ресурсосберегающим и конкурентоспособным технологиям. Показано, что будущее за вакуумными технологическими линиями, где первые операции должны производиться в плазменных реакторах с использованием неравновесной плазмы
Найти похожие

20.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/П 16
Автор(ы) : Панкова Е. А., Усенко В. А., Зенитова Л. А.
Заглавие : Исследование механизмов нанесения и фиксации наночастиц серебра в структуре коллагени кератинсодержащих ВММ
Место публикации : Нанотехника. - 2012. - № 1. - С. 85-88: рис. - ISSN 1816-4498. - ISSN 1816-4498
Примечания : Библиогр.: с.
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): наночастицы серебра--плазма--модификация--структура
Аннотация: Установлено, что в результате обработки коллаген- и кератинсодержащих ВММ коллоидным раствором в условиях ВЧИ плазмы активированные частицы металла проникают в структуру материала и прочно в ней фиксируются за счет реакций комплексообразования с белком
Найти похожие

21.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.382.002/Т 56
Автор(ы) : Томош К. Н.
Заглавие : Характеристики и использование вч и свч разрядов при создании твердотельных полупроводниковых приборов
Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 5. - С. 47-52: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 52 (8 назв.)
УДК : 621.382.002
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): плазма--свч разряд--вч разряд--реактор--магнитное поле--травление
Аннотация: Представлена информация обзорного характера о применении плазмы ВЧ и СВЧ разряда в технологических процессах производства изделий электронной техники. Указаны области технического применения СВЧ разрядов и основные характеристики структур, формируемых под их воздействием
Найти похожие

22.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.9.047.7/Г 16
Автор(ы) : Галперин В. А., Разживин Н. А.
Заглавие : Исследование процесса контролируемого плазменного сокращения размеров затвора
Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 6. - С. 12-15: табл., граф. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 15 (8 назв.)
УДК : 621.9.047.7
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): реактивно-ионное травление--плазма--профиль травления--тримминг резиста
Аннотация: Приведены результаты исследования процесса тримминга маски, протекающих механизмов реакций и совместимости с процессом травления поликремния. Получены зависимости и оптимальные значения основных технологических параметров стадий, определяющих качество процесса. Проведена оценка влияния параметров и реагентов стадии тримминга на получаемый линейный размер формируемых элементов поликремния, равномерность и минимизацию эффекта микрозагрузки. Сформирован комплекс мер по оптимизации и стабилизации процесса и получению профиля травления с требуемым размером формируемых элементов в условиях опытного производства
Найти похожие

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН

  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)