Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
 Найдено в других БД:Каталог книг и продолжающихся изданий (1)Каталог диссертаций и авторефератов диссертаций УрО РАН (1)Алфавитно-предметный указатель (АПУ) ЦНБ УрО РАН (4)Труды Института высокотемпературной электрохимии УрО РАН (1)Труды сотрудников Института органического синтеза УрО РАН (1)Труды сотрудников Института химии твердого тела УрО РАН (7)
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=РАСПЫЛЕНИЕ<.>)
Общее количество найденных документов : 10
Показаны документы с 1 по 10
1.
Инвентарный номер: нет.
   
   Ф 34


    Федотов, А.
    Многофункциональные нанокомпозитные покрытия [Текст] / А. Федотов, Ю. Агабеков, В. Мачикин // Наноиндустрия. - 2008. - № 1. - С. 24 - 27 : рис. -
УДК
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
УПРОЧНЯЮЩЕЕ ПОКРЫТИЕ -- РЕЖУЩИЙ ИНСТРУМЕНТ -- МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ

Найти похожие

2.
Инвентарный номер: нет.
   
   Л 17


   
    Лазерное распыление в атмосфере водорода как новый метод формирования полупроводниковых наногетероструктур [Текст] / Б. Н. Звонков [и др.] // Нанотехника. - 2008. - № 1. - С. 32-43 : рис., табл. - Библиогр.: с. 42-43 (30 назв.)
УДК
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ГАЗОФАЗНАЯ ЭПИТАКСИЯ -- СПИНТРОНИКА

Найти похожие

3.
Инвентарный номер: нет.
   
   Н 25


   
    Наноструктурированные пленки ZnO в зеркалах и датчиках УФ излучения [Текст] / А. Ф. Белянин [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 8. - С. 9-14 : рис., табл., фото. - Библиогр.: с. 14 (9 назв.) . - ISSN 1813-8586
УДК
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ПЛЕНКИ ZnO -- МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- УСТРОЙСТВА МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ И ОПТИКИ
Аннотация: Рассмотрены условия получения пленок ZnO методом магнетронного ВЧ распыления с применением дополнительной магнитной системы, помещенной за подложкодержателем. Изучено влияние строения пленок ZnO на эксплуатационные характеристики чувствительных элементов датчиков УФ излучения и зеркал УФ диапазона

Найти похожие

4.
Инвентарный номер: нет.
   
   Н 25


   
    Наноструктурные и морфологические свойства пленок srtio3 / А. А. Агасиев, Ч. Г. Ахундов [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 4. - С. 36-38 : рис. - Библиогр. : с.38 (11 назв.) . - ISSN 1813-8586
УДК
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ПЛЕНКИ ТОНКИЕ -- РАСПЫЛЕНИЕ МАГНЕТРОННОЕ -- МОРФОЛОГИЯ ПОВЕРХНОСТИ
Аннотация: Магнетpонным pаспылением получены пленки титана-та стpонция. Pассмотpена моpфология и стpуктуpа пленок. Определены сpедние pазмеpы (-1...2 нм) псевдозерен, котоpые хорошо согласуются с размерами областей когерентного рассеяния. Оценены межатомные расстояния Ti-O, Sr-O, O-O в неупорядоченных и поликристаллических слоях. С помощью атомно-силового и сканирующего туннельного микроскопов исследована поверхность пленки

Найти похожие

5.
Инвентарный номер: нет.
   
   О-62


   
    Оптимизация условий формирования тонких пленок ZnO для использования в интегральных МЭМС-устройствах / Д. Г. Громов [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 27-30 : рис. - Библиогр. : с. 30 (17 назв.) . - ISSN 1813-8586
УДК
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ZNO -- СОПРОТИВЛЕНИЕ УДЕЛЬНОЕ -- ПЛЕНКА ТОНКАЯ -- ПЬЕЗОЭФФЕКТ -- РАСПЫЛЕНИЕ МАГНЕТРОННОЕ -- МЭМС-УСТРОЙСТВА
Аннотация: Представлены результаты исследований тонких пленок ZnO для использования в составе интегральных МЭМС-устройствах. Пленки ZnO:Ga получены в процессе магнетронного распыления соответствующей мишени в среде аргона без нагрева подложки. Показано, что удельное сопротивление и стабильность во времени пленок ZnO:Ga существенно зависит от их толщины, воздействия солнечного излучения, внешней окружающей среды. Комплекс доведенных исследований указывает на то, что ужиной нестабильности тонких пленок ZnO являются процессы генерации и залечивания кислородных вакансий, создающие донорные уровни в запрещенной зоне ZnO. Для формирования пленок ZnO с пьезоэлектрическими свойствами требуется осаждение в среде кислорода или последующий отжиг в аналогичной среде, а повышения стабильности пленок во времени можно достигнуть с помощью покрытия, защищающего от воздействия внешней газовой среды

Найти похожие

6.
Инвентарный номер: нет.
   
   У 59


   
    Универсальная вакуумная установка ВММР-МЭШ для нанесения покрытий из многокомпонентных материалов, в том числе в наноструктурном состоянии, и получения нанопорошков / В. С. Митин, В. К. Орлов, В. М. Сергеев, А. В. Митин, Н. Н. Краснобаев, Д. Д. Спиваков, О. И. Зиновьев // Нанотехника. - 2011. - № 4. - С. 88-101 : рис., табл. - Библиогр.: с. 101 (11 назв.) . - ISSN 1816-4498
УДК
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ВММР -- ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ -- НАНОПОКРЫТИЯ -- НАНОПОРОШКИ -- НАНОПОКРЫТИЯ МНОГОКОМПОНЕНТНЫЕ
Аннотация: Предлагается инновационное оборудование высокомощного магнетронного распыления ВММР-МЭШ), обеспечивающее распыление с плотностью мощности плазменного разряда до 500 Вт/см 2 на плоских и до 1500 Вт/см 2 на коаксиальных (трубчатых) системах. Оборудование позволяет получать различные типы нанопокрытий, включая многослойные и нанопорошки на промышленном уровне. Описан эффект равноскоростного распыления различных материалов с мозаичных мишеней при высокомощном магнетронном распылении (ВММР). Показано, что предложенное оборудование существенно облегчает получение многокомпонентных нанопокрытий с желаемыми свойствами и обеспечивает существенные технические и экономические преимущества по сравнению с другими методами РVD. Представлены примеры полученных нанопродуктов

Найти похожие

7.
Инвентарный номер: нет.
   
   С 87


   
    Структура и СВЧ магнитная проницаемость тонких пленок кобальта / С. С. Маклаков, С. А. Маклаков, И. А. Рыжиков, К. Н. Розанов, А. В. Осипов, А. С. Набоко, В. А. Амеличев, С. В. Куликов // Российские нанотехнологии. - 2012. - Т. 7, № 5-6. - С. 65-69 : рис., табл. - Библиогр.: с. 69 (29 назв.) . - ISSN 1992-7223
УДК
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ПЛЕНКИ ТОНКИЕ -- ТЕКСТУРА КРИСТАЛЛОГРАФИЧЕСКАЯ -- ПРОНИЦАЕМОСТЬ МАГНИТНАЯ -- КОБАЛЬТ -- РАСПЫЛЕНИЕ МАГНЕТРОННОЕ
Аннотация: Обнаружено увеличение частоты ферромагнитного резонанса от 3 до 5.5 ГГц в тонких пленках Co при увеличении размера кристаллитов от 6 до 70 нм. Изменение структуры достигается увеличением скорости нанесения металла от 4.2 до 7.1 нм/мин при магнетронном распылении на постоянном токе. Пленки Со обладают одноосной кристаллографической текстурой. Положение оси текстуры меняется в зависимости от параметров нанесения Со, что влияет на планарную магнитную анизотропию. Предложена модель, описывающая обнаруженные изменения

Найти похожие

8.
Инвентарный номер: нет.
   
   Н 61


   
    Низкотемпературный синтез текстурированных пленок нитрида алюминия на инородных подложках для устройств микросистемной техники / А. М. Ефременко, А. В. Корляков, О. Н. Асташенкова, А. Н. Кривошеева // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 12. - С. 25-30 : рис., табл. - Библиогр.: с. 30 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
УДК
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ТЕКСТУРА -- ПЛЕНКИ ТОНКИЕ -- НИТРИД АЛЮМИНИЯ -- РАСПЫЛЕНИЕ МАГНЕТРОННОЕ -- ПЛЕНКИ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ -- НАПРЯЖЕНИЯ МЕХАНИЧЕСКИЕ
Аннотация: Представлены результаты исследования процессов получения пленок нитрида алюминия методом высокочастотного магнетронного распыления. Показано влияние основных технологических параметров на свойства получаемых пленок, в том числе влияние электрического поля, образованного некомпенсированным зарядом на поверхности растущей пленки AlN. Предложен механизм возникновения остаточных механических напряжений в пленках AlN при ионно-плазменном осаждении

Найти похожие

9.
Инвентарный номер: нет.
   
   Т 70


    Троицкий, А. А.
    Электрические и оптические свойства углеродных пленок, осаждаемых электроннолучевым методом / А. А. Троицкий, В. М. Березин, В. С. Лукашев // Нано- и микросистемная техника. - 2013. - № 10. - С. 15-19. - Библиогр.: с. 19 (11 назв.) . - ISSN 1813-8586
УДК
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ГРАФЕН -- УГЛЕРОД -- ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- УГЛЕРОДНЫЕ ПЛЕНКИ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ПРОЗРАЧНОСТЬ
Аннотация: Методом распыления электронным лучом в вакууме были получены тонкие углеродные пленки (толщиной до 30 нм) на нагретой стеклянной подложке. Было измерено удельное поверхностное сопротивление пленок и их коэффициент пропускания (при l= 560 нм), найдены зависимости от толщины пленки. Проведен анализ результатов и сравнение с другими работами

Найти похожие

10.
Инвентарный номер: 218679 - кх.
   539.2
   Б 49


    Берлин, Евгений Владимирович.
    Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением [] : научное издание / Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман. - М. : Техносфера, 2013. - 255 с., [2] вкл. л. : ил. - (Мир материалов и технологий). - Библиогр.: с. 242-255. - ISBN 978-5-94836-369-1 : 568.70 р.
ГРНТИ
ББК 539.212.6
Рубрики: ФИЗИКА--ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА--КРИСТАЛЛОГРАФИЯ

Найти похожие

 

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика