Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска
Каталог книг и продолжающихся изданий
Сводный каталог иностранных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН
Сводный каталог отечественных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН
Каталог диссертаций и авторефератов диссертаций УрО РАН
Каталог препринтов УрО РАН (1975 г. - )
Имидж-каталог отечественных книг (до 2010 г.)
Имидж-каталог иностранных книг (до 2010 г.)
Алфавитно-предметный указатель (АПУ) ЦНБ УрО РАН
Публикации об УрО РАН
Изобретения уральских ученых
Интеллектуальная собственность (статьи из периодики)
Нанотехнологии
Демидовские премии
Гибель династии Романовых
История Урала
Личная библиотека С. В. Вонсовского
Книжная коллекция Шубиных
Труды Института высокотемпературной электрохимии УрО РАН
Труды Института истории и археологии УрО РАН
Труды сотрудников Института горного дела УрО РАН
Труды сотрудников Института органического синтеза УрО РАН
Труды сотрудников Института теплофизики УрО РАН
Труды сотрудников Института химии твердого тела УрО РАН
Расплавы
Труды сотрудников ЦНБ УрО РАН
Публикации Черешнева В.А.
Публикации Чарушина В.Н.
Каталог библиотеки ИГД УрО РАН
Каталог библиотеки ИЭРиЖ УрО РАН
Электронная энциклопедия «Дискурсология»
Библиометрия
Область поиска
 Найдено в других БД:Каталог книг и продолжающихся изданий (1)Каталог диссертаций и авторефератов диссертаций УрО РАН (1)Алфавитно-предметный указатель (АПУ) ЦНБ УрО РАН (4)Труды Института высокотемпературной электрохимии УрО РАН (1)Труды сотрудников Института органического синтеза УрО РАН (1)Труды сотрудников Института химии твердого тела УрО РАН (7)
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=РАСПЫЛЕНИЕ<.>)
Общее количество найденных документов : 10
Показаны документы с 1 по 10
1.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 539.2/Б 49
Автор(ы) : Берлин, Евгений Владимирович, Сейдман, Лев Александрович
Заглавие : Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением : научное издание
Выходные данные : М.: Техносфера, 2013
Колич.характеристики :255 с., [2] вкл. л.: ил.
Серия: Мир материалов и технологий
Примечания : Библиогр.: с. 242-255
ISBN, Цена 978-5-94836-369-1: 568.70 р.
ГРНТИ : 29.19
ББК : 539.212.6
Предметные рубрики: ФИЗИКА-- ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА-- КРИСТАЛЛОГРАФИЯ
Экземпляры :кх(1)
Свободны : кх(1)
Найти похожие
2.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Л 17
Автор(ы) : Звонков Б. Н., Вихрова О. В., Данилов Ю. А., Демина П. Б., Кудрин А. В., Лесников В. П., Подольский В. В.
Заглавие : Лазерное распыление в атмосфере водорода как новый метод формирования полупроводниковых наногетероструктур
Место публикации : Нанотехника. - 2008. - № 1. - С. 32-43: рис., табл.
Примечания : Библиогр.: с. 42-43 (30 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): газофазная эпитаксия--спинтроника
Найти похожие
3.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Н 25
Автор(ы) : Белянин А. Ф., Самойлович М. И., Кривченко В. А., Пащенко П. В., Суетин Н. В., Тимофеев М. А.
Заглавие : Наноструктурированные пленки ZnO в зеркалах и датчиках УФ излучения
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 8. - С. 9-14: рис., табл., фото. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 14 (9 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): пленки zno--магнетронное распыление--устройства микроэлектроники и оптики
Аннотация: Рассмотрены условия получения пленок ZnO методом магнетронного ВЧ распыления с применением дополнительной магнитной системы, помещенной за подложкодержателем. Изучено влияние строения пленок ZnO на эксплуатационные характеристики чувствительных элементов датчиков УФ излучения и зеркал УФ диапазона
Найти похожие
4.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Н 25
Автор(ы) : Агасиев А. А., Ахундов Ч.Г., Мамедов М.З., Сармасов С. Н., Мамедов Г. М.
Заглавие : Наноструктурные и морфологические свойства пленок srtio3
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 4. - С. 36-38: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с.38 (11 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): пленки тонкие--распыление магнетронное--морфология поверхности
Аннотация: Магнетpонным pаспылением получены пленки титана-та стpонция. Pассмотpена моpфология и стpуктуpа пленок. Определены сpедние pазмеpы (-1...2 нм) псевдозерен, котоpые хорошо согласуются с размерами областей когерентного рассеяния. Оценены межатомные расстояния Ti-O, Sr-O, O-O в неупорядоченных и поликристаллических слоях. С помощью атомно-силового и сканирующего туннельного микроскопов исследована поверхность пленки
Найти похожие
5.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Н 61
Автор(ы) : Ефременко А. М., Корляков А. В., Асташенкова О. Н., Кривошеева А. Н.
Заглавие : Низкотемпературный синтез текстурированных пленок нитрида алюминия на инородных подложках для устройств микросистемной техники
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 12. - С. 25-30: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 30 (5 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): текстура--пленки тонкие--нитрид алюминия--распыление магнетронное--пленки пьезоэлектрические--напряжения механические
Аннотация: Представлены результаты исследования процессов получения пленок нитрида алюминия методом высокочастотного магнетронного распыления. Показано влияние основных технологических параметров на свойства получаемых пленок, в том числе влияние электрического поля, образованного некомпенсированным зарядом на поверхности растущей пленки AlN. Предложен механизм возникновения остаточных механических напряжений в пленках AlN при ионно-плазменном осаждении
Найти похожие
6.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/О-62
Автор(ы) : Громов Д. Г., Козьмин А. М., Поломошнов С. А., Шулятьев А. С., Шаманаев С. В.
Заглавие : Оптимизация условий формирования тонких пленок ZnO для использования в интегральных МЭМС-устройствах
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 27-30: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 30 (17 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Аннотация: Представлены результаты исследований тонких пленок ZnO для использования в составе интегральных МЭМС-устройствах. Пленки ZnO:Ga получены в процессе магнетронного распыления соответствующей мишени в среде аргона без нагрева подложки. Показано, что удельное сопротивление и стабильность во времени пленок ZnO:Ga существенно зависит от их толщины, воздействия солнечного излучения, внешней окружающей среды. Комплекс доведенных исследований указывает на то, что ужиной нестабильности тонких пленок ZnO являются процессы генерации и залечивания кислородных вакансий, создающие донорные уровни в запрещенной зоне ZnO. Для формирования пленок ZnO с пьезоэлектрическими свойствами требуется осаждение в среде кислорода или последующий отжиг в аналогичной среде, а повышения стабильности пленок во времени можно достигнуть с помощью покрытия, защищающего от воздействия внешней газовой среды
Найти похожие
7.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/С 87
Автор(ы) : Маклаков С. С., Маклаков С. А., Рыжиков И. А., Розанов К. Н., Осипов А. В., Набоко А. С., Амеличев В. А., Куликов С. В.
Заглавие : Структура и СВЧ магнитная проницаемость тонких пленок кобальта
Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2012. - Т. 7, № 5-6. - С. 65-69: рис., табл. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223
Примечания : Библиогр.: с. 69 (29 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): пленки тонкие--текстура кристаллографическая--проницаемость магнитная--кобальт--распыление магнетронное
Аннотация: Обнаружено увеличение частоты ферромагнитного резонанса от 3 до 5.5 ГГц в тонких пленках Co при увеличении размера кристаллитов от 6 до 70 нм. Изменение структуры достигается увеличением скорости нанесения металла от 4.2 до 7.1 нм/мин при магнетронном распылении на постоянном токе. Пленки Со обладают одноосной кристаллографической текстурой. Положение оси текстуры меняется в зависимости от параметров нанесения Со, что влияет на планарную магнитную анизотропию. Предложена модель, описывающая обнаруженные изменения
Найти похожие
8.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 539.234/Т 70
Автор(ы) : Троицкий А. А., Березин В. М., Лукашев В. С.
Заглавие : Электрические и оптические свойства углеродных пленок, осаждаемых электроннолучевым методом
Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2013. - № 10. - С. 15-19. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 19 (11 назв.)
УДК : 539.234
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): графен--углерод--электронно-лучевое распыление--углеродные пленки--тонкие пленки--прозрачность
Аннотация: Методом распыления электронным лучом в вакууме были получены тонкие углеродные пленки (толщиной до 30 нм) на нагретой стеклянной подложке. Было измерено удельное поверхностное сопротивление пленок и их коэффициент пропускания (при l= 560 нм), найдены зависимости от толщины пленки. Проведен анализ результатов и сравнение с другими работами
Найти похожие
9.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/У 59
Автор(ы) : Митин В. С., Орлов В. К., Сергеев В. М., Митин А. В., Краснобаев Н. Н., Спиваков Д. Д., Зиновьев О. И.
Заглавие : Универсальная вакуумная установка ВММР-МЭШ для нанесения покрытий из многокомпонентных материалов, в том числе в наноструктурном состоянии, и получения нанопорошков
Место публикации : Нанотехника. - 2011. - № 4. - С. 88-101: рис., табл. - ISSN 1816-4498. - ISSN 1816-4498
Примечания : Библиогр.: с. 101 (11 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): вммр--оборудование для магнетронного распыления--нанопокрытия --нанопорошки-- нанопокрытия многокомпонентные
Аннотация: Предлагается инновационное оборудование высокомощного магнетронного распыления ВММР-МЭШ), обеспечивающее распыление с плотностью мощности плазменного разряда до 500 Вт/см 2 на плоских и до 1500 Вт/см 2 на коаксиальных (трубчатых) системах. Оборудование позволяет получать различные типы нанопокрытий, включая многослойные и нанопорошки на промышленном уровне. Описан эффект равноскоростного распыления различных материалов с мозаичных мишеней при высокомощном магнетронном распылении (ВММР). Показано, что предложенное оборудование существенно облегчает получение многокомпонентных нанопокрытий с желаемыми свойствами и обеспечивает существенные технические и экономические преимущества по сравнению с другими методами РVD. Представлены примеры полученных нанопродуктов
Найти похожие
10.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Ф 34
Автор(ы) : Федотов А., Агабеков Ю., Мачикин В.
Заглавие : Многофункциональные нанокомпозитные покрытия
Место публикации : Наноиндустрия. - 2008. - № 1. - С. 24 - 27: рис.
Примечания :
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): упрочняющее покрытие--режущий инструмент--магнетронное распыление
Найти похожие
 
Описание базы данных
Стандартный
По словарю
Расширенный
ГРНТИ-навигатор
Статистика обращений

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика