Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=СИНТЕЗ ТВЕРДЫХ ЧАСТИЦ<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/А 86
Автор(ы) : Артемов А. С.
Заглавие : Химико-механическое полирование материалов
Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2011. - Т. 6, № 7-8. - С. 54-73: рис., табл.
Примечания : Библиогр. : с. 73 (43 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Аннотация: Обзор посвящен относительно новой, перспективной и интенсивно развивающейся технологии химико-механического полирования (ХМП) для получения высокосовершенной по геометрическим, структурным и химическим свойствам поверхности материалов: полупроводников, проводников и диэлектриков. Материал базируется на исследованиях физико-химических процессов, лежащих в основе технологии ХМП, и представляет попытку дать последовательную и объективно не полную картину ее развития с 60-х годов XX века до настоящего времени. Поскольку основу ХМП составляют обрабатываемый материал, композиция, полировальник и установка, то методической основой исследований и разработки технологии ХМП является проведение работ одновременно по следующим направлениям: изучение реальной структуры кристаллов; исследование деформации поверхности кристаллов при механической обработке; синтез твердых частиц нанометрового размера; исследование коллоидно-химических свойств гетерогенных дисперсных систем «твердое-жидкость»; разработка полировальных композиций; разработка технологии ХМП; изучение геометрических, химических, структурных и электрофизических свойств полированных поверхностей; изучение влияние полированных поверхностей материалов на технологические процессы изготовления и параметры различных приборов
Найти похожие

 

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика