Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска
Каталог книг и продолжающихся изданий
Сводный каталог иностранных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН
Сводный каталог отечественных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН
Каталог диссертаций и авторефератов диссертаций УрО РАН
Каталог препринтов УрО РАН (1975 г. - )
Имидж-каталог отечественных книг (до 2010 г.)
Имидж-каталог иностранных книг (до 2010 г.)
Алфавитно-предметный указатель (АПУ) ЦНБ УрО РАН
Публикации об УрО РАН
Изобретения уральских ученых
Интеллектуальная собственность (статьи из периодики)
Нанотехнологии
Демидовские премии
Гибель династии Романовых
История Урала
Личная библиотека С. В. Вонсовского
Книжная коллекция Шубиных
Труды Института высокотемпературной электрохимии УрО РАН
Труды Института истории и археологии УрО РАН
Труды сотрудников Института горного дела УрО РАН
Труды сотрудников Института органического синтеза УрО РАН
Труды сотрудников Института теплофизики УрО РАН
Труды сотрудников Института химии твердого тела УрО РАН
Расплавы
Труды сотрудников ЦНБ УрО РАН
Публикации Черешнева В.А.
Публикации Чарушина В.Н.
Каталог библиотеки ИГД УрО РАН
Каталог библиотеки ИЭРиЖ УрО РАН
Электронная энциклопедия «Дискурсология»
Библиометрия
Область поиска
 Найдено в других БД:Каталог книг и продолжающихся изданий (1)
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=ФОТОЛИТОГРАФИЯ<.>)
Общее количество найденных документов : 3
Показаны документы с 1 по 3
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/К 78
Автор(ы) : Красников Г. Я., Орлов О. М.
Заглавие : Отличительные особенности и проблемы КМОП-технологии при уменьшении проектной нормы до уровня 0,18 мкм и меньше
Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2008. - Т. 3, № 7-8. - С. 124-128: рис., табл. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223
Примечания : Библиогр. : с. 128 (27 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): фотолитография--метод ret
Найти похожие
2.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Пр 68-1/19
Заглавие : Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технология, диагностика и моделирование : сборник научных трудов
Выходные данные : М.: Наука, 2008
Колич.характеристики :246, [1] с.: ил.
Коллективы : Физико-технологический ин-т РАН
Серия: Труды ФТИАН; т. 19
Разночтения заглавия :Загл. на обороте тит. л.: Quantum computers, micro- and nanoelectronics
Примечания : Библиогр. в конце ст. - Посвящ. 70-летию со дня рождения действительного члена РАН А. А. Орликовского
Цена : Б.ц.
ГРНТИ : 47.01
ББК : 648.441я43(2)
Предметные рубрики: РАДИОЭЛЕКТРОНИКА-- ОБЩАЯ РАДИОТЕХНИКА
Экземпляры :кх(1)
Свободны : кх(1)
Найти похожие
3.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Ф 81
Автор(ы) : Калинин В. А., Пинаев В. В., Макарова А. В., Захаров А. В.
Заглавие : Фоторезисты для встречно-штыревых преобразователей систем радиочастотной идентификации на основе акустоэлектронных элементов на поверхностных акустических волнах
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 5. - С. 30-33: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 33 (6 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): фоторезист-- волны поверхностные акустические--преобразователи встречно-штыревые--фотолитография "взрывная" --рчид--пав--вшп
Аннотация: Дан обзор и приведена сравнительная характеристика фоторезистов для технологии "взрывной" фотолитографии в целях получения встречно-штыревых преобразователей (ВШП) систем радиочастотной идентификации (РЧИД) на основе акустоэлектронных элементов на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Выделен фоторезист, удовлетворяющий особенностям изделий на ПАВ. Использование данного метода позволит обеспечить надежный контроль над размерами элементов
Найти похожие
 
Описание базы данных
Стандартный
По словарю
Расширенный
ГРНТИ-навигатор
Статистика обращений

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика