Центральная Научная Библиотека УрО РАН

Инвентарный номер: нет.

   Ч-87

    Чуйко, О. В.
    Динамические характеристики чувствительного элемента микроакселерометра с повышенным фактором демпфирования / О. В. Чуйко, А. Е. Кузнецов // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 38-40 : рис., табл. - Библиогр. : с. 40 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МИКРОАКСЕЛЕРОМЕТР МАЯТНИКОВЫЙ -- ЭЛЕМЕНТ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ -- МАССА ИНЕРЦИОННАЯ -- ЧАСТОТА РЕЗОНАНСНАЯ -- ДОБРОТНОСТЬ -- ДЕМПФИРОВАНИЕ ВОЗДУШНОЕ
Аннотация: Исследуются динамические характеристики чувствительного элемента (ЧЭ) заданной конструкции, обеспечивающей повышенное воздушное сопротивление. Возбуждение колебаний инерционной массы (ИМ) осуществляется с помощью пьезоэлемента, регистрация колебаний выполняется по отклонению лазерного луча от поверхности ИМ. Получены зависимости резонансной частоты и добротности ЧЭ от давления воздуха в диапазоне от 1 до 105 Па, а также зависимость добротности от размера воздушного зазора между ИМ и подложкой

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   К 59

    Козин, И. А.
    Исследование динамики микроэлектромеханических устройств с нанесенной металлизацией / И. А. Козин, А. В. Постников, О. В. Морозов // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 43-45 : рис. - Библиогр. : с. 45 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
УСТРОЙСТВО МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЕ -- МЕТАЛЛИЗАЦИЯ -- ДОБРОТНОСТЬ -- КРЕПЛЕНИЕ УСТРОЙСТВА -- ПОТЕРИ ЭНЕРГИИ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО УСТРОЙСТВА
Аннотация: Исследуется влияние тонкой пленки алюминия 0,3 мкм на динамические характеристики микроэлектромеханического устройства с двумя вращательными степенями свободы. Определены собственные частоты и добротности механической колебательной системы устройства. В работе обнаружено влияние способа крепления устройства к механической системе возбуждения. Показано, что добротность устройства с металлизацией достигает 15-20 тысяч, что достаточно для работы прибора в приложениях, и позволяет сократить число технологических операций при изготовлении

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   Ф 45

    Фетисов, Л. Ю.
    Резонансный магнитоэлектрический эффект в композитной структуре кварц - ферромагнетик / Л. Ю. Фетисов // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 6. - С. 14-16 : рис. - Библиогр.: с. 16 (10 назв.) . -

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
КВАРЦ -- ФЕРРОМАГНЕТИК АМОРФНЫЙ -- ДАТЧИК МАГНИТНОГО ПОЛЯ -- ЭФФЕКТ МАГНИТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ -- СТРУКТУРА КОМПОЗИТНАЯ
Аннотация: Исследован магнитоэлектрический эффект в слоистой композитной структуре, содержащей слой пьезоэлектрического кварца и аморфного магнитного сплава. Показано, что высокая акустическая добротность кварца приводит к существенному увеличению эффективности магнитоэлектрического взаимодействия. Структуры со слоями кварца могут быть использованы для создания датчиков магнитных полей и перестраиваемых резонаторов

Найти похожие

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН

  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)