Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=КОНЦЕНТРАЦИЯ КЛАСТЕРОВ<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.
Инвентарный номер: нет.
   
   Н 16


    Нагель, М. Ю.
    Моделирование роста осаждаемых пленок / М. Ю. Нагель, Ю. В. Мартыненко // Российские нанотехнологии. - 2011. - Т. 6, № 9-10. - С. 104-108 : рис., табл. - Библиогр. : с. 108 (15 назв.) . - ISSN 1992-7223
УДК
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ПЛЕНКИ -- МОДЕЛИРОВАНИЕ -- КОНЦЕНТРАЦИЯ КЛАСТЕРОВ -- ПОЛИКРИСТАЛЛ -- АДАТОМЫ
Аннотация: Описан численный код, позволяющий моделировать процесс образования осаждаемых пленок, а также приведены результаты расчета размера зерна поликристаллической пленки в зависимости от параметров осаждения. Рассмотрены процессы, происходящие на поверхности подложки: движение адсорбированных атомов (адатомов) по поверхности, их объединение в кластеры, рост кластеров, приводящий к образованию поликристалла. Показано, что со временем осаждения концентрация кластеров достигает насыщения С, а размер зерен образующегося в последующем поликристалла равен d = C-1/2. Концентрация кластеров растет при увеличении потока атомов на подложку и при уменьшении коэффициента диффузии атомов по поверхности D. Причем размер зерна поликристалла зависит от безразмерного параметра ф = qa4/D (а - атомный размер, q - поток атомов на подложку), как d=ф -1/4-ф -1/6. Концентрация кластеров растет (а размер зерен убывает) при затрудненном образовании кластеров: при убывании сечения захвата атомов кластерами и атомами, при наличии силы отталкивания атомов друг от друга и от кластеров

Найти похожие

 

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика