Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=МИКРОСКОПИЯ СКАНИРУЮЩАЯ ТУННЕЛЬНАЯ<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.
Инвентарный номер: нет.
   
   С 29


    Селезнев, В. А.
    Чипы с полупроводниковыми трубками-зондами для сканирующей туннельной микроскопии / В. А. Селезнев, В. Я. Принц, И. А. // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 4. - С. 5-8 : рис. - Библиогр. : с. 8 (36 назв.) . - ISSN 1813-8586
УДК
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МИКРОСКОПИЯ СКАНИРУЮЩАЯ ТУННЕЛЬНАЯ -- ТРУБКИ-ЗОНДЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ -- ГЕТЕРОПЛЕНКИ НАПРЯЖЕННЫЕ
Аннотация: Описан метод массового изготовления чипов с трубчатыми зондами для сканирующей туннельной микроскопии из гетероструктур InP/InxGa1- xAs/InyGaj-yAs. Технология базируется на методах самосворачивания тонких напряженных гетеропленок в трубки, анизотропном и селективном травлении подложки InP и методах, используемых в технологии изготовления интегральных схем. Впервые изготовлены микротрубки из гетеропленок InxGa 1-xAs/InyGa 1-yAs с использованием селективного анизотропного травления подложки InP. Созданные чипы с полупроводниковыми трубками-зондами перспективны для применений в высоковакуумной сканирующей туннельной микроскопии и спектроскопии, спиновой туннельной микроскопии и микроскопии ближнего поля

Найти похожие

 

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика