Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=МОДАЛЬНЫЙ АНАЛИЗ<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.
Инвентарный номер: нет.
   
   О-75


   
    Особенности проектирования и изготовления чувствительного элемента микромеханического акселерометра на кни-структурах / С. П. Тимошенков, С. А. Анчутин, В. Г. Рубчиц, Н. М. Зарянкин, А. И. Виноградов, И. С. Дернов, Е. С. Кочурина // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 7. - С. 10-14 : рис., граф. - Библиогр.: с. 13 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
УДК
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ -- КПП-СТРУКТУРЫ -- МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ АКСЕЛЕРОМЕТР -- МОДАЛЬНЫЙ АНАЛИЗ -- СТАТИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ -- ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ -- НОМИНАЛЬНЫЕ ЕМКОСТИ
Аннотация: Рассмотрены особенности конструкции чувствительного элемента (ЧЭ) микромеханического акселерометра на КПП-структурах, представлены результаты расчета конструкции: проведен модельный, статический анализ, а также расчет номинальных значений емкостей ЧЭ. Изложены особенности технологии изготовления ЧЭ. Приведены результаты исследования опытных образцов чувствительного элемента микромеханического акселерометра

Найти похожие

 

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика