Поисковый запрос: (<.>K=МЭМС<.>) |
Общее количество найденных документов : 76
Показаны документы с 1 по 10 |
|
1. 
| Инвентарный номер: нет.
Я 96
Яшин , К. Д.
Разработка МЭМС [Текст] / К. Д. Яшин , В. С. Осипович, Т. Г. Божко // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 1. - С. 28-34 : фото
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МИКРОЗЕРКАЛА -- МИКРОВЫКЛЮЧАТЕЛИ -- МИКРОДАТЧИКИ
Найти похожие
|
2.
| Инвентарный номер: нет.
М 74
Мокров , Е. А.
Модель неинформативного преобразования термоэдс МЭМС-структур тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления при воздействии нестационарных температур [Текст] / Е. А. Мокров , Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 1. - С. 61-65 : рис. - Библиогр.: с. 65 (5 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ТЕНЗОРИЗИСТОРНЫЕ ДАТЧИКИ -- ТЕНЗОЭЛЕМЕНТ -- МЭМС-СТРУКТУРА
Найти похожие
|
3.
| Инвентарный номер: нет.
Б 43
Белозубов, Е. М.
Повышение устойчивости мэмс-структур тонкопленочных датчиков к воздействию виброускорений и температур [Текст] / Е. М. Белозубов // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 2. - С. 63-66 : рис. - Библиогр.: с.
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Найти похожие
|
4.
| Инвентарный номер: нет.
Б 43
Белозубов, Е. М.
Методы и средства минимизации влияния нестационарных температур в МЭМС-структурах тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления [Текст] / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 3. - С. 28-34 : рис. - Библиогр.: с. 34 (10 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МЭМС-СТРУКТУРА -- ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ -- ТЕНЗОРЕЗИСТОРЫ
Найти похожие
|
5.
| Инвентарный номер: нет.
Г 63
Гольцова, М. М.
МЭМС: большие рынки малых устрйств [Текст] / М. М. Гольцова, В. А. Юдинцев // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 4. - С. 9-13 : рис.
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ -- МЭМС -- МЭМС-УСТРОЙСТВА
Найти похожие
|
6.
| Инвентарный номер: нет.
С 56
Современные тенденции развития микросистемной техники [Текст] / В. Д. Вернер [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 8. - С. 2-6 : рис., табл. - Библиогр.: с. 6 (15 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА -- МЭМС -- РЫНОК МСТ -- КРЕМНИЕВАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- ТЕМП РАЗВИТИЯ
Аннотация: Рассмотрены основные изменения и тенденции развития микросистемной техники к началу 2008 г. Отмечено существенное повышение роли электронной составляющей конструкции МЭМС вследствие введения систем самотестирования и развития интерфейсных устройств беспроводной связи. Тенденция постоянного снижения цены вызывает поиск новых областей применения МЭМС (бытовая техника), новых материалов (полимеров) и новых технологических решений. Производство МЭМС по-прежнему на 80% основано на микрообработке кремния, в связи с этим освоены технологии корпусирования на пластине и 3D-сборка, крупные фирмы переводят свое производство на пластины 200мм. Рассмотрены положительные и негативные аспекты рассмотренных тенденций
Найти похожие
|
7.
| Инвентарный номер: нет.
С 92
Схемотехническое конструирование БИС преобразователя емкость - напряжение для микроэлектромеханических датчиков [Текст] / А. И. Белоус [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 8. - С. 19-19 : рис., табл. - Библиогр.: с. 19 (6 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНЫЙ КОНДЕНСАТОР -- МЭМС-ТЕХНОЛОГИЯ -- ТЕХНОЛОГИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СИЛ
Аннотация: Рассматриваются вопросы схемотехнического конструирования БИС преобразователя емкость - напряжение для электронной схемы микромеханического сенсора общего назначения. Предлагаемая структурная схема БИС может быть использована для построения МЭМС с емкостным выходом от чувствительного элемента
Найти похожие
|
8.
| Инвентарный номер: нет.
В 12
Вавилов, В. Д.
Исследование стохастической погрешности микросистемного акселерометра [Текст] / В. Д. Вавилов, О. Н. Глазков // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 8. - С. 27-29. - Библиогр.: с. 29 (5 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
БЕЛЫЙ ШУМ -- МЭМС -- НУЛЕВОЙ УРОВЕНЬ
Аннотация: Целью данной работы является исследование влияния стохастического процесса, например "белого шума", на нулевой уровень и крутизну статической характеристики микросистемного акселерометра. Эти данные могут быть получены на начальном этапе проектирования до изготовления опытных образцов для экспериментальных исследований
Найти похожие
|
9.
| Инвентарный номер: нет.
Б 43
Белозубов, Е. М.
Повышение термостойкости тонкопленочных емкостных МЭМС-структур [Текст] / Е. М. Белозубов, Н. ЕБелозубова // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 7. - С. 41-44 : рис. - Библиогр.: с. 44 (3 назв.)
. - ISSN 1813-8586ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ТЕРМОСТОЙКОСТЬ -- МЭМС-СТРУКТУРЫ -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ДАТЧИКИ
Найти похожие
|
10.
| Инвентарный номер: нет.
С 56
Современные разработки МЭМС [] / К. Д. Яшин [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 5. - С. 57-64 : рис.
. - ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
РАЗРАБОТКИ МЭМС -- ANALOG DEVICES -- ANSYS -- ГРУППА EVG -- INTELLIGENT MICRO PATTERING -- MEM RESEARCH -- MEMS ENGINEERING AND MATERIAL -- PLANAR -- VAISALA
Найти похожие
|
|
|
|
Главная
Новые поступления
Шлюз Z39.50
Каталог книг и продолжающихся изданий
Описание базы данных