Центральная Научная Библиотека УрО РАН

Инвентарный номер: нет.

   В 12

    Вавилов, В. Д.
    Исследование стохастической погрешности микросистемного акселерометра [Текст] / В. Д. Вавилов, О. Н. Глазков // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 8. - С. 27-29. - Библиогр.: с. 29 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
БЕЛЫЙ ШУМ -- МЭМС -- НУЛЕВОЙ УРОВЕНЬ
Аннотация: Целью данной работы является исследование влияния стохастического процесса, например "белого шума", на нулевой уровень и крутизну статической характеристики микросистемного акселерометра. Эти данные могут быть получены на начальном этапе проектирования до изготовления опытных образцов для экспериментальных исследований

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   С 72

    Спирин, В. Г.
    Анализ технологических погрешностей сопротивления тонкопленочного резистора / В. Г. Спирин // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 9. - С. 42-45 : рис. - Библиогр. : с. 45 (12 назв.) . - ISSN 1813-8586

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
РЕЗИСТОР ТОНКОПЛЕНОЧНЫЙ -- СОПРОТИВЛЕНИЕ -- ПОГРЕШНОСТИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   С 72

    Спирин, В. Г.
    Математическая модель сопротивления тонкопленочного резистора / В. Г. Спирин // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 5. - С. 38-40 : табл., рис. - Библиогр. : с. 40 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
РЕЗИСТОР ТОНКОПЛЕНОЧНЫЙ -- МОДЕЛЬ МАТЕМАТИЧЕСКАЯ -- СОПРОТИВЛЕНИЕ -- МИКРОСБОРКИ
Аннотация: Разработана математическая модель сопротивления тонкопленочного резистора и его погрешности. Применение этой модели позволит проектировать тонкопленочные резисторы с топологическими размерами 10...50 мкм

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   Д 72

    Драгунов, В. П.
    Электростатические взаимодействия в мэмс с плоскопараллельными электродами. часть i. расчет емкостей / В. П. Драгунов, Д. И. Остертак // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 7 . - С. 37-41 : рис. - Библиогр. : с. 41 (12 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МЭМС -- ЕМКОСТЬ ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ -- КОНДЕНСАТОР ПЛОСКИЙ
Аннотация: Сравниваются различные подходы к расчету зависимостей емкости плоского конденсатора, содержащего два одинаковых прямоугольных или круглых параллельных электрода, от межэлектродного зазора и взаимного смещения электродов. Рассчитываются погрешности в оценках емкости при использовании различных подходов. Приводится аналитическое выражение для расчета емкостей при изменении площади перекрытия электродов

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   Д 72

    Драгунов, В. П.
    Электростатические взаимодействия в мэмс с плоскопараллельными электродами. часть ii. расчет электростатических сил / В. П. Драгунов, Д. И. Остертак // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 8. - С. 40-47 : рис., табл. - Библиогр. : с. 47 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МЭМС -- ЕМКОСТЬ ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ -- КОНДЕНСАТОР ПЛОСКИЙ -- ЭФФЕКТЫ КРАЕВЫЕ
Аннотация: Проводится сравнение различных подходов к оценке компонент электростатических сил, действующих между электродами плоского конденсатора, содержащего два одинаковых прямоугольных или круглых электрода. Приводятся аналитические выражения для расчета компонент электростатических сил. Рассчитываются погрешности в оценках компонент электростатических сил, действующих на электроды конденсаторов при изменении межэлектродного зазора и площади перекрытия электродов

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   Б 28

    Батурин, А. С.
    Измерение емкости квазистатическим методом в атомно-силовом микроскопе / А. С. Батурин, А. А. Чуприк // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 1. - С. 2-7 : рис., табл. - Библиогр. : с. 7 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
АСМ -- ЕМКОСТЬ -- ХАРАКТЕРИСТИКИ ВОЛЬТ-ФАРАДНЫЕ -- НАНОМЕТРОЛОГИЯ
Аннотация: Рассмотрен квазистатический метод одновременного измерения вольт-амперных и вольт-фарадных характеристик с помощью атомно-силового микроскопа. Выполнен систематический анализ источников погрешности измерения емкости микроструктур. Показана возможность измерения емкости в диапазоне 10...500 пФ с погрешностью менее 3 % и с высоким пространственным разрешением

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   П 77

    Прищепов, С. К.
    Интегральные и гибридные технологии производства феррозондовых датчиков / С. К. Прищепов, К. И. Власкин // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 9. - С. 2-4 : рис. - Библиогр. : с. 4 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ДАТЧИКИ ФЕРРОЗОНДОВЫЕ -- ПЛЕНКИ ТОНКИЕ МАГНИТНЫЕ -- ДИАГРАММА НАПРАВЛЕННОСТИ ДАТЧИКА
Аннотация: Рассмотрены методы минимизации основной погрешности направленности дифференциальных феррозондов углового смещения физической оси чувствительности относительно геометрической. Определены принципы совмещения обмоток и магнитопроводов феррозондов для выполнения прецизионных чувствительных элементов модульного типа. Представлены особенности гибридных и интегральных технологий изготовления феррозондовых датчиков

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   И 88


    Исследование источников случайных погрешностей в измерительном сканирующем зондовом микроскопе «НаноСкан-3Di» / К. В. Гоголинский, К. Л. Губский, А. П. Кузнецов, В. Н. Решетов // Российские нанотехнологии. - 2013. - Т. 8, № 5-6. - С. 56-59 : рис., табл. - Библиогр.: с. 59 (6 назв.) . -

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ДИАПАЗОН НАНОМЕТРОВЫЙ -- МИКРОСКОП СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ -- МИКРОСКОП «НАНОСКАН-3DI» -- ПОГРЕШНОСТИ -- ИНТЕРФЕРОМЕТР ТРЕХКООРДИНАТНЫЙ ГЕТЕРОДИННЫЙ ЛАЗЕРНЫЙ -- ВОСПРОИЗВОДИМОСТЬ
Аннотация: Кратко описано устройство и принцип работы измерительного сканирующего зондового микроскопа «НаноСкан-3Di». Прибор создан путем сопряжения серийного СЗМ «НаноСкан-3D» и трехкоординатного гетеродинного лазерного интерферометра. Проведено исследование метрологических характеристик и основных источников случайных погрешностей данного измерительного комплекса. Экспериментальные исследования продемонстрировали высокую воспроизводимость и низкий уровень шумов при измерениях линейных размеров в нанометровом диапазоне

Найти похожие

Инвентарный номер: нет.

   П 53


    Получение суспензий на основе нанопорошка оксида алюминия с узким распределением частиц по размерам / Е. Г. Калинина , А. А. Ефимов, А. П. Сафронов, В. В. Иванов , И. В. Бекетов // Российские нанотехнологии. - 2013. - Т. 8, № 7-8. - С. 78-83 : рис., табл. - Библиогр.: с. 83 (7 назв.) . - ISSN 1992-7223

УДК

620.3

ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
НАНОПОРОШКИ -- МЕТОД ДИНАМИЧЕСКОГО РАССЕЯНИЯ СВЕТА (ДРС) -- СУСПЕНЗИИ -- ОКСИДА АЛЮМИНИЯ -- ЧАСТИЦЫ -- МЕТОД ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ВЗРЫВА ПРОВОЛОКИ И ЛАЗЕРНОГО ИСПАРЕНИЯ И КОНДЕНСАЦИИ -- ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ -- ЧАСТИЦЫ НЕАГЛОМЕРИРОВАННЫЕ СФЕРИЧЕСКОЙ ФОРМЫ -- УСТРОЙСТВА ДИСПЕРГИРУЮЩИЕ -- ЦЕНТРИФУГИРОВАНИЕ СУСПЕНЗИИ -- РАЗМЕР -- ПЭМ
Аннотация: Методом динамического рассеяния света (ДРС) исследованы закономерности получения дезагрегированных водных суспензий нанопорошков оксида алюминия Al2O3 с удельной поверхностью от 20 до 140 м2/г. Нанопорошки были получены методами электрического взрыва проволоки и лазерного испарения и конденсации и, по данным электронной микроскопии (ПЭМ), состояли из неагломерированных частиц сферической формы с логарифмически нормальным распределением по размерам. По данным ДРС, устойчивые водные суспензии наночастиц, стабилизированные цитратом натрия концентрацией 5 мМ, содержат значительную долю агрегатов. Была исследована динамика изменения среднего размера частиц при продолжительной ультразвуковой обработке суспензий концентрацией 10 г/лв течение 1.5–4 ч для двух типов диспергирующих устройств. Было показано, что средний размер агрегатов в суспензии экспоненциально уменьшается в 1.5–2 раза, а доля индивидуальных частиц существенно возрастает с 45 до 85 %. Последующее центрифугирование суспензии при 18000 g позволяет отделить неразрушенные агрегаты и получить суспензии индивидуальных частиц Al2O3, в которых распределения по размерам, полученные методами ПЭМ и ДРС, совпадают в пределах экспериментальной погрешности

Найти похожие

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН

  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)