Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=ПОКРЫТИЯ ГАЗОПОГЛОЩАЮЩИЕ<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.
Инвентарный номер: нет.
   
   И 88


   
    Исследование и разработка газопоглощающих покрытий для МЭМС / С. П. Тимошенков [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 2. - С. 24-27 : рис. - Библиогр. : с. 27 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
УДК
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МЭМС -- ПОКРЫТИЯ ГАЗОПОГЛОЩАЮЩИЕ -- НАНОСТРУКТУРИРОВАНИЕ -- СТРУКТУРЫ ФРАКТАЛЬНЫЕ
Аннотация: Методом магнетронного распыления получены наноструктуированные пленки состава Ti1-хVх, представляющие интерес в качестве геттерных покрытий в микроэлектромеханических системах. Показано, что получаемые покрытия имеют выраженный гранулированный характер с размером зерен в диапазоне 20...120 нм. Рассчитанные значения фрактальной размерности свидетельствуют о высокой развитости поверхности пленок

Найти похожие

 

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика