Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=ПОЛИКРЕМНИЕВАЯ МЕМБРАНА<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.
Инвентарный номер: нет.
   
   П 42


   
    Повышение чувствительности микропреобразователя абсолютного давления на основе расчетно-аналитического моделирования изгиба мембраны и положения тензорезисторов / И. Б. Яшанин, И. В. Иевлев, С. В. Кононов, Р. Г. Азнабаев, В. А. Харитонов, Д. В. Бойченко, А. В. Гребенкина // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 9. - С. 7-11 : рис. - Библиогр.: с. 11 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
УДК
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МЕМБРАНА -- ТЕНЗОРЕЗИСТОР -- МИКРОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ АБСОЛЮТНОГО ДАВЛЕНИЯ -- МИКРОМЕХАНИКА -- МСТ -- ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ -- МОСТ УИНСТОНА -- ТЕНЗОРЕЗИСТОР ПОЛИКРЕМНИЕВЫЙ -- ПОЛИКРЕМНИЕВАЯ МЕМБРАНА -- МПАД
Аннотация: Описан опыт использования анализатора микросистем для минимизации несоответствий между расчетными и реально получаемыми значениями чувствительности типового тензорезистивного микропреобразователя абсолютного давления, выполненного на основе базовой технологии поверхностной микромеханики

Найти похожие

 

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика