Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=ПОТЕРИ ЭНЕРГИИ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО УСТРОЙСТВА<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.
Инвентарный номер: нет.
   
   К 59


    Козин, И. А.
    Исследование динамики микроэлектромеханических устройств с нанесенной металлизацией / И. А. Козин, А. В. Постников, О. В. Морозов // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 43-45 : рис. - Библиогр. : с. 45 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586
УДК
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
УСТРОЙСТВО МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЕ -- МЕТАЛЛИЗАЦИЯ -- ДОБРОТНОСТЬ -- КРЕПЛЕНИЕ УСТРОЙСТВА -- ПОТЕРИ ЭНЕРГИИ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО УСТРОЙСТВА
Аннотация: Исследуется влияние тонкой пленки алюминия 0,3 мкм на динамические характеристики микроэлектромеханического устройства с двумя вращательными степенями свободы. Определены собственные частоты и добротности механической колебательной системы устройства. В работе обнаружено влияние способа крепления устройства к механической системе возбуждения. Показано, что добротность устройства с металлизацией достигает 15-20 тысяч, что достаточно для работы прибора в приложениях, и позволяет сократить число технологических операций при изготовлении

Найти похожие

 

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика